説明

株式会社日立ハイテクノロジーズにより出願された特許

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【課題】欠陥画像取得時間を短縮することが可能な欠陥観察方法および欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】複数の画像取得条件から選択した任意の画像取得条件を用いて検査対象である試料の表面を撮像して欠陥画像を取得する画像取得工程と、前記画像取得工程にて取得した欠陥画像を処理して、該試料の表面上の欠陥位置を算出する欠陥位置算出工程と、前記欠陥位置算出工程にて算出した欠陥位置の確からしさである欠陥検出確度を求める欠陥検出確度算出工程と、前記欠陥検出確度算出工程にて求めた欠陥検出確度が予め定めた条件を満たすかどうかを判定する終了判定工程と、を備え、前記終了判定工程にて該条件を満たすと判断するまで、前記複数の画像取得条件から画像取得条件を選択し直し、前記画像取得工程と前記欠陥位置算出工程と前記欠陥検出確度算出工程と前記終了判定工程とを繰り返す。 (もっと読む)


【課題】大気圧空間と減圧空間とを分離するための薄膜周辺部の構成最適化することによって、試料6を大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第一の筐体7を排気する真空排気ポンプ4と、第一の筐体7内で、照射により得られる荷電粒子線を検出する検出器3と、少なくとも第一の筐体7若しくは第二の筐体8のいずれかの一部か、若しくは別体として構成され、第一の筐体7内と第二の筐体8内との間の少なくとも一部を隔てる薄膜13と、薄膜13に設けられ、荷電粒子照射部側の開口面積が試料6側の開口面積よりも大きい開口部10aと、開口部10aの試料6側を覆い、一次荷電粒子線及び荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜13と、を備える荷電粒子線装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】装置の大型化および複雑化を伴うことなく、装置分析部の自動校正を行い、また装置の状態を保証できる自動分析装置を提供する。
【解決手段】測光位置に配置されるとともに試料と試薬との混合液を収容する反応容器に光を照射する光源と、前記混合液からの透過光または散乱光を検出する光度計を備えた自動分析装置であって、前記反応容器が配置される反応ディスクに、前記光度計の校正および状態チェックに用いる校正部材を備えており、前記校正部材により、光度計の校正が定期的に自動で実施され、光度計の光量変動や、反応容器の汚れ、恒温槽循環水の異物による汚れなど装置分析部の状態チェックが定期的に自動で実施される。 (もっと読む)


【課題】自動分析装置での検量線の作成時に、検量線作成に必要な標準液の設置ミス、依頼ミスの確認を可能にする。また、目的とする測定項目ごとに検量線作成完了までの時間を容易に把握する。
【解決手段】検量線を標準液を用いて作成する際に、測定項目ごとの測定状況(測定完了と測定中と測定前とが識別できる識別情報や、測定完了までの残時間や、各標準液の測定状況)を情報機器に出力する。標準液の設置し忘れ、測定依頼忘れなどの情報を把握でき、また、検量線作成にあとどれくらい時間が掛かるかを、操作者が認識できることによって、当該作業者が装置を離れる時間で何ができるか把握でき、業務効率の向上が図れる。 (もっと読む)


【課題】ウェハ検査において異物や欠陥を見つけた場合に、これら異物等の発生原因を探求するための電子顕微鏡を用いたウェハエッジ観察に関する好適な方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェハWFを保持する試料ステージ24と、半導体ウェハに電子線を照射する電子光学系18〜22と、当該電子線の照射により得られる二次電子あるいは反射電子を検出する検出器15,23と、傾斜可能なカラム16とを備え、半導体ウェハのエッジ上におけるレシピあるいは位置情報に従って定まる位置に、試料ステージ24によってカラム8の撮像視野を移動し、半導体ウェハのエッジにカラム16を傾斜させた状態で電子線を照射して走査電子顕微鏡画像を撮像する。 (もっと読む)


【課題】SEMを用いて試料を斜め方向から観察し三次元の寸法又は形状を計測する際、観察方向を正確に推定することにより高精度な計測ができるようにする。
【解決手段】形状既知の試料に収束電子線を照射し、試料表面から放出される電子を検出し、検出した電子の強度を画像化した画像を用い、形状既知の試料の画像上での幾何学的な変形をもとに収束電子線の入射方向を推定し、この推定した集束電子線の入射方向の情報を用いて観察対象試料のSEM画像から観察対象試料の3次元形状又は断面形状を求めるようにした。 (もっと読む)


【課題】自動分析装置などのメンテナンスにおいてオペレータが必要とする情報は、機能部位、装置ステータスにより異なり、情報取得に煩雑な作業が発生する。
【解決手段】複数の機能ユニットと、複数の機能ユニットを制御する制御部と、表示手段と入力手段を備えた携帯端末と、を備えた生体試料を分析する自動分析装置において、機能ユニットは、機能ユニットの識別情報を記憶する情報記憶手段と、該識別情報を携帯端末に通知する第1の通信手段とを有し、携帯端末は、該識別情報を受信する第2の通信手段と、受信した識別情報に応じて表示手段に表示する情報を決定し、決定された情報を前記表示手段に表示する表示情報決定手段とを有する自動分析装置と、することで情報へのアクセスを容易にし、メンテナンスの時間を短縮する。 (もっと読む)


【課題】磁界レンズを備える装置、特に電子顕微鏡等の荷電粒子線装置において、磁界レンズの消磁に要する時間を短縮する。
【解決手段】磁界レンズに単一振幅の交流電流を所定サイクル印加することにより、同一電流波形に対し同一ヒステリシス軌道を辿る安定閉ループを生成する。その安定閉ループを与える電流を流し、安定閉ループの分岐点を辿ることでヒストリ効果を消失させることができるため、消磁と同等な効果を得ることが可能となる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、試験管供給作業を行う上で重要な試験管方向判定装置に関して、通常一種類の試験管しか対応していなかった試験管の方向判定を、さまざまな酒類の試験管に対応させることを目的とする。
【解決手段】試験管の内部に挿入可能な接触部を試験管に接近させ、試験管底部を向けているときは接触部と接触し、接触したことをセンサが検知することで試験管が底部を向けていることを判定する。試験管が開口部を向けているときは、接触部は試験管内部に挿入され、接触しないことから試験管が開口部を向けていることを判定する。この接触部の移動量を、試験管の種類ごとに予め設定しておき、オペレータが方向を判定したい試験管の種類を操作部で入力すると、それに対応した接触部の移動量が制御できる。これにより多種類の試験管に対応した方向判定ができる。 (もっと読む)


【課題】基板の露光領域を連続する複数の区画に分けて露光する際、各区画の境界でパターンの段差が発生するのを効果的に防止する。
【解決手段】マスクホルダ20に保持されたマスク2の上方に露光量調節板42a,42b,43a,43bを設け、露光量調節板42a,42b,43a,43bを基板1の露光領域の各区画A,B,C,Dの境界付近で移動させて、各区画A,B,C,Dの境界付近へ照射される露光光の光量を調節する。基板1の露光領域の各区画A,B,C,Dの露光時に、露光量調節板42a,42b,43a,43bにより光量を調節した露光光を、各区画A,B,C,Dの境界付近へ重ねて照射する。 (もっと読む)


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