【課題】試料交換回数を減らし装置の稼動率を向上することで、試料作製の経済性を向上したイオンビームエッチング装置を実現する。
【解決手段】試料テーブル１００は、試料１０４を取りつける受容機構１０６とマスク１０５及び、少なくとも１つの位置決めユニット１０１、１０２、１０３を備えている。試料１０４はマスク１０５に対して相対的に位置決め可能である。試料テーブル１００は、１つの試料１０４がイオンビームにさらされている間、残りの位置決めユニット１０１、１０２、１０３がイオンビームから回避される様に配置し、回転機構により試料１０４を順次エッチング加工する事ができる。 （もっと読む）

【課題】冷却される処理プロセスを自動的に、かつ長時間操作することを可能にする冷媒装置を実現する。
【解決手段】サンプルを配置するためのサンプルステージ１０２を有し、冷媒が入っている冷媒容器を有し、及び少なくとも１つの、サンプルステージ１０２を当該冷媒に熱伝達可能に接続する熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂを有するイオンビームエッチングプロセスにおけるサンプルのための冷却装置１０１であって、当該熱伝導要素１０６ａ、１０６ｂに熱伝達可能に接続される冷却フィンガ状部材１０５を有し、当該冷却フィンガ状部材１０５は、冷媒が通って流れることが出来、かつ当該冷媒容器に接続可能な導管を含む。 （もっと読む）

【課題】少なくとも試料材料が試料容器内へ取り入れられ、次いで該試料容器が耐圧密封され、引き続き凍結剤を用いて冷却される、試料容器内へ封入され含水性であり凍結保存される試料を製造するための方法、並びにこの方法を実行するための装置を、凍結中の圧力が確実に維持され、試料において所望の使用可能な範囲が確実に得られるように改善する。
【解決手段】前記容器が時間的且つ場所的に順序をもって冷却され、先ず最初に容器内容物の犠牲範囲が凝固し、その後に初めて残りの容器内容物が凝固すること。ここで有利に使用される試料容器（１ａ）は、チューブ形状であり、両方の端部で密封されていて、実質的にＵ字形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 短い調製時間で大きいカット深さを実現でき、高い確実性および達成可能な良好な試料品質において高い経済性を達成できるイオンエッチング法を実現する。
【解決手段】 電子顕微鏡検鏡用試料を固体材料から切出す。次いで、試料に構成された試料表面（３）を、イオンビーム（Ｊ）によって所定の入射角度で処理し、かくして、試料（１）のイオンビーム（Ｊ）の投射ゾーン（４）の範囲に、電子顕微鏡による試料（１）の所望範囲の観察（１２）を実現できる所望の観察範囲（２０）が露出されるまで、イオンエッチングによって試料表面（３）から材料を切除する。この場合、イオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）が試料表面（３）において少なくとも互いに接触するか、又は交叉して、上記試料表面に投射ゾーン（４）を形成するよう、少なくとも２つの不動のイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）を所定の角度（α）で相互に配向して試料表面（３）に導き、試料（１）もイオンビーム（Ｊ1，Ｊ2）も、移動させず、従って、位置不変の状態で処理する。 （もっと読む）

【課題】異なる複数の材料及び異なる材料からなる試料を処理するのに適した、試料処理装置の提供。
【解決手段】試料（１５）を処理するための装置（１）であって、試料を観察するための観察装置（２）と、処理すべき該試料を受入れるための試料ホルダ（３）と、異なる処理ステップのための工具（５）を取付けるのに適した工具ホルダ（６）とを有する。 （もっと読む）

【課題】試料及び／又は回転鋸を損傷することのない自動鋸切断装置の提供。
【解決手段】試料（１５）を観察するための観察装置（２）と、処理すべき該試料を受入れるための試料ホルダ（３）と、工具ホルダ（６）とを有する、試料を処理するための装置（１）であって、該工具ホルダは、旋回アーム（２２）によってその長軸方向に垂直に旋回可能であり、かつ該長軸周りに回転可能であり；及び該旋回アームの旋回を選択的に実行するための駆動システムを備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波チャンバの中で、試料の連続的な液体処理が迅速かつより簡単な手間で行えることを可能にする試料調製装置を提供すること。
【解決手段】マイクロ波発振器と、処理対象の試料を受入れるマイクロ波チャンバと、複数の液体容器のための容器配列装置を含む、マイクロ波を用いた試料調製装置であって、マイクロ波チャンバは導波管として構成され、この導波管は、試料を導入するための第一種開口と、マイクロ波チャンバの中に可逆的に液体容器を導入し、液体が試料を取り囲むようにするまで試料がそのままで保持される、好ましくは底部に配置される第二種開口と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で異なる種類のナイフを保持すること、ナイフの交換を簡単に実行すること、及びナイフの交換の際の怪我の危険を簡単な操作で最小化することが可能な、振動ナイフを有するミクロトームのナイフホルダの提供。
【解決手段】振動ナイフを有するミクロトームのナイフホルダであって、支持要素と、該支持要素に対し運動可能に構成された挟扼要素とを含んで構成されると共に、前記支持要素が前記ナイフのための支持面を有し、かつ前記挟扼要素が挟扼面を有するよう構成され、前記支持面と前記挟扼面が互いに対し平行に配向されるよう構成されたナイフホルダにおいて、前記支持面（２ａ）と前記挟扼面（４ａ）は、前記ナイフ（３）を挟扼するために所定距離で互いに対し位置調整可能に構成されかつ使用されるナイフの厚さに適合可能に構成されることを特徴とする。 （もっと読む）