【課題】
本発明は、ベース膜厚のバラツキを低減できるスタンパ又はインプリント装置、精度のよい微細パターンを形成できる処理製品製造装置又は処理製品製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、スタンパ又は前記スタンパを用いてインプリントするインプリント装置又は前記インプリントによって処理製品を製造する処理製品製造装置又は処理製品製造方法において、前記スタンパは前記処理製品として機能を果たす正規パターンが必要とする深さ以上のダミー部分の深さを備えるダミーパターンを有する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の性能を向上させる。
【解決手段】光学素子１は、内部に空間８が形成された容器２を有する。容器２には、容器２の内部の空間８を第１の空間９と第２の空間１０とに仕切る、光が透過可能な膜部材３が設けられている。第１の空間９には、第１の媒質５が充填されている。第２の空間１０には、第１の媒質５の屈折率と異なる屈折率を有する第２の媒質６が充填されている。また、光学素子１は、第１の空間９と第２の空間１０との間で、差圧を発生させる差圧発生部７を有する。差圧発生部７が発生させた差圧により膜部材３を撓ませることで、膜部材３を透過する光の焦点距離が変更可能である。 （もっと読む）

【課題】効率的に太陽電池の電極を形成する。
【解決手段】（ａ）複数の太陽電池セルＳＣを、複数の配線部材３２を介して電気的に接続し、組立体３１を形成する工程、（ｂ）表面３３ａ、裏面３３ｂ、および表面３３ａから裏面３３ｂまで貫通する貫通孔３５ａを有する基板３３を準備して、表面３３ａ側に組立体３１を配置する工程（ｃ）組立体３１の配線部材３２を基板３３の表面３３ａ側から裏面３３ｂに電気的に引き出す工程、（ｄ）前記（ｃ）工程の後、基板３３の表面３３ａ側に液状の樹脂３４ａを塗布し、組立体３１を封止する工程、（ｅ）液状の樹脂３４ａを硬化させる工程を有している。ここで、基板３３の貫通孔３５ａには、前記（ｄ）工程の前に導体柱３５が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】光学素子の性能を向上させる。
【解決手段】光学素子１は、内部に空間８が形成された容器２を有する。容器２には、容器２の内部の空間８を第１の空間９と第２の空間１０とに仕切る、光が透過可能な膜部材３が設けられている。第１の空間９には、第１の媒質５が充填されている。第２の空間１０には、第１の媒質５の屈折率と異なる屈折率を有する第２の媒質６が充填されている。また、光学素子１は、第１の空間９と第２の空間１０との間で、差圧を発生させる差圧発生部７を有する。差圧発生部７が発生させた差圧により膜部材３を撓ませることで、膜部材３を透過する光の焦点距離が変更可能である。そして、膜部材３の弾性率の分布が、膜部材３を透過する光の光軸ＯＡを中心とした同心円状の分布である。 （もっと読む）

【課題】高精度に調整可能な露光装置の調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の露光装置の調整方法は、鏡面部に光散乱部位を有する鏡面部材を有する露光装置の上記鏡面部に対し、レーザー光を照射する工程と、上記鏡面部の上記光散乱部位からの上記レーザー光の散乱光に基づき、上記光散乱部位までの距離を演算する工程と、上記演算工程に基づき上記鏡面部の形状を判定する工程と、上記判定結果に基づき、上記鏡面部の形状を調整する工程と、を有する。かかる方法によれば、鏡面部であっても光散乱により鏡面部の形状認識が可能となり、これに基づき、鏡面部の表面形状を調整することで、露光光の平行度の補正を効果的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】光散乱光度計を組み込んだ自動分析装置において、外光の影響を低減して分析精度を上げると共に、安全で使い勝手のよい自動分析装置を提供する。
【解決手段】本体筐体の内部に散乱光測定部を有し、本体筺体の上面４１０を覆う開閉可能な保護カバー６１０〜６３０を有する。中央の保護カバー６１０には、外光を遮蔽する遮光部が形成されている。また、保護カバーには内部を透視できる透視部６２１，６３１が設けられている。遮光部は、少なくとも散乱光測定部の上方に当たる反応ディスクの領域を覆うことで散乱光測定部に漏れ入る外光を低減し、散乱光測定が外光の影響を受けないようにする。保護カバーは、３分割構造以外に、２分割構造あるいは１枚構造としてもよい。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程におけるプロセスマージン評価において、人手による作業負担を軽減すること。
【解決手段】ウェーハ上の観察対象の画像から得られた情報に基づいて前記観察対象の良否を自動的に判定し、判定結果を画面に表示するステップ４０２、観察対象の良否をユーザの指示に基づき修正することが必要な観察対象を判定結果の中から抽出して表示するステップ４０３、抽出して表示された観察対象に対する判定結果をユーザの指示に基づき修正する処理するステップ４０４を実行する。 （もっと読む）

【課題】暗視野式（散乱光検出式）半導体ウェハ検査においては、パターンの微細化と共に欠陥信号も微弱化し、かつ欠陥種類により散乱光の方向特性も異なるため、これらを有効に検出する必要がある。
【解決手段】平面内で移動可能なテーブルに載置した表面にパターンが形成された試料上の線状の領域に試料の法線方向に対して傾いた方向から照明光を照射し、この照明光が照射された試料から発生した散乱光の像を複数の方向で検出し、この散乱光の像を検出して得た信号を処理して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法及びその装置において、散乱光の像を複数の方向で検出することを、光軸が前記テーブルの前記試料を載置する面の法線と前記照明光を照明する線状の領域の長手方向とが成す面に直交する同一平面内における異なる仰角方向でそれぞれ円形レンズの左右を切除した長円形レンズを介して検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】検査ステージに載置される基板の貼り付きを防止する。
【解決手段】凹凸状のステージ手２の基板保持部２０１〜２１４の表面に規則正しく配列された凸形のピン状パターン２９を複数設け、基板と載置面との接触面積を小さくする。ピン状パターン２９を基板保持部の全表面に渡って設け、基板保持部の中央付近に真空吸着及び圧空用の穴を複数設ける。真空吸着及び圧空用の穴を基板のサイズに合せその４隅に対応付けて配置する。ピン逃げ穴を千鳥配置とする。基板保持部の基板載置面にプール状窪み部を設け、そこに真空吸着用穴と圧空用穴を設ける。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡便に流量を制限することができる気体噴出ノズルを提供する。
【解決手段】気体浮上ステージは多数の気体供給ノズルから噴出する気体噴流を基板の下面に吹き付けることによって基板を浮上移動させる。気体供給ノズルは雌ねじを形成する工程で作成された螺旋部を気体の流路中に備えている。螺旋部備えた気体噴出ノズルは雌ねじを形成する工程によって作成されているので、ステージの全面に安価かつ簡便に形成することができ、この螺旋部によって流量を制限することができる。 （もっと読む）