【課題】より薄い熱電モジュールを提供する。
【解決手段】フレキシブル熱電モジュールは、１組のフレキシブル基板１２，１３と、各フレキシブル基板の片方の側面に設けられた複数の導電接点２０と、複数の導電接点を有する１組のフレキシブル基板の対向面間に電気接続された複数のＰタイプ１４およびＮタイプ１６熱電素子であって、複数の導電接点が隣接するＰタイプおよびＮタイプ素子を互いに直列に接続し、各ＰタイプおよびＮタイプ素子が一方の基板の複数の導電接点の１つに接続された第１端部および他方の基板の複数の導電接点の１つに接続された第２端部を有する、複数のＰタイプおよびＮタイプ熱電素子とを備える。 （もっと読む）

複数のウェーハを支持する塔とチューブ状のライナとの間の縦型炉内の空間に処理ガスを注入するのに使用するためのガスインジェクタは、第１の遠位端と、第１の軸に沿って延在する第１の内腔とを有し、シリコン、石英、及びシリコンカーバイドで構成される群から選択された第１の単一の材料からなる、チューブ状ストローと、ストロー部に離脱可能に接続され、第１の材料とは異なる第２の材料からなるコネクタであって、第１の軸に垂直な第２の軸に沿って延在する第２の内腔を有し、第１の内腔と流体連結し、ガス供給ラインに接続可能な遠位端を有する供給チューブを含むコネクタとを含んでいる。
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混合物は、ポリカルボシラン骨格を有するケイ素化合物と、複数の個別の粉末粒子を有する粉末とを含み、前記複数の粉末粒子の各々は、実質的に０．０５マイクロメートルから５０マイクロメートルの間の直径を有する。
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リフトオフ法を用いる蒸着装置は、蒸発源と、蒸発源を通る第１の軸の周りにおける回転のために取り付けられたスペースフレームと、スペースフレームに取り付けられた中央のドーム状ウエハホルダであって、該中央のドーム状ウエハホルダの中心点が第１の軸と整列している、中央のドーム状ウエハホルダと、第１の軸からオフセットする位置にてスペースフレームに取り付けられた周回軌道型ドーム状ウエハホルダであって、該周回軌道型ドーム状ウエハホルダの中心点及び蒸発源を通る第２の軸の周りを回転可能である、周回軌道型ドーム状ウエハホルダと、中央のドーム状ウエハホルダ及び周回軌道型ドーム状ウエハホルダにある複数のウエハ位置であって、該複数のウエハ位置は、それぞれ、第１の軸及び第２の軸からオフセットしている、複数のウエハ位置とを有する。複数のウエハ位置は、それぞれ、第１の軸及び第２の軸の周りを回転中に、ウエハ位置から蒸発源に延びる放射軸と実質的に直交する、該ウエハ位置に取り付けられたウエハの基板表面に配向されている。
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