【課題】 繋ぎが確実に行え、所望パターンを露光できる荷電粒子線露光方法を提供する。
【解決手段】 複数の荷電粒子線を基板上の互いに異なる位置に入射させ、前記複数の荷電粒子線を偏向する偏向器によって定められる各荷電粒子線の要素露光領域内で、荷電粒子線を偏向させるとともに、各荷電粒子線の照射を制御することによって、前記基板上の複数の前記要素露光領域内にパターンを露光する荷電粒子線露光方法において、前記要素露光領域同士が隣接する部分では要素露光領域を重複させて露光する多重露光領域を設定する段階と、前記多重露光領域において、どちらか一方の前記要素露光領域にのみ存在するパターンは、多重露光しない段階とを有する。 （もっと読む）

【課題】静電吸着力の解除に必要な時間を短縮して処理の効率を向上できるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】真空容器の内側に配置された処理室と、この処理室内の下方に配置されその上に略円形の試料が載置される試料台とを有し、この試料台上方の前記処理室内の空間にプラズマを形成して前記試料を処理するプラズマ処理装置であって、前記試料台の前記試料が載置される面上を覆う誘電体膜と、この膜の内側に配置され前記試料をこの試料を処理する際に前記誘電体膜上に吸着して保持するための電力が供給される正負の電極４０１の対とを備え、これらの電極が前記試料台の上方から見てその中心に対し左右について略対象に配置される。 （もっと読む）

【課題】ポンプの立ち上がり時間を短縮することができる送液システムを提供する。
【解決手段】
本発明の送液システムは、プランジャを備えた第１及び第２ポンプと吸込口と吐出口を有し、上記吸込口を介して吸込んだ液を上記第１、第２ポンプを経由して上記吐出口から吐出する。起動運転モードでは、上記第２ポンプを停止し上記第１ポンプのみを作動する。上記吐出口の吐出圧力が所定の値に到達したとき起動運転モードを定常運転モードに切り替える。定常運転モードでは、上記第１ポンプを停止し上記第２ポンプのみを運転する。
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【課題】所望のパターン寸法精度を得られる荷電粒子線露光装置を提供する。
【解決手段】露光される基板に対して荷電粒子線の遮蔽と露光を繰り返すブランキング手段を用いて前記基板を露光する荷電粒子線露光装置において、ブランキングの方向を調整する。ブランキングの方向は、例えばラスタースキャン方向と垂直な方向または荷電粒子線の基板上でのビーム径が最も短い方向となるように調整する。 （もっと読む）

【課題】 所望パターンを露光できるラスタースキャン荷電粒子線描画方法を提供する。【解決手段】 荷電粒子線を走査して基板上の複数のピクセルからなるパターンを露光する荷電粒子線描画方法において、前記パターンのエッジに位置するピクセルの露光時間が他のピクセルの露光時間よりも小さくなるように指令値を生成する生成ステップと、前記指令値を直前のピクセルの指令値に基づいて補正する補正ステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】
複数の分析ユニットで構成された自動分析装置において、特定の分析ユニットで試料の定量吸引異常を認識した場合は吸引試料の排出動作など異常処理動作が付加されるが、当該試料が分析依頼された以降の分析ユニットで同様な動作が発生し処理能力が低下する現象を防止する。
【解決手段】
本発明を適用するには自動分析装置のシステムを制御するアプリケーションソフトウェアにおいて特定分析ユニットで認識された定量吸引異常の認識情報を、複数の分析ユニット相互間で共有化し、定量吸引異常が認識された分析ユニット以降の分析動作を実行不可とすることで可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ＢＡＡ電極に高い電圧を印加する必要性をなくして耐電圧性の問題を解決するとともに、駆動速度の高速化を可能にする。
【解決手段】 電子源１０１から放射された電子ビームＥＢを加速し、略平行化した後、前記電子ビームをアパーチャ−アレイ１２１でマルチ電子ビームに分割する手段と、それぞれの前記マルチ電子ビームをＯＮ及びＯＦＦするブランキング手段としてのＢＡＡ１２２と、それぞれの前記マルチ電子ビームを収束させる手段としてレンズアレイ１２４、および、前記マルチ電子ビームを縮小投影する縮小投影系１３０とを備え、前記ＢＡＡ１２２が電子ビームの最終加速電位に対し、中間の電圧領域に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 トリミング実施中の疎パターンと密パターンのそれぞれのトリミング量をモニターする方法を確立し、それぞれのパターンのトリミング量が規格値に収まるトリミング終点を検出する方法を実現するトリミング量制御技術を提供する。
【解決手段】 真空処理室内に収容したウエハにレジストトリミング処理を施すプラズマエッチング処理装置１３において、プラズマ処理中の装置状態をモニタリングするＯＥＳ１９を有し、ＯＥＳ１９からのモニタリング出力に基づく特徴量１６およびトリミング時間１５とから予め設定した疎密パターン別トリミング量予測回帰モデル１７を用いて疎密パターン別トリミング量予測値１８を予測し、トリミング量予測値１８と目標トリミング量１１０との距離が等しくなる時点をトリミングプロセスの終了点として、プラズマエッチング処理装置１３を制御する。 （もっと読む）

【課題】
散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の設定と独立にエネルギー分光器の取りこみ角度範囲が設定でき、散乱電子線検出器の取り込み角度範囲の変化に対してエネルギー分光器の条件を変更する必要がない走査透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
エネルギー分光器１８を備えた透過走査電子顕微鏡にあって、試料３２によって散乱された電子線を検出する散乱電子線検出器の上方に散乱電子線の取り込み角度を設定するための第１の回転対称型レンズ６を設置し、散乱電子線検出器とエネルギー分光器１８との間に第２の回転対称型レンズ１３を設置し、第１の回転対称型レンズ６により散乱電子線の取り込み角度を設定し、第２の回転対称型レンズ１３によりエネルギー分光器１８の物点を設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 偏向電極の厚さを薄くすることを可能にし、アレイの高密度化を容易にし、荷電粒子線の照射によるチャージアップの可能性を低くする。
【解決手段】 基板６０１に第１の開孔６０２を形成し、前記開孔の表面に絶縁膜６０５を形成した後、この絶縁膜上に導電薄膜６０４を形成する。その後、前記開孔表面の導電薄膜６０４を、それぞれの開孔について分離する。前記開孔表面の導電薄膜の分離では、第１の開孔６０２内に樹脂を充填した後、第１の開孔６０２の外側の隣接した位置に、第２の開孔６０３を形成し、第２の開孔６０３内に表出する、第１の開孔６０２の側面の絶縁層を除去し、かつ第２の開孔６０３内に表出する、第１の開孔６０２の側面導電薄膜を除去する。 （もっと読む）