説明

有限会社真空実験室により出願された特許

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【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】容器51と、容器51の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体52と、容器51の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体52を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ54とを有する。 (もっと読む)


【課題】より長寿命化を図ることができる冷陰極電離真空計を提供するものである。
【解決手段】アノード電極11とカソード電極12a、12b、12cを有する測定子1と、アノード電極11とカソード電極12a、12b、12c間に電圧(Vd)を供給する電源14、アノード電極11とカソード電極12a、12b、12c間に流れる電流(Id)を測定する電流計15、及び電源14を制御し、圧力(P)が低くなるにつれて電圧(Vd)を高くし、圧力(P)が高くなるにつれて電圧(Vd)を低くするように、前記圧力(P)の変化に追随して前記電圧(Vd)を絶えず調整して連続的に又は逐次変化させる制御回路3を備えた電子回路とを有する。 (もっと読む)


【課題】真空容器内の汚染物質から電極を保護することが可能な電離真空装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空容器13と、真空容器13内に設けられた陽極11と、真空容器13内に設けられた陰極12a,12bと、陽極11と陰極12a,12bの間に放電用電力を供給する放電用電源19と、陰極に加熱用電力を供給する陰極加熱用電源18と、陽極11と陰極12a,12bの間の空間に磁場を形成する手段16a,16bとを有し、真空容器13を他の真空容器に接続して他の真空容器内の圧力を計測し、又は他の真空容器内を排気する電離真空装置であって、真空容器13内のガスに放電を起こさせている間、陰極加熱用電源18により陰極12a,12bを加熱し、陰極12a,12bの温度を陰極12a,12bから熱電子が放出されない温度範囲内に保つ制御手段を有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 通電加熱式グリッドを有する電離真空計及び質量分析計の電流導入端子にかかる電流負荷を小さくし、真空端子部の小型化とコスタダウンを図る。
【解決手段】 真空装置に連通状態で接続された真空容器の内部に、少なくともグリッドと電子源を有する電離真空計及び質量分析計において、該グリッドを抵抗率の高いチタン金属又はチタン合金を用いて形成した。 (もっと読む)


【課題】強酸化性ガスやその他の膜生成ガスなどカソード汚染ガスを含む圧力被測定環境において、カソード汚染による感度の低下、及び放電停止を防止することによって、安定に、かつ高精度に圧力を測定すること。
【解決手段】カソード2a、2bから熱電子放出を起こさないような温度にカソード2a、2bを加熱し、該アノード1とカソード2a、2bの間に直流電圧を印加し、かつアノード1とカソード2a、2bの間の空間に磁場を形成して放電を発生させ、その放電電流を測定することによって、真空容器12内の圧力を測定することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 高精度の圧力測定を行い、且つ高精度のガス分析も同時に行える四重極質量分析計を提供すること。また、1台の真空装置に取り付ける圧力計測を四重極質量分析計だけにして、電離真空計を廃止することのできる手段を提供すること。
【解決手段】 本発明は、イオン電流強度から真空装置(9)内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計(Q)において、グリッド電極(2)とイオン集束電極(4)とで形成する画定空間(A)内に、イオン密度を探査する全圧測定電極(1)を設けた全圧測定電極付き四重極質量分析計である。また、本発明は、イオン電流強度から該真空装置(9)内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計(Q)だけが取り付けられ、該四重極質量分析計以外の電離真空計を持たない真空装置である。 (もっと読む)


【課題】 10-12Pa(H2)・m/sより低い真空部品からのガス放出率を達成することが可能な真空部品用材料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 Cuと添加元素の合金の周囲を減圧する工程と、合金を昇温し、合金中から水素を排出するとともに、添加元素を合金の表面近傍に集めて析出する工程と、合金の温度を、水素を排出するため昇温した合金の温度以下で、室温以上の範囲に保ち、酸素単体、窒素単体、酸素+窒素の混合ガス、オゾン(O3)、酸素含有化合物、窒素含有化合物、或いは酸素窒素含有化合物に、又はこれらを組み合わせたものに、又はそれらのプラズマに合金を曝し、析出した添加元素と反応させて添加元素の酸化膜、窒化膜又は酸化窒化膜のうち何れか一を合金の表層に形成する工程とを有する。 (もっと読む)


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