【課題】破損等に関わらず基板の利用率を高め、かつ、カセット等の汎用性を高める。
【解決手段】基板載置部７の吸着面７ｂに基板が載置されて吸引孔７ａが塞がれ、裏面側の被吸着面が搬送ロボットのフィンガの先端部に形成された吸着面に載置されて、吸引孔６ａと、フィンガの先端部に形成された吸引孔とが連通され、真空吸着によって、吸引孔６ａ，７ａ及び吸引路に沿って吸気されて、フィンガに基板把持用治具１が吸着されると共に、基板は基板把持用治具１に押し付けつけられて、基板及び基板把持用治具１がフィンガによって吸着・把持される。 （もっと読む）

【課題】使用済みの種類の異なる薬液を混合されない状態で回収して再利用する。
【解決手段】主制御部は、ノズル１５ａを滴下位置に配置させると、シリンダアクチュエータを制御して、薬液案内カップ１７を下位配置位置に変位させ、ＯリングＧを介して薬液受け部材１３に接触させて、ノズル１５ａから滴下されて飛散した使用済の薬液が、排出管６ａへ導かれるようにし、ノズル１５ｂを滴下位置に配置させると、薬液案内カップ１７を、薬液受け部材１３から離反させて、上位配置位置に変位させて、ノズル１５ｂから滴下されて飛散した使用済の薬液が排出管６ｂへ導かれるようにする。 （もっと読む）