本発明は基板をウェハ・チャックに保持する方法に向けられる。この方法は基板の一部分をウェハ・チャックに向けて加速させ、ウェハ・チャックへ向かう基板の移動の速度を生成させ、基板がウェハ・チャックに到達する前に速度を下げることを特徴とする。この方式で、ウェハ・チャックとこの部分の衝突の力が大幅に削減され、これは基板の構造的完全性が傷つけられる可能性、さらには基板上の層および／またはウェハ・チャックが傷つけられる可能性を下げる。
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インプリント・リソグラフィによって基板をパターン化する方法を開示する。インプリント・リソグラフィは液体を基板上に分配するプロセスである。テンプレートが液体に接触され、液体が硬化される。硬化した液体はテンプレート内に形成されつパターンのインプリントを含む。一実施形態では、基板上に予め形成された層に対するテンプレートの整列は散乱計測を用いて行われる。
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本発明は、インプリントリソグラフィ・プロセスを受ける基板の加熱及びこれに伴う悪影響を回避できないとしても軽減する方法に関する。そのため、本発明は化学線エネルギーに応答して固化するポリマー材料を用いて基板のある範囲をパターン形成する方法を含み、当該フィールドの小部分は、その小部分内のポリマー材料を硬化させるのに十分に曝露され、その後、全範囲に関するポリマー材料の全ての包括的曝露を行い、当該ポリマー材料を硬化／固化する。 （もっと読む）

実質的に平坦な回路において、導体が約３．０未満の誘電率をもつ無機材料によって分離される。その誘電体層は、放射硬化性組成物の最初は平坦な表面をインプリントすることによって導体のトレンチおよび／またはバイアスを定めるステップを含むプロセスにおいて形成される。インプリンティング用の型は、好ましくは、インプリント型が配置された状態で組成物がＵＶ硬化されるようにＵＶ透明性である。硬化性組成物は、有機修飾ケイ酸塩化合物と二次分解性有機化合物を含み、後者は、有機化合物が後で分解されてポリケイ酸塩のマトリックスを生成するときにナノスケールの細孔を形成する。その細孔は、別のやり方では密な二酸化ケイ素の有効誘電率を低下させる。
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本発明は、汚染物の存在、形状、間隔を開けた基板間の空間的関係などの、基板の特性を求めるための技術を提供する。この空間的関係は、第１及び第２の間隔を開けた基板間の距離と角度の向きを含む。この技術は、第２の基板上に、ある液体のボリュームであって、そのボリュームと関連するある面積を有する液体を形成することを含む。この液体のボリュームは、第１及び第２の基板間で圧縮されその面積の性状に変化を引き起こし、変化した性状を決める。変化した性状が検知され、第１及び第２の基板の特性は、この変化した性状の関数として求められる。
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本発明は、重合可能な液体を取り囲む大気中に含まれる酸素による重合工程の阻害を最小限に抑えることを特徴とする、基板上にフィルムを形成するために重合可能な液体を凝固させる方法を含む。そのために、重合可能な液体は、重合可能な液体と相互作用する酸素を消費し、かつ重合工程を容易にするために追加の遊離基を発生させる開始剤を含む。
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本発明は、基板上に、表面、エッチング速度界面およびエッチング差界面を有する多層フィルムを形成することを含む基板のパターニング方法を特色とする。エッチング差界面は、エッチング速度界面と表面の間で定められる。記録パターンが、定められた基板上に、部分的に、エッチング差界面によって転写される。記録パターンは、所定のエッチング・プロセスあるいはエッチング・プロセスのセットに関して形成されるパターンの形状を定めるエッチング・パターン特性（ＥＰＣ）を有している。エッチング差界面は、ＥＰＣを修正する。適切なエッチング差界面を確立することによって、パターン層の形状に比べて実質上異なる形状の記録パターンを得ることもできまた同じパターンを得ることもできる。
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インプリント・リソグラフィを使用して形成されるパターン内の寸法変化を制御する方法は、液体材料を堆積させることによってウエハ上に記録されたパターンを作製する領域を決めるステップ（１００）と、ウエハを曲げることによって領域内に輪郭が形成された表面を作製するステップ（１０２）と、テンプレート上のモールドを液体材料と接触させることによってウエハ上の領域をテンプレートと接触させるステップ（１０４）と、テンプレートを曲げることによってモールド上の原パターン内に寸法変化を生じさせるステップ（１０６）と、モールドによって作られたパターンを記録するために液体材料を凝固させるステップ（１０８）と、凝固した液体からモールドを分離し、ウエハをニュートラル（すなわち、曲がっていない）状態へ戻すステップ（１１０）とを含む。
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本発明は、基板上に均一エッチング特性を有する層を形成する方法及び組成物を含む。そのために、この方法は、複数の成分の組成物として基板上に重合可能な液体を堆積させることを含む。各成分は、それに関連する蒸発速度を有する。重合可能な組成物は、次に凝固する。複数の成分のサブセットに関連した相対的蒸発速度が、所定の範囲内にあるように定められる。具体的には、本発明は、堆積した液体の凝固によって形成される、層内のエッチング不均一性が、層を形成する成分の相対的蒸発速度の関数であるという発見に基づく。結果として、組成物は複数の成分から形成され、そのサブセットが、ある時間的間隔に対して実質的に同一の蒸発速度を有する。 （もっと読む）

本発明はチャック・システム４０及び第１、第２の対向する面２６ｂ及び２６ａを有する基板２６の形状を変える方法を対象とする。これは第１の対向する表面の種々の領域間に圧力差を生成して、基板が受ける外力から生じる第２の対向する表面の構造的変形を抑えることによって達成される。その目的のために、チャック・システムは第１、第２の対向する側部を有するチャック・ボディを含む。側面がその間に延在している。第１の側部は第１、第２の離間した支持領域５８及び６０を含む。第１の支持領域は第２の支持領域ならびに第１、第２の凹部５２、５４を取り囲んでいる。第２の支持領域は第２の凹部を取り囲み、第２の凹部と重なり合ったボディの一部は所定の波長を有する放射線に対して透過性を有する。第２の側部及び側面が外面を定める。
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