【課題】微細構造転写方法およびその装置において、比較的コンパクトな装置でかつ高いスループットで泡の入り込みを防止しつつパターンの転写を実現可能にする。
【解決手段】
微細構造を転写する方法において、表面にレジストがコーティングされた被転写体に裏面を真空吸引してスタンパを密着、加圧させる際に、スタンパを球面状に変形または湾曲させて密着面を中心部から周辺部に拡大させていくことで被転写体とスタンパとの間に気泡の入り込みを防止した。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面内を均一な検出感度にて検査することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体移動ステージ、照明装置と、検査座標検出装置、光検出器と、Ａ／Ｄ変換器と、異物・欠陥判定部、を有する。照明装置は、検査座標検出装置によって得られた照明スポットの半径方向の位置に基づいて、照明スポットの円周方向の寸法を変化させるように構成されている。照明スポットが被検査体上を外周部から中心部に移動する間に、照明スポットにおける照射光量密度が一定となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】３次元トランジスタ構造のＰolyシリコンゲート側壁の窒素含有シリコン膜をシリコン基板削れを抑制しつつ、所望の形状に加工する方法を提供する。
【解決手段】３次元トランジスタ構造上の窒素含有シリコン膜をプラズマエッチングするために、堆積性の高いガスでエッチングする第１ステップと、堆積成分を除去する第２ステップとを有し、前記第１ステップと前記第２ステップを交互に繰り返すことにより、Ｐolyシリコンゲート電極３１の側壁にのみ窒素含有シリコン膜３４を残し、かつ、シリコン基板３３の削れを抑制するようにエッチング加工する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出した結果が誤ってたとしても、正常な検出結果として報告しており、歩留まり管理の精度が低下してしまう点については配慮がなされていなかった。また、報告が挙がってからでは管理情報の修正は不可能であるため、報告前に検査結果の妥当性を確認し、妥当性の判断を行う必要がある点についても配慮がなされていなかった。
【解決手段】画素ごとの信号を計算し、前記検出部の異常を判定する第１の処理部と、前記異常が発生した画素を補正する第２の処理部と、前記第２の処理部による補正後の画素の検出結果を用いて、前記基板の欠陥を判定する第３の処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】チャックの開口を塞ぐ蓋の高低により発生する露光むらを効果的に抑制する。
【解決手段】チャックに、少なくとも１つの開口と、開口を塞ぐ蓋１４と、チャックに対する蓋１４の取り付け高さを調整する高さ調整機構とを設ける。チャックの開口の周囲に非真空区画を形成し、非真空区画からチャックの裏面へ通じる空気通路を設け、非真空区画の周囲に真空区画を形成する。高さ調整機構により、チャックに対する蓋１４の取り付け高さを調整して、蓋１４の上面の高さをチャックの上面の高さより低くし、真空区画により基板を真空吸着して、基板をチャックに固定し、空気通路により非真空区画を大気開放して、基板が非真空区画に吸着されるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、予備照射領域内に異なる複数の材質が含まれていたり、予備照射領域内のパターンの密集度が位置によって異なるような試料であっても、帯電の不均一さを抑制することが可能な荷電粒子ビーム照射方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、予備照射領域を複数の領域に分割し、当該複数の領域に対し、異なるビーム照射条件のビームを用いて、帯電を付着する荷電粒子ビーム照射方法、及び荷電粒子線装置を提案する。上記構成によれば、予備照射領域内で、各位置の帯電の差異を抑制し得るような照射条件に基づいて、予備照射領域に対する帯電の付着が可能となるため、荷電粒子ビームや試料から放出される電子に対する電界の影響を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】表示基板に接続されたＴＡＢとＰＣＢとの相対的な位置ずれを防ぐＦＰＤモジュールの組立装置を提供する。
【解決手段】ＦＰＤモジュールの組立装置は、ＰＣＢ搬送部８４と、予熱用ヒータ９６Ａ，９６Ｂと、カメラ８５Ａ，８５Ｂと、本圧着部７６とを備える。ＰＣＢ搬送部８４は、ＰＣＢ１０３を保持して搬送する。予熱用ヒータ９６Ａ，９６Ｂは、ＰＣＢ搬送部８４に保持されたＰＣＢ１０３に接触してＰＣＢ１０３の予熱を行う。カメラ８５Ａ，８５Ｂは、ヒータによって予熱されたＰＣＢ１０３の位置を検出する。本圧着部７６は、カメラ８５Ａ，８５Ｂの検出結果に基づいてＰＣＢ搬送部８４により搬送されたＰＣＢ１０３と表示基板１０１に接続されたＴＡＢ１０２とを熱圧着する。 （もっと読む）

【課題】基板を汚染することなく非接触で保持する基板保持装置では、基板の自重によるたわみが発生したり、使用条件の中で回転動作の風圧による基板のたわみが発生するために、各種処理の障害になっている。
【解決手段】基板の上面を所望の面高さに保持したり、あるいは平面度を保持したりするために、基板上面に基板面の高さを測る非接触の変位センサを設置し、また、載せ台上面には複数の溝と障壁を設け、基板と乗せ台の間にエアーを供給してその圧力によって基板の変位を可能として、さらに、変位センサの出力をフィードバックすることで基板を任意の凸，凹形状に変形したり、平面化することを可能とする構造を持つ基板搭載装置。 （もっと読む）

【課題】従来の方法では、膜種が同じで、膜厚が異なる場合等は再度の実測が必要となり、検査条件を設定するのに時間がかかってしまう。
【解決手段】複数の検出光学系がそれぞれ、検光角を変える光学素子と、前記検光角を制御する検光角制御部と、を有し、処理部は、前記複数の検出光学系毎の、前記検光角と、前記検光角に対応した信号対雑音比と、前記基板の膜種と、前記基板の膜厚との関係を保存したデータベースを有し、前記データベースを更新していく。さらにＳＮＲ閾値を設ける。 （もっと読む）

【課題】交換時間を低減した稼働率の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法、及びＡＣＦテープの貼付け位置での位置再現性の優れた信頼性の高いＡＣＦ貼付装置及びＡＣＦ貼付方法を提供する。
【解決手段】搭載部品を表示基板の搭載位置に貼付けるＡＣＦを有するＡＣＦテープをＡＣＦ供給リール１６０から引き回し前記ＡＣＦを前記搭載位置に貼付ける際に、前記ＡＣＦ貼付装置２０は前記ＡＣＦ供給リール１６０を具備し前記ＡＣＦテープを引き回したＡＣＦカセット１００と前記ＡＣＦカセット１００を固定するカセット固定部２００とを有し、前記ＡＣＦカセット１００を前記カセット固定部２００に対し所望の姿勢に固定する位置姿勢方向３軸と回転姿勢方向３軸の計６軸を規定する位置決め部材１４１〜１４３、２４１〜２４３を前記ＡＣＦカセット１００と前記カセット固定部２００に対に複数組設けたことを特徴とする。 （もっと読む）