説明

株式会社キッツエスシーティーにより出願された特許

1 - 10 / 22


【課題】弁閉時の流体の残留部分の容積を極小にして流路の切り替えを高速化でき、耐久性を向上して長寿命化を図り、ダイヤフラムの交換も容易なダイヤフラムバルブを提供する。
【解決手段】弁箱20内の弁座25の弁口25a直下に極小の容積Vを有する連通部29を介してメイン流路23を配設し、弁箱20内にシートホルダ33でシート26を保持したダイヤフラム構造体21を装着する。ダイヤフラム構造体21は、シートホルダ33とダイヤフラムピース32とを螺着結合して内径孔外周縁52を挟着し、ダイヤフラムピース32をボンネット34で上下動可能に保持し、軸部32aに装着したスプリング41でダイヤフラム31を開方向に付勢させ、スプリング41を軸部32aに螺合したストッパ40で適正な荷重を与える構成とし、ボンネット34と弁箱20内でダイヤフラム31の外周縁53を挟着してダイヤフラム吊り下げタイプとした。 (もっと読む)


【課題】短筒形状の溶着環状部を有する継手を溶着する場合であっても、通常の溶着機のクランプで固定代と適正な芯間寸法を確保し、同時に同軸上に位置させて芯合わせも行うことを可能とした樹脂製端面突合せ継手とその継手の溶着方法、並びに配管器材を提供すること。
【解決手段】継手基部に継手基部内の流路と連通する複数の溶着環状部を設け、この溶着環状部の少なくとも一つの溶着環状部の同軸上で、かつ前記継手基部の外端に溶着機クランプ用の固定部を設けた樹脂製端面突合せ継手である。 (もっと読む)


【課題】弁体の無摺動動作によりパーティクルや粉塵の発生を抑えつつ開閉動作でき、大口径に設けた場合にも大型化を防ぎ、スループットを上げるために高速に開閉動作し、開閉動作後の弁体を確実にロックし、ウエハや基板等の大型化に対応し、エアシリンダの駆動源を用いたときに弁閉時にエアを排気しても弁閉止状態を確実に保持するゲートバルブを提供する。
【解決手段】弁箱1に保持枠体2を介在させてピストンロッド11を有する複動式エアシリンダ5を設け、ステム4にステムホルダ21を設け、ステムホルダ21の摺動部31を揺動リンク32のガイド部33に沿って上下動自在に摺動させ、ピストンロッド11とステムホルダ21との間に傾動保持用スプリング13を装着し、ローラカム15と傾動用ローラ14とを弁閉傾動動作開始位置で嵌合させ、これらの嵌合時に揺動リンク32を揺動させてその揺動動作に伴って弁体3を弁座シール面7に揺動閉止させた。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で固体原料を補充できる基板処理装置および簡単に固体原料を補充できる固体原料補充方法を提供する。
【解決手段】固体原料容器300と、固体原料容器と処理室201との間の配管232bと、固体原料容器と接続された配管380であって、補充用の固体原料を保持する原料補充容器350が取り付けられる取付部を備える配管380と、配管380と真空排気手段246との間に接続された配管259と、配管380に接続され、パージガスを導入するための配管284と、配管259の途中に接続されたバルブ268と、配管284の途中に接続されたバルブ269と、を備え、原料補充容器から固体原料容器へ固体原料を補充するために原料補充容器が取付部に取り付けられた際に、配管内380を真空引きし、その後配管380内にパージガスを導入する。 (もっと読む)


【課題】融点の高い小径の樹脂製環状ワークであっても所定の高温状態まで加熱して強固に溶着でき、環状ワークの端面形状に適した温度分布に発熱してこれらを均等に溶融して接合でき、全体のコンパクト性を確保して溶着機の小型化も可能な樹脂製環状ワーク用溶融ヒータと溶着機を提供する。
【解決手段】矩形状導電性セラミック製のヒータプレート1の両面の左右方向の両端に電極部2を施した樹脂製環状ワーク用溶融ヒータである。この溶融ヒータは、ヒータプレート1の上下方向に施した電極部2の長さL1がヒータプレートの上下方向の長さL2より短く形成され、ヒータプレート1の発熱領域Tが円錐形状の温度分布になっている。 (もっと読む)


【課題】全体の小型化と部品点数の削減とを図りつつバルブを作動させる推力を高めてシール性を向上させ、高圧流体用のバルブにも適用でき、可動時にかかる荷重を分散させて耐久性を向上させ、内部構造を単純化して部品点数を削減し、バルブへの組付けや調整も容易なバルブ用アクチュエータを提供する。
【解決手段】エアー駆動のアクチュエータでピストン25の推力を拡大して弁35を締め切る推力拡大機構30を内蔵するバルブ用アクチュエータである。推力拡大機構30は、弁駆動用出力軸部26の上部のディスク面38上に複数のボール28が配置され、ボール28は、シャフト43下端の固定ディスク面50と、円錐形状のテーパ面状部31を有するテーパ面状部面48との間に挟持される。ピストン25の作動により、ボール28がディスク面38と固定ディスク面50との間を移動して、ピストン25の推力が出力軸部26に拡大して出力される。 (もっと読む)


【課題】弁体およびエア駆動部をスライドプレートと一体で取り外しを可能とし、メンテナンスを容易にするスライドバルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー3内に、流路2の流れを阻止する閉鎖位置と流れを許容する開放位置との間を流路軸に対して垂直で水平上に移動するスライドプレート4を設けたスライドバルブ1において、スライドプレート4内に組み込んだ弁体13を流路軸方向に移動させて弁体13を開閉自在に設けると共に、スライドプレート4の基端部6をボデー3に軸装した回転軸7に着脱可能に取り付けると共に、スライドプレート4に設けた基端部6と回転軸7を接続する際に、回転軸7の接続部位に設けた連通孔と排気路と、スライドプレートに設けたエア供給排気ポート6cと排気ポートとの両者を同時にOリング10を介してシール着脱できるようにした。 (もっと読む)


【課題】ヒータの発熱によりバルブ内への生成物の付着を防ぎ、バルブのボデーを分解することなく弁体部分等のメンテナンスを実施できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー81とこの流路を弁軸89により開閉可能な弁体83とを有し、真空チェンバと真空ポンプとの間に接続されるバタフライ式圧力制御バルブである。弁軸89に弁体83を着脱自在に取付けると共にこの弁軸89にヒータを取付け、このヒータに接続した配線92を介して外部より電流を流すことでヒータを発熱させ、この熱を弁軸89から83弁体に伝導した。 (もっと読む)


【課題】ガス化用材料等の処理体を気化又は昇華させて供給でき、集積弁を集積化した状態で取付けて取付け強度を確保しつつ内部流路の容積を小さくし、かつ、内部への処理体の残留を防ぐことができる材料収納容器を提供する。
【解決手段】処理体収納容器と処理体充填容器一体型ブロックバルブは、処理流体を充填した容器本体1の蓋、天板、鏡板などの上面に位置している上面部位を実装基盤2とし、この実装基盤2の肉厚部7内に容器本体1内に連通させた処理流体の供給部8と排出部9を有している。この供給部8と排出部9の接続シール面11には、平面マウント用バルブである集積弁4、5が直接取付けられている。 (もっと読む)


【課題】大気圧又は大気圧に近い低真空から高真空までの広い圧力レンジを簡単に圧力制御でき、高精度に圧力制御しながらスロー排気してパーティクルの飛散を確実に防止する真空圧力制御システムを提供する。
【解決手段】真空ポンプ5を介して真空容器4内の真空圧力を変化させる開閉弁2と、真空容器4内の真空圧力を計測する真空圧力センサ3を介して開閉弁2の開度を制御する真空圧力制御システムであり、到達関数f(x)を算出する演算機能と、開閉弁2を任意の時間幅でオープンクローズするタイマー60と、オープン・クローズ開度値を真空圧力センサ3の出力と到達関数f(x)から演算する機能とを有する制御ユニット手段10と、開度値を駆動する駆動手段12と、圧力低下の所要時間Tと到達圧力Pを外部からコマンド入力する入力手段13とを設けて、大気圧又は任意の圧力から目標とする任意の圧力まで低下させるようにした。 (もっと読む)


1 - 10 / 22