【課題】メタルタッチを回避して、パーティクルの発生を抑制する。これによって、製品の不良品発生率を下げる。
【解決手段】アリ２１に嵌め込んで使用されるアリ溝用シール材１１であって、当該アリ溝用シール材１１の断面形状におけるアリ溝２１内に収容される溝収容部２１の上に、アリ溝２１の開口部２２から突出する頭部１３が形成されるとともに、該頭部１３には、アリ溝２１の溝幅方向両外側の側部に張り出す張り出し部１８，１８が形成され、頭部１３が全体として茸の笠状に形成されたアリ溝用シール材１１。 （もっと読む）