説明

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッドにより出願された特許

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本発明は、基板の第1と第2の両面をパターニングする方法及びシステムを対象とする。方法及びシステムは、モールド・アセンブリを用い、基板の第1と第2の両面とモールド・アセンブリとの間に所望の空間関係を得る。さらなる実施形態において、方法及びシステムは、第1と第2のモールド・アセンブリを用いる。 (もっと読む)


本発明は、基板とモールドとの間に位置するガスを排出させる方法及びシステムを対象とし、基板及びモールドはそれらの間に位置する流体をさらに有する。 (もっと読む)


本発明は、モールド(136)を含むテンプレート(214)内に変形を形成することを含む、固化したインプリンティング材料からモールドを分離する方法を提供する。変形(P2)は、固化したインプリンティング材料とモールドの間の接着力よりも大きな戻り力を生み出すのに十分なものである。例えば変形は、ポンプ・システム(546)によって、モールドと、モールドとは反対側のテンプレートの側面との間に生み出される圧力差から生じ得る。このようにして、歪みが、上に固化したインプリンティング材料が配設された基板に接触するのに十分な大きさの、テンプレート内の起伏になることができる。
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本発明は、層を基板に接着する方法を提供する。これは、層に対しては共有結合を形成し、基板に対しては共有結合、イオン結合、ファンデルワールス力のうちの1つ又は複数を使用して接着する組成物を前記層と前記基板との間に存在させることにより、第一と第二界面を形成することを特徴とする。この場合、組成物に対する層の接着力の強度は、予め決定された接着機構、即ち共有結合を含まない接着機構から形成される組成物に対する層の接着力よりも強いことが保証される。加えて、本発明は、第一と第二材料を相互に接着する組成物を対象とする。この組成物は、主鎖基を含むとともに第一と第二官能基を含む多官能性反応性化合物;架橋剤及び触媒を特徴とする。第一官能基は、第一化学線エネルギーに応答して架橋分子を形成し、架橋分子のサブセットを第一材料に接着させる。第二官能基は、第一化学線エネルギーとは異なる第二化学線エネルギーに応答して、第二材料に接着する。
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本発明は、2つの座標系の間の相対的な空間パラメータを決定するシステム及び方法を特徴としており、この2つの座標系は、モールドと、パターンを生成するようにモールドが利用される基板の領域であってよい。このために、複数のポイントにおける2つの座標系の間の相対的なアライメントを検知し、それらの間の相対的な空間パラメータを決定する。相対的な空間パラメータは、相対的なエリアと相対的な形状を含んでいる。 (もっと読む)


本発明は、基板上の成形される領域と、この成形される領域と選択的に接触させられる成形型のパターンとの間の接着を低減させる方法を提供する。本方法は、成形される材料を基板上に形成する工程と、この成形される材料を表面と接触させる工程を特徴とする。この成形される材料から調整された層が形成される。この調整された層は第1と第2の部分を有し、第1の部分が固化させられ、第2の部分が表面に関する第1の親和性と第1の部分に関する第2の親和性を有する。第1の親和性は第2の親和性よりも大きい。この様式で、調整された層から成形型を分離すると、第2の部分のサブセットが成形型との接触を維持し、それにより、調整された層に形成されたパターンが不良品になる確率を下げる。
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本発明は、基板上に配置された段階的構造体の反転形状を基板に転写することを特徴形状とする、段階的構造体を基板上に形成するための方法を提供する。
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本発明は、突起部と凹所とを有するパターン化された層を基板の上に形成することによって多層構造物を作成することを特徴とする、基板をパターニングする方法と組成物とを提供する。パターン化された層に形成されているのは順応層であり、多層構造物は基板から見て外方に向いているクラウン表面を有する。多層構造物の一部を取り除いて、突起部と重ね合わされている基板の領域を露出させる一方で、凹所と重ね合わされているクラウン表面の領域に固いマスクを形成する。 (もっと読む)


本発明はテンプレート内に含まれるモールドを基板上に配置された層から分離させる方法に向けられ、この方法はとりわけ、層からテンプレートを分離させるためにテンプレートに分離強制力を印加する工程、および分離を達成するために必要とされる分離強制力を小さくするために基板内の局所的変形を促す工程を含む。
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本発明は、とりわけ、内部に形成された貫通路を有し、ピンが延びる面を有する本体、およびピンとランドの間にチャネルを区画する複数の突起を取り囲むランドを含むチャッキング・システムに向けられる。さらなる実施形態では、本体が複数の突起を有する。
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