説明

株式会社日立ハイテクノロジーズにより出願された特許

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【課題】基板を支持するチャックを移動する移動ステージの移動に伴うケーブルからの発塵を抑制して、マスク及び基板に塵が付着するのを防止する。
【解決手段】チャック10を搭載する移動ステージと、移動ステージに接続された複数のケーブル51と、複数のケーブル51を押さえるケーブル押さえ部材32cが設けられた複数の連結されたケーブル収容具32を有し、各ケーブル収容具32のケーブル押さえ部材32cに超高分子量ポリエチレンから成る潤滑層(超高分子量ポリエチレンチューブ32d)が設けられたケーブルガイド30とを備える。ケーブルガイド30に収容されたケーブル51により移動ステージへ電力を供給して、移動ステージによりチャック10を移動する。 (もっと読む)


【課題】
基板表面欠陥検査方法及びその検査装置において効率的に欠陥サンプルデータを収集して、分類性能の高い設定条件を提供することを可能にする。
【解決手段】
本発明は、検査対象の基板を載置して回転可能なステージ手段に載置された基板に1つ又は複数の光を照射し、前記基板からの反射或いは散乱光を検出する1つ又は複数の検出器を備えた検査光学系手段と、前記1つ又は複数の検出器から出力される信号を増幅してA/D変換した信号を処理して基板上の欠陥を検出する欠陥検出手段と、欠陥検出モデルに従って散乱光シミュレーションを行い複数の検出器出力を予想する出力計算手段と、ルールベースの機械学習によって分類器を構築する分類器構築手段を備えた基板表面欠陥検査装置において、前記分類器構築手段は、散乱光シミュレーションによる分類器を基に、必要な実欠陥サンプルの収集を提示し、必要十分な条件での分類器を構築する。 (もっと読む)


【課題】高マイクロ波の特性であるプラズマのモードジャンプにより、高電力側の高選択比領域を使用できず、一定のマージンだけ離れたところでプロセス開発を行ってきた問題点を解決し、エッチングに有効なプロセス領域を拡大し、特により高密度領域、すなわち高電力側への拡大を実現し、ゲート酸化膜とシリコン膜との高選択比のドライエッチング方法及び装置を提供する。
【解決手段】プラズマを発生させるためのマイクロ波をパルス状にパルス変調し、オン時のマイクロ波電力値をカットオフ現象が生じる電力値より高く設定し、デューティー比を65%以下、好ましくは50%以下に変化させることにより、マイクロ波の平均電力を制御する。さらに、パルスのオフ時間が50μs以上になるようにパルスの繰り返し周波数を制御する。 (もっと読む)


【課題】キセノンフラッシュランプを光源とし、測定波長範囲の各波長で異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がAD変換回路において飽和しないように積算時間を設定可能な分光光度計を実現する。
【解決手段】キセノンフラッシュランプ1からの光の波長を選択するとともに、その選択した波長に応じた積算時間をAD変換機回路13に設定する。発光強度が強い波長に対しては、AD変換回路13が飽和しない積算時間を設定する。キセノンフラッシュランプを光源1とし、測定波長範囲の各波長において異なるパルス発光時間を設定可能とし、取得信号がAD変換回路13において飽和しないように積算時間を設定可能とし、良好なS/N比であり、かつAD変換回路13の飽和を回避可能な分光光度計及び分光方法を実現することができる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、アライメントマーク異常時に対処に必要な時間を短縮して作業効率を向上できる電子部品実装装置及び実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】この発明は、少なくとも表示基板、またはその他の基板等のアライメントマークを撮像し、撮像した被サーチマークとあらかじめ登録しておいたテンプレートマークとの相関値がしきい値以下の場合、それぞれのマークを指定しておいた特徴量で比較し、異常内容を判定、表示し、オペレータのアシストまたは自動処理する電子部品実装装置及び処理作業方法。 (もっと読む)


【課題】軌陸車の機動性、利便性を損なうことなく、軌陸車に搭載可能な小型でかつ軽量な検測用パンタグラフ装置を提供する。
【解決手段】検測用パンタグラフ装置は、相対的にスライド移動する外筒40と内筒41とから構成される伸縮機構手段と、伸縮機構手段の伸張方向に定荷重を付与する定荷重付与手段45〜48と、架線と接触するすり板手段31と、すり板手段に接触する架線の状態を検測する検測手段32とから構成される。これによって、すり板手段を架線に安定的に接触させることができる。また、すり板手段が安定的に架線に接触しているので、その接触個所の状態を検測手段で検測することができる。外筒と内筒とを用いることによって伸縮機構部を簡易に構成することができ、小型化かつ軽量化することもできる。 (もっと読む)


【課題】高精度に調整可能な露光装置の調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の露光装置の調整方法は、鏡面部に光散乱部位を有する鏡面部材を有する露光装置の上記鏡面部に対し、レーザー光を照射する工程と、上記鏡面部の上記光散乱部位からの上記レーザー光の散乱光に基づき、上記光散乱部位までの距離を演算する工程と、上記演算工程に基づき上記鏡面部の形状を判定する工程と、上記判定結果に基づき、上記鏡面部の形状を調整する工程と、を有する。かかる方法によれば、鏡面部であっても光散乱により鏡面部の形状認識が可能となり、これに基づき、鏡面部の表面形状を調整することで、露光光の平行度の補正を効果的に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】大気圧空間と減圧空間とを分離するための薄膜周辺部の構成最適化することによって、試料6を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第一の筐体7を排気する真空排気ポンプ4と、第一の筐体7内で、照射により得られる荷電粒子線を検出する検出器3と、少なくとも第一の筐体7若しくは第二の筐体8のいずれかの一部か、若しくは別体として構成され、第一の筐体7内と第二の筐体8内との間の少なくとも一部を隔てる薄膜13と、薄膜13に設けられ、荷電粒子照射部側の開口面積が試料6側の開口面積よりも大きい開口部10aと、開口部10aの試料6側を覆い、一次荷電粒子線及び荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜13と、を備える荷電粒子線装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】装置の大型化および複雑化を伴うことなく、装置分析部の自動校正を行い、また装置の状態を保証できる自動分析装置を提供する。
【解決手段】測光位置に配置されるとともに試料と試薬との混合液を収容する反応容器に光を照射する光源と、前記混合液からの透過光または散乱光を検出する光度計を備えた自動分析装置であって、前記反応容器が配置される反応ディスクに、前記光度計の校正および状態チェックに用いる校正部材を備えており、前記校正部材により、光度計の校正が定期的に自動で実施され、光度計の光量変動や、反応容器の汚れ、恒温槽循環水の異物による汚れなど装置分析部の状態チェックが定期的に自動で実施される。 (もっと読む)


【課題】自動分析装置での検量線の作成時に、検量線作成に必要な標準液の設置ミス、依頼ミスの確認を可能にする。また、目的とする測定項目ごとに検量線作成完了までの時間を容易に把握する。
【解決手段】検量線を標準液を用いて作成する際に、測定項目ごとの測定状況(測定完了と測定中と測定前とが識別できる識別情報や、測定完了までの残時間や、各標準液の測定状況)を情報機器に出力する。標準液の設置し忘れ、測定依頼忘れなどの情報を把握でき、また、検量線作成にあとどれくらい時間が掛かるかを、操作者が認識できることによって、当該作業者が装置を離れる時間で何ができるか把握でき、業務効率の向上が図れる。 (もっと読む)


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