【課題】多数の用途で使用できるとともに、特に、ガス分析器につながることができる、簡略化したガス採取装置を提供する。
【解決手段】高真空気密ケーシングを含むガス採取装置であって、高真空気密イオン化チャンバが形成されており、前記イオン化チャンバはイオン化されるべきガス用の入口の第１の穴を通してイオン化チャンバの外部の環境に通じているとともに、イオン化チャンバはイオン化されたガス用の出口の第２の穴を通してイオン化チャンバの下流の環境に通じており、前記第１の穴は、ナノメートル程度の直径を有する少なくとも１つのナノホールが設けてある高真空気密膜を用いて、イオン化チャンバの外部の環境から分離されており、前記ナノホールは実質的に直線的な軸に沿って膜を貫通している、ガス採取装置。 （もっと読む）

【課題】簡素化したＧＣ−ＭＳ装置を提供する。
【解決手段】セクションＧＣとセクションＭＳとを含むＧＣ−ＭＳ分析装置であって、このＧＣ−ＭＳ分析装置には、セクションＧＣとセクションＭＳとにつながっており、分析物がたどる経路方向に従ってセクションＧＣの下流かつセクションＭＳの上流に位置する境界セクションが設けてあり、前記境界セクションは、少なくとも１つの膜を含んでおり、この膜は、膜の上流に位置する領域内の圧力ｐ_ａが膜の下流に位置する領域内の圧力ｐ_ｂよりも高いような圧力差を前記膜が受けるとき、前記膜を通して前記セクションＧＣから前記セクションＭＳに移動する分析物内に分子流状態を確立できる少なくとも１つのオリフィスを有する、ＧＣ−ＭＳ分析装置。 （もっと読む）

【課題】公知技術の欠点を克服した真空ポンプと排気チャンバとの間の迅速かつ信頼性の高い連結を可能とした連結継手が望まれていた。
【解決手段】真空ポンプ３５の吸気口２５と、ポンプが連結されるべき構造体３９の排気口６５との間の機械的連結および真空シールの確立に適した真空ポンプ用の分割継手３１である。分割継手は、真空ポンプの外部ケース、またはポンプが連結されるべき構造体に連結可能である複数のオス係合要素４１；４３を備えているオス継手３３;３７を含んでいる。オス係合要素は、対応するメス継手の対応するメス係合要素４１；４３との機械的連結を提供し、機械的連結は、オス継手３３；３７とメス継手３７；３３との間の相対的回転運動で達成される。 （もっと読む）

【課題】複数のスパッタイオンポンプを備えた真空ポンピングシステムであって、公知のポンピングシステムよりも全体の軸方向寸法および重量がかなり低減された真空ポンピングシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、ポンピングシステムPS；PS'は、複数の軸方向に重なったスパッタイオンポンプ1'、1''；1'、1''、1'''を備えており、当該ポンピングシステムPS；PS'の軸方向両端に配置された1対の外部磁石11a、11bと、スパッタイオンポンプ1'、1''；1'、1''、1'''と交互に配置された1つ以上の中間磁石15；15a、15bと、外部磁石11a、11bおよび1つ以上の中間磁石15；15a、15bを内部に包囲する強磁性ヨーク13；13'とを備えた共通の磁気回路MC；MC'を備えている。 （もっと読む）

【課題】高速の回転機械のロータの温度や他の作動パラメータを測定するための、簡単で費用のかからない構造の非接触装置を提供する。
【解決手段】高速回転機械、特にターボ分子真空ポンプ100のロータの少なくとも温度を測定するための非接触装置は、ポンプ100のロータ101に取り付けられた少なくとも1つの磁気カプセル10を備えている。カプセル10は、永久磁石2と、測定されることになる最高温度よりもわずかに高いキュリー温度および温度に強く依存する透磁率を有する強磁性の材料からなる少なくとも1つのパステル3とを備えている。パステルは、磁石2により生成される磁場を変化させることを意図している。ポンプ100のステータ102に支持された検知器4は、カプセルが検知器の前を通過したときはいつでも、ロータの温度に従って変化しカプセル10により生成される磁場を表すパルスを発生させる。 （もっと読む）

【課題】実施が容易であり、可逆性が高く、特性が向上したロータアセンブリを得ることを可能にする。
【解決手段】回転真空ポンプ用のロータアセンブリ1の製造方法であって、第1の材料を用意し、軸方向雄突起9を有するロータ3をそれから形成するステップと、第2の材料を用意し、周囲温度で干渉を有する状態でロータ3の雄突起9を受けるための形状および寸法を有する雌穴15が設けられた端部13を有する支持シャフト11を、それから形成するステップと、突起9を導入するのに十分なように雌穴15を拡張するために、端部13を加熱するステップと、雄突起9を雌穴15に導入するステップと、端部13を周囲温度まで冷却し、それにより、穴15の寸法を小さくし、その結果、シャフト11とロータ3との間の固定的な干渉結合を形成するステップとを含む、方法。 （もっと読む）

【課題】軸受け用の支持部材であって、高い接線方向摩擦だけでなく、軸受け自体が適切に作動するために必要な、軸方向の予備負荷を得ることができる支持部材を提供する。
【解決手段】外部回転リング119bを有する種類の転がり軸受け107a、107b用の支持部材1であって、回転リングと連携することができる内部部分3、15と、固定用外部部分17と、内部部分と外部部分との間に介在される連結部分19とを備え、連結部分19は円錐台形状の弾性の要素である、支持部材。 （もっと読む）

【課題】内圧による真空ポンプのケーシングの破壊を予防する。
【解決手段】真空ポンプのケーシングの内部を外部環境に連通させる状態にするダクトに接続されるよう構成された、真空ポンプ用安全装置。この安全装置は、ある圧力を受けた場合に破壊される破壊可能部材３を含み、このある圧力とは、過度な圧力によりポンプが破壊されるおそれのある場合には破壊可能部材が破壊され、そして、ポンプの通常動作中の動作圧力では破壊可能部材は非破壊状態に保持されるよう選択された予め定められた閾値Ｐ_breakに少なくとも等しいものである。 （もっと読む）

【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸入口および排出口を有するハウジングと、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージとを含む。分子ドラッグステージは、分子ドラッグディスクの形態のロータと、当該ディスクの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータとを含み、ロータは回転軸を有する。真空ポンプは、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータをさらに含んでいる。チャネルは、回転軸からの距離の関数として寸法が変化する回転軸を含む平面における横断面を有している。チャネル横断面は、粘性または部分粘性流条件中で逆流の傾向を制限するために選択される。 （もっと読む）

【課題】粘性流条件において所望の圧力差を実現できる分子ドラッグステージを備えた真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸入口14および排出口16を有するハウジング10と、ハウジング内の少なくとも1つの分子ドラッグステージ30、32、．．．46であって、ロータ302およびロータの表面に向かって開口する接線方向のフローチャネルを区画するステータ300を含む、分子ドラッグステージと、ロータを回転させて、気体が吸入口から排出口へポンピングされるようにするモータ52とを含んでいる。ステータ300は、チャネル306中で1つ以上の障害物320を区画する。障害物はチャネルを通る気体の流れを変更し、粘性または部分粘性流条件下で乱流を発生させる。 （もっと読む）