【課題】本発明は真空チャンバを通して搬送される平面基板用の搬送システムを備えた真空コーティング設備に関する。
【解決手段】搬送システムは平行に配置された複数のシリンダを備える。これらのシリンダの駆動手段として、１つ以上のモータを設置することができ、真空チャンバの内部又は外部に位置される。モータとシリンダとの間の連結はいずれの場合もマグネットカップリングを介して行われる。これにより駆動手段とシリンダとの間には機械結合が確立されないことから、これらは容易に分離可能であり、真空チャンバ内外への移動が可能なスライドイン要素にスパッタカソードと共にシリンダを設置することが可能となる。シリンダ全てに各自の駆動手段を設置しない場合でも、駆動手段と連結させるシリンダはＶベルト等を介して他方のシリンダに連結可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機物質、特に、ＯＬＥＤを有する電子デバイス、又はその他有機オプトエレクトロニックデバイスのための薄膜カプセル化構造、対応のコンポーネント及び製造方法に関する。
【解決手段】カプセル化されるデバイス又は表面に直接配置された第１の無機バリア層（５）と、該第１の無機バリア層上に配置された平坦化層（６）であって、該平坦化層の厚さを選択して、第１のバリア層の表面又は第１のバリア層の下のデバイスの表面又はカプセル化される表面の最頂部と最底部間の距離の単純値よりも厚くなるようにした平坦化層（６）と、平坦化層上に配置された第２のバリア層（１４）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】気化装置の寿命を維持しつつ、気化される物質の熱負荷を低減できる気化装置を提供する。
【解決手段】気化チューブ３を備えた物質の気化装置に関し、気化された物質の排出口を少なくとも１つ含む。気化チューブ３は蒸気分配器５に連結され、少なくとも２つの加熱可能な気化ユニットを含む。気化チューブ３内には、上部及び下部ピストンが設けられており、これらは間隙により分離されている。少なくとも２つの分離した気化ユニットは、トング形状で、少なくとも上部及び／又は下部ピストンを包囲する。 （もっと読む）

本発明は、ガラス窓等用の赤外線反射層システムに関し、該層システムの特製は、熱処理後、例えば、ガラス窓を曲げたり、硬化した後でも維持される。銀を赤外線反射層として用いる。ＮｉＣｒＯｘとＺｎ（Ａｌ）Ｏｘの組み合わせを銀の下層ブロッカーとして用いる。また、化学量論的層もプレブロッカー層として用いる。具体的な作用点を、ＴｉＯｘＮｙの第１の誘電体層について選択する。二重下層ブロッカーとしてのＮｉＣｒＯｘとＺｎＡｌＯｘの層の厚さ及び酸化の程度と、ＴｉＯｘＮｙ基層の作用点の調和が、コーティングの焼き戻し性にとって重要である。
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【課題】管状カソードを有するスパッタ装置において、基板に対する連続的かつ均一な被覆のために、管状カソードの供給を可撓性を有する案内線要素を介して行う。
【解決手段】電力、冷却液、および他の媒体の管状カソードへの供給は、受容器に巻かれる可撓性を有する線および／またはチューブを介して行われる。管状カソードが振り子運動を終了すると、その線および／またはチューブは受容器上に巻かれるか、または、そこから解される。管状カソードの振り子運動は、管状カソードが第１の方向における第１の角度と、および第１の角度とは異なる後続する第２の方向における第２の角度とに回転されるようにすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】基板に成膜を行う新規なシステムを提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態は、基板上に成膜するシステムである。このシステムは、真空チャンバと、真空チャンバに内蔵された線形放電管と、線形放電管に印加可能なマイクロ波電力信号を生成するよう構成されたマグネトロン１７０と、マグネトロンに電力信号を供給するよう構成された電力供給源１６０と、電力供給源に接続されたパルス制御部１６５とを含む。パルス制御部は、複数のパルスのデューティサイクルと、複数のパルスの周波数および／または複数のパルスの輪郭を制御するよう構成される。 （もっと読む）

【課題】基板の縁を均一にかつ厚過ぎないように覆うことができる基板キャリヤを提供することにある。
【解決手段】本発明は、少なくとも一部が、基板の熱膨張係数より大きい熱膨張係数をもつ材料からなる基板キャリヤに関する。特にスパッタリング加工中に、基板の縁のコーティングが不均一になることを防止しまたは少なくとも低減させるため、基板キャリヤにはウェブの中央部が固定されている。このウェブは、該ウェブが固定される基板キャリヤの領域の熱膨張係数より小さい熱膨張係数を有している。 （もっと読む）

【課題】基板の縁を厚過ぎないように覆うことができかつ両縁を実質的に等しく覆うことができる基板キャリヤを提供する。
【解決手段】２つの垂直プレート３、４および２つの水平プレート５、６を有する基板キャリヤ１であって、基板２がスパッタリングユニットを通って搬送される間に、基板２の縁領域が均一にコーティングされるようにするため、２つの垂直プレート３、４間にレバー構造が設けられている。このレバー構造は少なくとも1つの水平ウェブ１５、１６、２０、２７、３１、３２を有し、該水平ウェブ１５、１６、２０、２７、３１、３２は、熱膨張係作用を受けて、水平プレート５、６よりも小さい度合いで膨張する。 （もっと読む）

【課題】壁や他のスクリーンの設置を必要とすることなく、飛散が少しも基板に到達しない蒸発装置を提供すること。
【解決手段】少なくとも１つの物質で複数の基板をコーティングするための蒸発装置であって、溶融区域と、蒸発区域と、溶融区域および蒸発区域の間に設けられ、両者を連結する加熱区域と、溶融区域および蒸発区域の各々を異なる温度に加熱する加熱装置とを有する少なくとも１つの坩堝を具備する蒸発装置である。加熱区域を介して溶融物質が溶融区域から蒸発区域内へ流入するようになっていて、加熱区域の温度は溶融区域の温度および蒸発区域の温度の間である。 （もっと読む）

【課題】ターゲットキャリア上の単一または多数部品ターゲットの摺動を促進すること。
【解決手段】本発明は、ターゲットキャリアおよびターゲット付き筒状カソードに関する。ターゲットは単一または多数部品からなり、ターゲットキャリアとターゲットの間には、熱伝導物質からなり、複数の細いリングで互いに分離された複数個の環状構成要素がターゲットキャリアの長手方向に沿って置かれている。環状構成要素上で容易に摺動可能になるように、ターゲットは少なくともその一端面側に面取り部分を有する。 （もっと読む）