【課題】表示基板が大型化しても表示基板の位置決めの精度が低下することのないパネルアライメント装置及びＦＰＤモジュール組立装置を提供する。
【解決手段】パネルアライメント装置８０は、表示基板の下面を保持する基板保持部８２と、基板保持部８２を水平方向に移動及び回動させる移動機構８３を備える。移動機構８３は、基板保持部８２により保持した表示基板１０１の処理が施される端部側の下方に配置されている。移動機構８３は、従動回転軸９４Ａ及び従動直線軸９４Ｂからなり基板保持部８２を支持する従動軸部９４と、従動軸部９４を直線移動させる駆動直線軸９３とを有する３つの支持デバイス９１Ａ，９１Ｂ，９２から構成されている。そして、２つの支持デバイス９１Ａ，９２の駆動直線軸９３は、互いに交差する方向に延びている。 （もっと読む）

【課題】アルミの這い上がりを防止して破損が起こりにくい安定な蒸発源を有する成膜装置を提供することである。さらには、基板を垂直にして横方向から蒸着する縦型蒸着に適した成膜装置を提供することである。
【解決手段】少なくとも、坩堝と、加熱部からなり、坩堝は蒸着材料に対する濡れ性の異なる材質からなる２種類の構造からなる坩堝であって、少なくとも開口部は濡れ性の小さい材料からなり、蒸着材料が供給される部分は濡れ性の大きい材料からなる蒸発源を有することを特徴とする成膜装置。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ベース膜厚のバラツキを低減できるスタンパ又はインプリント装置、精度のよい微細パターンを形成できる処理製品製造装置又は処理製品製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、スタンパ又は前記スタンパを用いてインプリントするインプリント装置又は前記インプリントによって処理製品を製造する処理製品製造装置又は処理製品製造方法において、前記スタンパは前記処理製品として機能を果たす正規パターンが必要とする深さ以上のダミー部分の深さを備えるダミーパターンを有する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の性能を向上させる。
【解決手段】光学素子１は、内部に空間８が形成された容器２を有する。容器２には、容器２の内部の空間８を第１の空間９と第２の空間１０とに仕切る、光が透過可能な膜部材３が設けられている。第１の空間９には、第１の媒質５が充填されている。第２の空間１０には、第１の媒質５の屈折率と異なる屈折率を有する第２の媒質６が充填されている。また、光学素子１は、第１の空間９と第２の空間１０との間で、差圧を発生させる差圧発生部７を有する。差圧発生部７が発生させた差圧により膜部材３を撓ませることで、膜部材３を透過する光の焦点距離が変更可能である。 （もっと読む）

【課題】効率的に太陽電池の電極を形成する。
【解決手段】（ａ）複数の太陽電池セルＳＣを、複数の配線部材３２を介して電気的に接続し、組立体３１を形成する工程、（ｂ）表面３３ａ、裏面３３ｂ、および表面３３ａから裏面３３ｂまで貫通する貫通孔３５ａを有する基板３３を準備して、表面３３ａ側に組立体３１を配置する工程（ｃ）組立体３１の配線部材３２を基板３３の表面３３ａ側から裏面３３ｂに電気的に引き出す工程、（ｄ）前記（ｃ）工程の後、基板３３の表面３３ａ側に液状の樹脂３４ａを塗布し、組立体３１を封止する工程、（ｅ）液状の樹脂３４ａを硬化させる工程を有している。ここで、基板３３の貫通孔３５ａには、前記（ｄ）工程の前に導体柱３５が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】光学素子の性能を向上させる。
【解決手段】光学素子１は、内部に空間８が形成された容器２を有する。容器２には、容器２の内部の空間８を第１の空間９と第２の空間１０とに仕切る、光が透過可能な膜部材３が設けられている。第１の空間９には、第１の媒質５が充填されている。第２の空間１０には、第１の媒質５の屈折率と異なる屈折率を有する第２の媒質６が充填されている。また、光学素子１は、第１の空間９と第２の空間１０との間で、差圧を発生させる差圧発生部７を有する。差圧発生部７が発生させた差圧により膜部材３を撓ませることで、膜部材３を透過する光の焦点距離が変更可能である。そして、膜部材３の弾性率の分布が、膜部材３を透過する光の光軸ＯＡを中心とした同心円状の分布である。 （もっと読む）

【課題】光電変換装置の組み立ての封止工程で用いる封止樹脂中の気泡を除去する。
【解決手段】母材基板３０上に複数の太陽電池セルＳＣが配置されたモジュールを支持可能なヒートステージ４１と、ヒートステージ４１上に配置され、かつヒートステージ４１に搭載された複数の太陽電池セルＳＣ上にウレタン樹脂を塗布するスリットコータヘッド４２と、ヒートステージ４１上に配置され、かつ太陽電池セルＳＣ上に塗布された前記ウレタン樹脂を加熱する赤外線ヒータ４３とを有し、光電変換装置の組み立ての封止工程で、太陽電池セルＳＣ上に塗布した前記ウレタン樹脂を赤外線ヒータ４３で加熱することにより、前記ウレタン樹脂中の気泡を除去する。 （もっと読む）

【課題】反応セルとホルダの複雑な形状を一括して樹脂材料で成形する分析装置用連セル構造体の反り変形量を低減する。
【解決手段】複数の反応セル２を配置した反応セル設置面４と、分析装置に取り付けるためのフランジ面６とを備え、反応セル設置面４とフランジ面６が階層構造を形成している連セル構造体１８において、反応セル設置面４、反応セル設置面４とフランジ面６とを繋ぐ連結面５の一方あるいは両方の表面又は裏面に少なくとも１つのリブ２１を設けて剛性を増大する。 （もっと読む）

【課題】内部気圧の変動によるチャンバの変形によってもロボットハンドの位置変動がなく、かつ、比較的安価に実現可能な構造の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバと、前記真空チャンバ内に設けられ、搬入された基板を保持して所望の位置に搬送するための搬送ロボットを備えた基板搬送装置であって、前記搬送ロボットは、当該基板搬送装置を設置する床面に固定されると共に、その一部を、Ｏリングを介して、前記真空チャンバを構成する壁の一部に、当該真空チャンバ内を気密に保持可能で、かつ、相互に移動可能して、取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ベース膜厚のバラツキを低減できるスタンパ又はインプリント装置、精度のよい微細パターンを有する処理製品、精度のよい微細パターンを形成できる処理製品製造装置又は処理製品製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、スタンパ又は前記スタンパを用いてインプリントするインプリント装置、前記インプリントによって処理製品を製造する処理製品製造装置又は処理製品製造方法、及び製造された処理製品において、前記スタンパは前記処理製品基材から形成される処理製品の機能を果たすのに必要のないダミーパターンを有する。 （もっと読む）