【課題】半導体工程のフォトレジストのコンタクトホールパターンの大きさを効率よく減少することによって、微細なフォトレジストパターンを形成することのできる水溶性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記の（式１）のように表示される水溶性重合体および第１水溶性溶媒を含み、コンタクトホールパターンが形成されているフォトレジスト膜上に塗布および熱処理することによって、前記コンタクトホールの大きさを減少させる水溶性樹脂組成物。
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【課題】接着性および耐熱性に優れる高感度の感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】ポリアミド誘導体１００重量部に対し、多面体オリゴマシルセスキオキサン誘導体０．１〜２０重量部、および光によって酸を発生する化合物５〜３０重量部を含む感光性樹脂組成物が開示される。 （もっと読む）

【課題】硬化性樹脂と無機物の分散安全性を図って硬化時間を短縮し、貯蔵安定性が優れ、液晶表示装置に対する汚染性が少なく、硬化後の接着強度が優れた液晶表示装置用シーラント組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（１）


で表示されるモノマーを含むことを特徴とする液晶表示装置用シーラント組成物。（式（１）において、ＸはＯ、Ｓ、またはＮＨであり、Ｒ_１はＨまたはＣＨ_３であり、Ｒ_２はＣ_２−３０のアルキル基またはアリール基である。） （もっと読む）

【課題】分散安全性が優れた液晶表示装置用シーラント組成物を提供する。
【解決手段】式（１）で表示される（メタ）アクリレート化合物を含む。


式（１）において、Ａ、Ｂ、Ｃ、およびＤは式（２）〜（１１）から選択される。
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【課題】下記の化学式で示されるポリアミド誘導体および熱酸発生剤を含むポジ型感光性組成物を開示する。
【化２０】


【解決手段】上記の化学式において、Ｒ¹、Ｒ²、Ｒ⁴、およびＲ⁵はそれぞれ独立的に２〜４価のアリール基であり、Ｒ³は水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基であり、ｋはそれぞれ独立的に１０〜１０００の定数であり、ｌは１〜１０００の定数であり、ｎおよびｍはそれぞれ独立的に０〜２の定数であり（ただし、ｎ＋ｍ＞０）、Ｘは水素原子または炭素数２〜３０のアリール基である。 （もっと読む）

【課題】感光性化合物およびこれを含む感光性組成物を開示する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、１分子内に少なくとも１つのナフトキノンジアジドスルホキシ基（−ＯＤＮＱ）、および炭素数１〜８である少なくとも１つのカルボキシル基またはアルコキシ基を含むナフトキノンジアジドスルホン酸エステル化合物からなる感光性化合物およびこの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】下記の化学式で示されるポリアミド誘導体を含むポジ型感光性組成物を開示する。
【化１８】


【解決手段】上記の化学式において、Ｒ¹およびＲ²はそれぞれ独立的に２〜４価のアリール基であり、Ｒ³は水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基であり、Ｒ⁴は直鎖構造を有するアルキル基またはアリール基であり、Ｒ⁵は２〜４価のアリール基、または直鎖構造を有するアルキル基またはアリール基であり、ｋおよびｌはそれぞれ独立的に１０〜１０００の定数であり、ｎおよびｍはそれぞれ独立的に０〜２の定数であり（ただ、ｎ＋ｍ＞０）、Ｘは水素原子または炭素数２〜３０のアリール基である。 （もっと読む）

【課題】光酸発生剤、この光酸発生剤を含む共重合体、この共重合体を含む化学増幅型レジスト組成物およびこの化学増幅型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】共重合体の主鎖には光酸発生剤が連結している。これにより、光酸発生剤をレジスト膜内に均一に分散させることができ、レジストパターンのラインエッジ照度特性などを向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高分子量を有しながらも溝の充填力が優れたポリシラザンおよびその合成方法、ポリシラザンを含む半導体素子製造用組成物およびその半導体素子製造用組成物を用いた半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】ポリシラザンは、反応溶媒内に反応物として添加されたジクロロシラン、トリクロロシラン、およびアンモニアを触媒存在下で反応させることによって合成することができ、ポリスチレン換算重量平均分子量が２０００〜３００００であり、下記化学式（１）で示される。
【化１】


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【課題】化学増幅型レジスト用重合体およびこれを含む化学増幅型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】化学式（１）において、Ｘはビニルエーテル誘導体またはオレフィン誘導体であり、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₃、およびＲ₄は、それぞれ、水素原子、エーテル基、エステル基、カルボニル基、アセタール基、エポキシ基、ニトリル基、およびアルデヒド基のうちの少なくとも１つの官能基を含む炭素数１〜３０のアルキル基であり、ｌ、ｍ、ｎ、ｏ、およびｐはそれぞれの反復単位を示す。なお、ｌは０．０５〜０．５の実数であり、ｍおよびｎはそれぞれ０．１〜０．７の実数であり、ｏおよびｐはそれぞれ０〜０．７の実数であり、ｌ、ｍ、ｎ、ｏ、およびｐの合計は１である。
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