【課題】測定や加工等を行う装置に対し、ワークの受け渡しを容易に行なえるようにしたワーク保持装置を提供する。
【解決手段】円柱型のワークＷの両端面を挟持し保持するワーク保持装置１であって、ワークＷの両端面を挟持する一対のチャック部５，５を備える。一対のチャック部５，５の各々に対し、ワークＷの端面の内側面ではなく該内側面の外側に位置する外側面のみを挟持できるようにコ字型部１８を形成し、一対のチャック部５，５のコ字型部１８でワークＷの端面の外側面を挟持できるようにする。ワーク保持装置１からワーク測定装置１９にワークＷを受け渡す際、ワーク測定装置１９のワーククランプ軸２１，２１でワークＷの端面の外側面でなく内側面を挟持させ、ワーク保持装置１からワーク測定装置１９へワークＷを容易に受け渡すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】微少量の塗布剤の塗布も可能とする塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ４２をヘッド２１に接続し、樹脂１１をヘッド２１の貯留空間３１に供給する。圧力制御部５１からのエア圧に応じた予圧を貯留空間３１内の樹脂１１に付与する。ヘッド２１のノズル部２３に小孔部６３とテーパー部６４からなる連通穴６１を設け、小孔部６３は、チップをボンディングする為に十分な樹脂量の樹脂１１を貯留可能とする。ヘッド２１に押出ツール７４を挿通し、前進時に小径部８２に貯留した樹脂１１を押出ツール７４の先端部に付して押し出して、ボンディング箇所１０１に塗布する。 （もっと読む）

【課題】基板の分割不良、及び分割した基板同士が接触して破損や変形を防止する基板分割装置を提供する。
【解決手段】上型挟持部１３及び下型挟持部１６によって基板を挟持し、上型回転軸２１及び下型回転軸２２の回転によって上型挟持部１３及び下型挟持部１６を傾斜させることで基板を分割する。基板を分割した状態で上型離間機構１９及び下型離間機構２３が基板分割装置１０の外側に向かってスライドすることで分割した基板同士が接触して破損や変形を防止する。 （もっと読む）

【課題】サファイア等のワークの中心部であってもチャックできるようして、該ワークを安定的に保持できるようにしたワーク保持装置を提供する。
【解決手段】等間隔角度で配設された複数のチャック爪９によりワークＷをセンタリングチャックするワーク保持装置１において、チャック爪９を回動自在に装着したサイドプレート８と、サイドプレート８を装着したスライド部材７と、スライド部材７の各々を半径方向に同時にスライドさせるスクロールチャック本体６とを備える。スクロールチャック本体６に設けたスライド部材７に対しチャック爪９を離間して配置し、サイドプレート８によりスライド部材７とチャック爪９とを一体に連結する。スクロールチャック本体６とチャック爪９とが離間して配設されているから、ワークＷの端部ではなく中央部を保持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】加工体を切削する切削砥石の外周と加工体間の加工点へクーラントを的確に供給し、切削砥石に構成された砥石等の切刃部の磨耗を抑制すると共に加工体の品質向上を図れるようにする。
【解決手段】台金１７の外周部に砥石１８を固着した切削砥石において、台金１７の回転中心部にクーラント供給口２３を設け、台金１７の外周部や砥石１８にはクーラントを噴出するクーラント噴出口２１を設ける。これらクーラント噴出口２１とクーラント供給口２３とを連通する密閉されたクーラント通路２０を切削砥石２内に設ける。クーラント通路２０を通じてクーラント噴出口２１からクーラントを噴出することができるので、切削砥石２を回転して加工体を切削するに際し、切削砥石２の外周と加工体間の摩擦熱の発生する加工点へ的確にクーラントを供給でき冷却及び遊離粉の除去を確実に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】被印刷シートに印刷材料を印刷し、印刷材料の印刷された被印刷シートをスクリーン版から剥離する工程を、短時間で行えるようにする。
【解決手段】移動機構１５によりスライド移動可能に設けられた版離れユニット１０に被印刷シート２を支持する支持体を備え、スキージ５により印刷材料の印刷された被印刷シート２をスクリーン版４から剥離するに際し、スキージ５が被印刷シート２の搬送方向に摺動されてゆくとき、スキージ５の移動に追従させ、印刷ステージ３と共に前記支持体を同期させながら移動させることでスクリーン版４から印刷材料の転写された被印刷シート２を剥離する。これにより、印刷材料をスクリーン版４に転写する印刷工程と、印刷材料の転写された被印刷シートをスクリーン版４から剥離する剥離工程とを並行して行うことができるので、生産効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】塗工液の塗布された塗工膜を均一的に乾燥させ、乾燥ムラを防止することができる乾燥装置及び乾燥方法を提供する。
【解決手段】キャリアフィルム１０上に溶剤を含む塗工液を塗布して塗工膜を形成した後、塗工膜を乾燥させる塗工膜の乾燥装置１４ａであって、乾燥装置１４ａ内で塗工膜を形成したキャリアフィルム１０を搬送してゆくとき、塗工膜の中心のみに向けて直接温風を吹き付けると共に、塗工膜の外周には間接的にエアーを当てる送風手段２０を備える。塗工膜は、自然乾燥では通常外側から中心に向かって溶剤が揮発されてゆき乾燥されることになるが、乾燥の遅れがちな塗工膜の中心のみに向けて直接エアーを送風し、中心側の溶剤の乾燥を早めることができるので、塗工膜全体を均一的に乾燥することができる。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有するキャリアフィルムへ塗布される塗工液の塗工ムラを抑制できる塗工装置を提供する。
【解決手段】上下バッキングロール２，３にキャリアフィルム５を巻き回し、このキャリアフィルム５の搬送に伴い回転されるイコライザー６ａ，６ｂを、前記上下バッキングロール２，３間に設け、前記キャリアフィルム５に摺接されるよう配設する。これにより、上下バッキングロール２，３間に配設したイコライザー６ａ，６ｂによってキャリアフィルム５が搬送される際の撓みを低減することができるから、撓みを低減することでキャリアフィルム５に対して塗工液が塗布されて形成される塗工膜の塗工厚みや塗工ムラを抑制することができる。よって歩留まりを向上させ生産性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットを所定形状に切断するバンドソー装置を小型化できるようにする。
【解決手段】２つの並設されたブレードホイール６と、これら２つのブレードホイール６に掛け回された環状のバンドソー７と、ブレードホイール６を介してバンドソー７を回転駆動する駆動源としてのモータ８と、回転駆動されているバンドソー７に対してシリコンインゴット２を上昇させる昇降装置１０とを備え、柱フレーム４と梁フレーム５とからなる門型の保持フレームの空間部Ｓに、バンドソー７及びこのバンドソー７の掛け回される２つのブレードホイール６を配置するとともに、保持フレームに設けた水平な梁フレーム５の下部にバンドソー７の掛け回された２つのブレードホイール６を吊り下げるようにして保持させる。これにより、バンドソー７及び２つのブレードホイール６を保持する保持フレームの剛性力を高めることなく保持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットを切断するときに、切断に伴う欠けを防止できるようにする。
【解決手段】シリコンインゴット５から製品として用いない部分を切り落とし部２４として切断し、製品として用いる製品ブロック２３を得る切断装置において、製品ブロック２３を保持する第１の保持手段１６と、切り落とし部２４を保持する第２の保持手段１７を備え、第１の保持手段１６で製品ブロック２３を保持すると共に第２の保持手段１７で切り落とし部２４を保持した状態でシリコンインゴット５を切断するバンドソー１２を備える。シリコンインゴット５を製品ブロック２３と切り落とし部２４に切断加工する際、第１，第２の保持手段１６，１７により製品ブロック２３と切り落とし部２４の両者を保持した状態で切断を行なうことができるから、製品ブロック２３から切り落とされる切り落とし部２４の自重により切断面近傍に欠けが発生することを防止できる。 （もっと読む）