【目的】ワーク基板の縦横サイズの変更に対応して自らの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、搬送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱及び冷却することができる、ワーク基板への加熱及び冷却機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の搬送方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーター又は冷却水等供給部を備えることが可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されている。 （もっと読む）

【目的】ワーク基板を加熱しながら移送する加熱機能付きコンベアにおいて、ワーク基板の縦横サイズの変更に対応するための加熱機能付きコンベアの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、移送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱することができる、加熱機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の移動方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーターが挿入可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されているねことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【目的】ワーク基板を加熱しながら移送する加熱機能付きコンベアにおいて、ワーク基板の縦横サイズの変更に対応するための加熱機能付きコンベアの縦横サイズの変更を極めて柔軟に且つ低コストで行うことができ、移送中のワーク基板に対してワーク基板全体を均一に加熱することができる、加熱機能を備えたコンベアを提供する。
【構成】ワーク基板の移動方向に延びる支持フレームと、アルミ押出材が所望の長さで切断されて成る切断済み押出材と、前記複数個の各切断済み押出材の間にそれぞれ配置され、前記ワーク基板の下面に接触して前記ワーク基板を移動させるための回転体とを備えており、前記各切断済み押出材には、その内部の空洞部内に、その長手方向と平行な方向に延びる筒状パイプであって棒状ヒーターが挿入可能な一つ又は複数の筒状パイプが一体に形成されているねことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【目的】 ホットプレートの構成の変更を柔軟に且つ低コストで行うことができ、ホットプレートの重量を軽量化でき、ホットプレートを加熱するための消費電力を節減することができ、ホットプレートの加熱による反りや撓みなどの変形を抑えてガラス基板への均一な加熱を実現することができる、ガラス基板の熱処理装置を提供する。
【構成】 ガラス基板を加熱するためのホットプレートであって、断面が略長方形状に形成され内部が空洞になっているアルミ押出材が所定の長さで切断されて成る複数のアルミ押出板が、それぞれの上面又は下面が前記ガラス基板と対向するように並べられた状態で載置されて成るホットプレートと、前記ホットプレートの少なくとも前記ガラス基板と対向する面を加熱するための加熱部であって、前記各アルミ押出板の内部に挿入される複数の棒状ヒーターから成る加熱部と、を含む、ガラス基板の熱処理装置である。 （もっと読む）