【課題】 助剤膜を形成する手間も時間もかからず、有価資源として高価値の銅粉を回収することができ、装置の大小に係わらず採用可能な濾過フィルタを提供することにある。
【解決手段】 本願発明の濾過フィルタは、プリント基板の研磨廃液を濾過するための濾過フィルタであって、メッシュ材からなる内袋及び外袋を備えるものである。内袋のメッシュ径を外袋のメッシュ径よりも大きくしてある。内袋及び外袋はいずれも可撓性を備えている。内袋及び外袋は縦長の袋状であり、下端側に開口部が設けられ、開口部から回収物を取り出せるようにしてある。開口部側には開口部を封止するための巻上げ部を設けてもよい。内袋と外袋の上端側に導入口を設けてある。内袋と外袋を連結してユニットとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】研磨回数が多くなっても研削屑が研磨具の外周面の砥粒や不織布に絡みつき、水を掛けても研削屑を洗い流しきれず、次第に、研磨具が目詰まりを起こし、研磨効率が悪くなることを防止する。
【解決手段】研磨具１の心側或は内側から研磨面２に液体を流出させながらワーク３を研磨するようにした。ワーク表面を化学的に溶解可能な薬液を用いるようにもした。研磨具１に液体供給部８を設け、液体供給部８から研磨材９に液体を供給して、液体が研磨材９の心側又は内部から研磨面２に流出して、研削屑が洗い流される研磨具１とした。この研磨具１をモータで回転させてワーク３に接触させ、外部から供給された液体供給部内の液体を研磨材の心側或は内側から供給して研磨面２に流出させながらワークを研磨できるようにした。 （もっと読む）