測定システムの光源（２２）がＩｎＧａＡｓシステム検出器（６８ａ〜６８ｄ）の標準化／校正及び正規化のために必要最小限の時間だけ遮断されるように、単一羽根（４６，４８）から成るシャッターフラッグ（３８）が非同期的に制御される。半球状の光源光／検出器光ホモジナイザー（５０，６２）又は直列に連結されたランダム配向光ファイバー束（１３２）が、各検出器素子へ通される光を均質化する。光源のテストは、複数の光源パワーレベルでスペクトルパワー分布を測定し、それらの測定値を光源のために確定された基線特性と比較することによって実施される。校正用サンプルの寿命は、標準光レベルが供給されている短い校正時間以外には光源を遮蔽するようにシャッターフラッグを制御することによって延長される。
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電磁放射線源（２２）を含む照射ユニット（２０）と、光ファイバー装置（３０）と、検出装置（４０）とから成る測定装置（１０）が提供される。光ファイバー装置は、放射線源から放出された電磁放射線の少くとも一部分を受け取るための入力端（１１４）と、受け取った放射線を材料ウエブ（１００）へ差し向けるための出力端（１１６）を有する第１光ファイバー構造体（１１０）と、材料ウエブから反射された放射線を受け取るための入力端（８４）と、該反射放射線を検出装置へ差し向けるための出力端（８６）を有する第２光ファイバー構造体（８０）を含む。検出装置は、第１波長帯域の電磁放射線を検出して、対応する第１出力信号を発生するための第１検出器（９０）と、第２波長帯域の電磁放射線を検出して、材料ウエブの測定すべき第１特性を表示する対応する第２出力信号を発生するための第２検出器（９０）から成る。

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【課題】 ウェブの修正を伴ったベータ線の使用によるウェブの坪量などの特徴を測定するためのシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】 β線厚さ計による組成修正を複数の検出器（32）からの信号を使用して行うようにした。検出器は、その受理する放射線の割合が、放射線が検出器に到達する前に放射線が透過される物質の組成に依存するように配置されている。この放射線は検出器で測定され、受理された放射線の差を使用してβ線厚さ計の補償が行われ、組成の変動についての修正が行割れる。検出器のアレイ(A)は放射線(22b)の中央とほぼ整合した内方検出器(I)と、この内方検出器を少なくとも部分的に囲む外方検出器(O)の少なくとも1セットに分割されている。測定は、この内方検出器および少なくとも1セットの外方検出器を含むすべての含めて行われ、これら検出器による測定の差異を用いて全ての検出器によりなされたトータルの測定の補償が行われる。 （もっと読む）

【課題】 ウェブ製造機において幅方向（CD）マッピングを制御するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 ウェブ製造機(108)をモニターし、局所的マッピング問題を発生している少なくとも1つの幅方向（CD）アクチュエータ(126)を識別する。この識別されたCDアクチュエータおよびその周囲のアクチュエータセグメントが探査され、アクチュエータについての動作曲線(227)が判定される。この動作曲線の鈍感領域の中央部が、識別されたアクチュエータについての最適マッピング整合設定として選択され、アクチュエータの設定が更新される。包括的平滑化は、包括的平滑因子を探査し、対応するパーフォーマンス曲線を発生させ、これを同様に平滑因子についての最適値を選択するのに使用することによっても達成することができる。

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