【課題】微動アクチュエータを内蔵した磁気ヘッドの検査において、熱ドリフトや熱膨張の影響を回避して、安定したサーボ制御を実現すること。
【解決手段】磁気ヘッド検査装置１０は、磁気ヘッド４を磁気ディスク１上の所望の位置に位置決めする微動ステージ７と、微動アクチュエータの移動特性を測定するデータ処理回路１５と、データ処理回路１５の測定結果に基づいて磁気ヘッド４を磁気ディスク１上のサーボトラックに追従させるサーボ制御回路１１を備える。サーボ制御回路１１は、微動アクチュエータの移動量が許容範囲を超えるとき、微動ステージ７を駆動して磁気ヘッド４を移動させ、微動アクチュエータの移動量が許容範囲内に収まるように制御する。 （もっと読む）

【課題】ガス管路１１８からウエハ端部に至るガス流路に活性化したクリーニングガスを供給して、ガス噴出部、ウエハのエッジ部分等に堆積する堆積物を除去する。
【解決手段】真空排気装置が接続可能で内部が減圧可能な真空容器と、該真空容器内にガスを供給するガス供給手段と、前記真空容器内に供給されたガスをプラズマ化するプラズマ生成手段と、前記真空容器内に配置され、その上面に試料を載置し保持する試料台と、該試料台の外周をリング状に被覆して試料台をプラズマから保護するサセプタを備えたプラズマ処理装置において、前記サセプタは、ガスを導入して蓄積するガス充填部１１３、ガス充填部に充填されたガスを試料載置面側に噴出するガス噴出部１１５と、前記プラズマの発光を前記充填部に導入する光透過窓１１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置で用いるシャワープレートの穴部の残渣を効果的に除去することのできるシャワープレートの洗浄方法を提供する。
【解決手段】プラズマ処理室と、前記プラズマ処理室にガスを導入するシャワープレートとを備えたプラズマ処理装置で用いるシャワープレートの洗浄方法において、プラズマ処理室にガスを導入するための複数の穴を有し、研磨材で研磨処理されたシャワープレートを準備する準備工程と、濃硝酸と過酸化水素水とを含む硝酸過水を用いて研磨処理されたシャワープレートを洗浄する洗浄工程１４とを有する。 （もっと読む）