【課題】共通基準システム（４）上に振動隔離機構（２、３、５）を介して搭載され、該共通基準システムに対して変動する位置をとる、リソグラフィ・デバイス（１）及びワークステーション・デバイス（６）を含む装置において、両デバイス間の相対位置の変動を監視して該装置が誤動作しないように調整する。
【解決手段】前記共通基準システムに対する前記リソグラフィ・デバイス及び前記ワークステーション・デバイスの個々の位置を測定する手段と、測定された両デバイスの個々の位置から算出される両デバイス間の相対位置（ｄ、７ｂ）が所定の公差範囲内（７ａ−７ｃ）にあるかどうかを評価する手段を含む装置。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、試料観察領域への干渉磁界の影響を軽減する装置及び方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡１０の試料チャンバー２０のチャンバー壁２１に、Ｘ、Ｙ、Ｚそれぞれの方向の磁界補償コイル４１を収容する領域を設け、試料３０やレンズアパーチャ１８近傍の高感度領域に於ける外部の干渉磁界を磁気センサー４２により計測して、それぞれの磁界補償コイル４１の磁界を調整し補償する磁界補償用のシステム４０を構成する。 （もっと読む）

【課題】少なくとも１つのディスク様の部材を受入れまたは移送するための装置を提供すること。
【解決手段】装置は、把持手段を備える取上げおよび配置機構を備える。実際に、機構は、取上げおよび／または配置サイクルを提供するように構成されており、動作中、上側位置と下側位置の間、およびその逆の前記把持手段の運動を提供し、下側位置では、前記把持手段が、ディスク様の部材をロード位置から取り上げるか、ディスク様の部材をロード位置に配置するのいずれかを行う。 （もっと読む）

【課題】取り付けがより容易であり、強力な力を発生させることができる磁性アクターを提供する。
【解決手段】互いに対向して配置されて永久磁石２を有する２つの外側部を備える磁性アクター１に関して、特に、永久磁石２がハルバッハ構成に配置され、それに応じて永久磁石２は、互いに大してそれぞれ回転する磁性の向きに配置される。ハルバッハアレイとしても知られている配置を使用して、一方側で電磁流量を増大すると共に他方側で電磁流量を弱めることが可能である。また、永久磁石２がスライドインフレーム３内へ挿入される。 （もっと読む）

【課題】特に、リソグラフィ・デバイス、ウェーハ処理システム、および／または走査顕微鏡などの顕微鏡の振動絶縁位置付けのための、能動振動絶縁システムを調整するための方法、および能動振動絶縁システムを提供すること。
【解決手段】能動振動絶縁システムは、絶縁される積載物を担うための支持体２と、地面に対して支持体２を支えるための、制御可能なバルブを有する、空気圧振動絶縁器３と、支持体の垂直位置信号を提供するための位置センサ５と、少なくとも１つの並進の自由度（Ｘｔ、Ｙｔ、Ｚｔ）、および少なくとも１つの回転の自由度（Ｘｒ、Ｙｒ、Ｚｒ）における振動相殺のための第１の調整システムと、垂直方向において有効な３つの自由度（Ｚｔ、Ｘｒ、Ｙｒ）から選択された少なくとも１つの自由度における振動相殺のための第２の空気圧調整システムとを含む。 （もっと読む）

【課題】交番周波数が非常に低い、さらには周波数がほとんど０Ｈｚの磁界に実際に適した磁界測定用装置を提供する
【解決手段】磁界測定用装置は第１のセンサと第２のセンサを備える。第１のセンサは、第１の周波数範囲内の磁界に対してアクティブであり、その周波数範囲は第２のセンサがアクティブとなる周波数範囲よりも低い周波数を含む。 （もっと読む）

【課題】一様な磁界および一様でない磁界を補償する、妨害電磁界を補償するシステムを提供する。
【解決手段】本発明は、妨害電磁界（一様でない妨害電磁界）を補償するシステムであって、リアル・センサ信号を出力する２つの３軸磁界センサ（３、４）と、保護すべき対象物（２）の周りにケージとして構成され、個別に作動する６つの補償コイル（６）と、６つの入力および６つの出力、ならびに入力側でセンサ信号を受信し、信号を処理して補償コイル（６）用の制御信号にするデジタル・プロセッサを有する制御ユニット（７）とを備え、対象物（２）の位置における妨害電磁界をマッピングする第１の行列乗算によりリアル・センサ信号が変換されて仮想センサ信号になり、制御装置の構成を記述する演算子により仮想センサ信号が変換されて修正された信号になり、第２の行列乗算により修正された信号が変換されてリアル制御信号になり、これらの制御信号が６つの補償コイル（６）に個別に供給される。 （もっと読む）

【課題】センサの寸法が従来のセンサの場合よりも大幅に小さい、磁界を補償するためのデバイスを提供すること。
【解決手段】磁界を補償するためのデバイスは、単一の磁気抵抗センサ（１）を備え、その磁気抵抗センサ（１）には、直列に少なくとも２つの並列測定増幅器ループ（３、５）が接続され、その一方はアナログ広帯域コントローラ・ループ（３）であり、他方はデジタル広帯域コントローラ・ループ（５）である。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置、ウェハ処理システムおよび／またはラスタ顕微鏡を振動分離して支承するための、振動分離システムの制御方法およびアクティブ形振動分離システムを提供すること。
【解決手段】そのために、振動を表すセンサ信号を送出する複数の振動信号発生器と、アクチュエータ調整信号の供給により制御可能な、振動補償のための複数のアクチュエータと、送出された前記センサ信号を処理して前記アクチュエータ調整信号にするように構成された制御装置とが設けられており、前記振動信号発生器は、第１の周波数領域の振動を検出するための少なくとも１つの第１の加速度センサとしての少なくとも１つのジオフォンセンサと、前記第１の周波数領域を拡張した第２の周波数領域の振動を検出するための、前記第１の加速度センサとは異なる少なくとも１つの第２の加速度センサとを有する。 （もっと読む）

【課題】真空で使用する防振装置において、機械モジュール及び電気モジュールが流体密のチャンバ内に配置し、防振装置を有する構成又はシステムを改善することである。特に、真空条件用のセンサ、アクチュエータ等、電気周辺コンポーネント及び／又は機械周辺コンポーネントの設計を無用とすること、モータ、アクチュエータ、及び電気制御装置等のアクティブコンポーネントの冷却を改善すること、真空システム内で防振装置が引き起こす漏洩を低減することである。
【解決手段】真空で使用する防振装置１であって、本質的に流体密のチャンバを有するばねを備え、流体密のチャンバは、順次に配置される少なくとも２つのシールによってシールされ、少なくとも１つの流体ラインがシール間にもたらされ、流体ラインによって流体密のチャンバに対して低い圧力を生じさせることができる、真空で使用する防振装置１。 （もっと読む）