説明

エイド・コーポレイションにより出願された特許

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光学スキャナからのマルチチャネル欠陥データのような、それぞれが3つ以上のパラメータを関連付けられる複数のデータ点から成る母集団が3次元でプロットされ、データ点のグループが特定される。データ点のグループを画定するために、3次元空間において境界面が定義される。異なるグループは異なるデータ分類又はタイプに対応する。境界面に基づいて分類アルゴリズムが定義される。欠陥分類に適用されるとき、そのアルゴリズムは、欠陥を実行時分類するために光学スキャナにエクスポートすることができる。データ点の特定のグループを特定するためのアルゴリズムを、2つ以上の異なるn次元表現からの分類規則のブール演算による組み合わせとして定義することができる。ただし、nは表現毎に2又は3にすることができる。
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