ノベラス・システムズ・インコーポレーテッドにより出願された特許
1 - 2 / 2
切欠構造のなかで長尺状ルテニウム膜上に多段階式銅鍍金を行う方法。
先端の集積回路にみられる切欠構造(206,207,208,209,211,213,264,275a,275b)において、長尺のルテニウム金属膜(214)に多段階で銅鍍金を行う方法である。長尺のルテニウム金属膜 (214)を利用すると、銅金属がトレンチ(266)及びビア(268)のような高アスペクト比の切欠構造(206,207,208,209,264,275a,275b)を充填するあいだ、不要な微細気泡が形成を防ぎ、前記ルテニウム金属膜(214)上に長尺の銅金属層(228)を含むサイズの大きい銅粒(233)が鍍金形成される。銅粒(233)は銅が充填された切欠構造(206,207,208,209,211,213,275a,275b)の電気抵抗を低下させ、集積回路の信頼性を向上させる。
(もっと読む)
複数ゾーンへのスラリー配送を伴う化学機械研摩
化学機構研磨又は平坦化技術(CMP)は、マルチゾーンスラリー配送によって向上される。研摩パッドは加工対象物に接触され、マルチゾーンプラテンは、スラリー配送を容易にするために研摩パッドに近接して変位される。プラテンは、それぞれが流体源から層上の分配点に延在する流体分配経路を含む複数の流体的な分配層を含む。流体分配層上のそれぞれの分配点は、研磨面の上の異なる位置に対応し、これにより、前記パッド上に複数の流体配送ゾーンを形成する。 (もっと読む)
1 - 2 / 2
[ Back to top ]