【課題】温度を変化させる必要のあるウェハテストで、ウェハの電極パッドからのバンプのずれを防止することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】プローブカードを、ウェハの半導体チップに対応した複数の貫通穴３を有するフレーム板１と、配線基板２３と、貫通穴３に対応する大きさを有し、フレーム板１の貫通穴３又は貫通穴３周辺に固定した異方導電膜５と、貫通穴３に対応する大きさを有し、フレーム板１の貫通穴３周辺に固定した接点膜７と、から構成する。接点膜７を、絶縁膜１５の表面に配置したバンプ１７と、絶縁膜１５の表面および絶縁膜１５内に形成した導電電極１９と、から構成し、バンプ１７を異方導電膜５の導電路１１に電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】温度を変化させる必要のあるウェハテストで、ウェハの電極パッドからのバンプのずれを防止することができるプローブカードを提供する。
【解決手段】プローブカードを、ウェハの半導体チップに対応した複数の貫通穴３を有するフレーム板１と、配線基板２３と、貫通穴３に対応する大きさを有し、フレーム板１の貫通穴３又は貫通穴３周辺に固定した異方導電膜５と、貫通穴３に対応する大きさを有し、フレーム板１の貫通穴３周辺に固定した接点膜７と、から構成する。接点膜７を、絶縁膜１５の表面に配置したバンプ１７と、絶縁膜１５の表面および絶縁膜１５内に形成した導電電極１９と、から構成し、バンプ１７を異方導電膜５の導電路１１に電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】加圧性能、加熱性能、取り扱いやすさ及びコスト面などで優れている半導体ウェハ保持体を提供する。
【解決手段】プローブカード３を構成する異方性導電ゴムシート９の外周部にシールリング１９を同一の材料で一体的に形成し、このシールリング１９、プローブカード３の配線基板７及び半導体ウェハ５により真空保持領域を確保する。そして、この真空保持領域を減圧することによりプローブカード３と半導体ウェハ５の接触に必要な圧力を得るようにする。 （もっと読む）

【課題】高加重を必要とする多数のピンを有するプローブカード及びプローバ装置によるウェハ一括コンタクトに際し、確実なコンタクトを達成できる多ピン高加重の半導体ウェハのテスト装置を提供する。
【解決手段】プローブカード１０の配線基板を、外側配線基板１１及び内側配線基板１２から構成する。内側配線基板１２の周縁部にゴム材などの弾性体により形成した環状のシールリング１６ａを形成しておく。外側配線基板１１に真空バルブ１７ａを搭載し、この真空バルブ１７ａから延びる真空導路３０ａを、シールリング１６ａの内側で外側配線基板１１の内面に開口するようにしておく。 （もっと読む）

【課題】高加重を必要とする多数のピンを有するプローブカード及びプローバ装置によるウェハ一括コンタクトに際し、確実なコンタクトを達成できる多ピン高加重の半導体ウェハのテスト装置を提供する。
【解決手段】プローブカード１０の配線基板を、外側配線基板１１及び内側配線基板１２から構成する。内側配線基板１２の周縁部にゴム材などの弾性体により形成した環状のシールリング１６ａを形成しておく。外側配線基板１１に真空バルブ１７ａを搭載し、この真空バルブ１７ａから延びる真空導路３０ａを、シールリング１６ａの内側で外側配線基板１１の内面に開口するようにしておく。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、吸音材を用いることによる弊害（音質の低下）を改善すると共に、よりコンパクトな形で低音部の再生周波数帯域も拡大して、音楽のディテールを含む、より再現性の高い音を聴くことができるスピーカ装置を提供することにある。
【解決手段】本発明のスピーカ装置は、前面にスピーカユニットを備えたスピーカボックスと、前記スピーカユニットの背面側の再生音を案内するために前記スピーカボックス内に屈曲して形成されている音道と、を備え、前記音道は、先端に向かうほど横断面積が小さくなるように構成される。また前記音道は、先端に近づくにつれて横断面積の減少率が小さくなるように構成されることが好ましい。 （もっと読む）