本発明は、基板上に付着した粘性液体層に存在するガス・ポケットを大幅に減少させることによって、インプリンティング層におけるパターン歪みを軽減する方法を対象とする。そのため、この方法には、粘性液体に近接した位置にあるガスの輸送を変更するステップが含まれている。すなわち、パターンが記録されることになる基板に近接した大気が、付着している粘性液体に対して、溶解性が高いか、拡散性が高いか、あるいは、その両方であるガスで飽和させられる。大気の飽和に加えて、又は、その代わりに、大気圧を低下させることも可能である。 （もっと読む）

本発明は、基板とモールドとの間に成形性材料を位置決めすること、および基板とモールドのいずれか一方と成形性材料との間の毛管作用を利用してモールドと基板との間に定められた容積を成形性材料で充填することを特徴とする、モールドを有するテンプレートで基板をパターニングする方法を提供する。この後、成形性材料が固体化される。具体的には、モールドと基板との間の押圧力が避けられない場合には、それを弱めるのに十分な程度にまで、モールドと基板との間の距離を制御する。その結果、モールドが成形性材料と最初に接触すると、モールドと基板との間の容積の、自然発生的な毛管作用による充填が生じる。
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本発明は、テンプレートによって形成された下層のパターンのゆがみが避けられない場合にこれを軽減するために、テンプレートの寸法を変更するシステムに関する。そのためには、システムは、離間して配置された接触部材のペアを含み、この離間して配置された接触部材のペアの間でテンプレートの周縁表面を圧縮する圧縮装置を備えることを特徴とする。圧縮装置は、各々が接触部材とアクチュエータアームとを有する第１及び第２の本体を含む。アクチュエータアームの１つは、アクチュエータアームに隣接して配置されたブラダーの容積の変化に応答して軸の周りで往復動をするよう第１の本体に結合される。このようにして、２つの接触部材間の距離を変化させることができる。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィ・プロセス中にテンプレートを移動させるための、方法、システム、ホルダ、およびアセンブリが開示される。
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