【課題】洗浄液チャンバからの洗浄液をノズルでウェハに向けて噴射して洗浄することにより、洗浄液を節約すると共に廃液を減少する。
【解決手段】耐酸性又は耐アルカリ性の材料で形成され内部に所定の少量の洗浄液２を収容する洗浄液チャンバ１と、耐酸性又は耐アルカリ性の材料で形成され上記洗浄液チャンバ１にパイプ７で接続されて内部の洗浄液２を洗浄対象のウェハ４に向けて噴射するノズル３と、このノズル３の下方に配置され上面にウェハ４を載置するステージ５と、このステージ５の全体を内側に包み込んで上記ノズル３から噴射される洗浄液２を受ける洗浄バス６とを備え、上記ノズル３とステージ５上に載置されたウェハ４とを相対的にＸ，Ｙの２次元方向に移動することにより、ウェハ４の表面に洗浄液２を吹き付けて洗浄するものである。 （もっと読む）

【課題】 回転する基板の所定の表面領域をマスクで覆って薬液を噴霧することにより、薬液を節約し、塗布時間並びに乾燥時間を短縮しようとするスプレー併用スピンコート方法及びスピンコート装置を提供することである。
【解決手段】 水平に保持して回転される基板１の表面の所定領域をマスク３で覆い、上記基板１の上方に配置されたスプレーノズル４により該基板１の表面に薬液を噴霧し、上記基板１の所望領域に薄膜を形成するようにしたものである。これにより、薬液の使用量を減少させ、塗布時間及び乾燥時間を短縮させることができる。 （もっと読む）

【課題】 薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により内部に発生する負圧を利用して上記薬液タンク１０からの薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液供給パイプ７に対しノズル１１が接続された部位の近傍から分岐されて上記薬液タンク１０の上面に接続されその内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段１３により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズル１１への薬液の供給流量を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】 基板周縁部ではノズルによる薬液の噴霧密度を低くして塗布することによって、基板全面に亘って膜厚が均一な薄膜の塗布を可能にしようとする薄膜塗布方法及びその制御装置を提供することである。
【解決手段】 薬液を噴霧するノズル１と基板２とを相対移動させて該基板２の表面に薄膜を塗布する方法であって、上記薬液の基板２面に対する噴霧密度が、上記基板２の中心部よりも周縁部２ａ〜２ｄで低くなるようにして塗布するようにしたものである。これにより、基板２の周縁端部２ａから２ｄにおける薄膜の盛り上がりを抑制し、基板全面に亘って膜厚の均一化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 噴射方向の周辺領域への液体微粒子の飛散を防止し、所定領域に均一な液体微粒子の噴霧を可能とする液体微粒子発生用ノズルを提供する。
【解決手段】 ノズル本体部２に高圧気体と液体とを導入し、高速流の気体によって破砕された液体微粒子及び気体の混合気体を噴出する混合気体噴出口５５を先端部に備えた液体微粒子発生用ノズルにおいて、上記ノズル本体部２の先端部に混合気体噴出方向に突出させて筒状の飛散液体捕捉カバー３を設け、該飛散液体捕捉カバー３は、内部が中空３１とされた２重壁構造をなし、その内周壁面３２には前記中空部（３１）に連通した液体捕捉孔３３を形成したものである。これにより、周辺領域への液体の飛散が防止しでき、所定領域に均一な液体噴霧が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンクに薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンクから供給される薬液を負圧吸引して該薬液を噴射するノズル１１と、上記薬液タンクの上面に接続され内部空間Ｓの空気を吸引して負圧を発生させる空気吸引手段１２と、上記薬液タンク内に形成される負圧空間に対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１３とを備え、上記正圧供給手段により薬液タンクに供給する正圧ガスの圧力を調整することによって上記ノズルへの薬液の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）

【課題】 薬液供給システムにおいて、薬液タンクからの薬液を負圧吸引して噴射するノズルを利用して薬液供給の微少流量制御を可能とする。
【解決手段】 内部に薬液５を収容して密閉可能とされた薬液タンク１０と、この薬液タンク１０に薬液供給パイプ７で接続され外部からの高圧気体の送気により上記薬液タンク１０から供給される薬液５を負圧吸引して該薬液５を噴射するノズル１１と、上記薬液タンク１０内に形成される負圧空間Ｓに対し任意圧力の正圧ガスを供給する正圧供給手段１２とを備え、上記正圧供給手段１２により薬液タンク１０に供給する正圧ガスの流量を調整することによって上記ノズル１１への薬液５の供給流量を制御するものである。これにより、薬液タンク１０からの薬液５を負圧吸引して噴射するノズル１１を利用して薬液供給を微少流量で制御できる。 （もっと読む）