【課題】加速度、角速度、を測定する、または駆動のためのマイクロ−電子機械システム（ＭＥＭＳ）が、少なくとも２つの基板（５，６）、およびＭＥＭＳ−層内の少なくとも１つの可動構造体（３．１，３．２）を備える。
【解決手段】前記可動構造体が、少なくとも２つの基板（５，６，７）の間に封止されたキャビティ（８．１，８．２）内に配置される。前記可動構造体（３．１，３．２）を囲む導電性フレーム（１）が、２つの基板（５，６）の接合面に配置される。フレーム（１）が、前記可動構造体（３．１，３．２）から電気的に分離され、少なくとも第一および第二導電性接続部（１３．１，１３．２，１３．３；１４）によって、前記第一基板（５）および第二基板（６）に、各々、電気的に接続される。フレーム（１）が、最大で１５０μｍ（マイクロメートル）、好ましくは、最大で５０μｍ（マイクロメートル）の幅（ｗ）を有してよい。 （もっと読む）

本発明は、セミコンダクターオンインシュレーターと呼ばれるウエハ内に所定の厚さｄを有するキャビティ及び／又は膜（２４）を集合的に製造する方法に関連し、絶縁層上で厚さｄを有する少なくとも１つの半導体表面層を備え、この絶縁層自体は基板上に支持され、この方法は、前記表面層内に前記キャビティ及び／又は膜を形成するために、厚さｄを有する半導体表面層をエッチングする段階であって、この絶縁層が停止層を形成する段階を備える。
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