説明

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッドにより出願された特許

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本発明は凹部により隔てられる第1のエリアと第2のエリアを有するボディに関する。上記凹部は、上記ボディの表面沿いに移動する液体が、上記第1のエリアと第2のエリアとの間で移動するのを防がないにしても、その量を少なくするような大きさを有する。上記第1のエリアと第2のエリアのどちらか一方の内側には1つ以上のアラインメントマークを設けることが可能である。このように、上記凹部は、ある量の液体がアラインメントマークに重なり合うのを防がないにしても、その量を少なくするモートとして作用する。
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本発明は、パターン化されたモールドを有するテンプレートなどの基板の寸法を変更する装置、システムおよび方法を対象としている。
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本発明は、一定の全容積の液体を基板上に分配する方法であって、とりわけ、各々対応した単位容積を有する複数の互いに相隔たる液滴を基板のある領域上に配置するステップを含み、その領域内の液滴の合計容積がその領域に形成しようとするパターンの容積の関数である方法である。
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本発明は、サポート・ボディと、フローティング・ボディと、複数のたわみアームとを備えたコンプライアント・デバイスを対象としている。複数の伝達アームは、それぞれ、サポート・ボディとフローティング・ボディの間に接続されており、それらの間で並列に荷重を伝達している。そのために、たわみアームは、第1のセットと第2のセットのたわみ継手を有している。第1のセットのたわみ継手は、第1の方向に沿って展開している第1の軸の周りの前記たわみアームの回転動きを容易にしている。第2のセットのたわみ継手は、第1の方向に対して横方向の第2の方向に沿って展開している第2の軸の周りのたわみアームの回転動きを容易にするようになされている。たわみ継手は回転継手である。
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本発明は、間隔を隔てた2つの軸に対する角度的な動きを駆動システムに与えることによって展開する平面内におけるボディの並進動きを特徴とする、駆動システムに結合されたボディの動きを制御する方法およびシステムを対象としている。詳細には、一方の平面がボディが並進する平面に平行に延びている、間隔を隔てた2つの平面内における回転動きが生成される。したがって、ボディから間隔を隔てた表面に対するボディの適切な配向が容易になる。
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本発明は基板上にリセス部を形成する方法を提供し、該方法は第1のフューチャを有するパターン形成層を基板上に形成する段階と、第1のフューチャをトリムエッチングしてある形状を有するトリムフューチャを形成する段階と、該形状の反転形状を基板に転写する段階とを含む。 (もっと読む)


熱インプラント・テンプレートの役目をも果たすコンプライアントUVインプリント・リソグラフィ・テンプレート、および、それを製造する方法が開示される。テンプレートは、本質的に、レリーフ像とそのレリーフ像を調整するようになっているエラストマーを備える。実施形態において、レリーフ像は、コンプライアントインプリンティング層に配置され、エラストマーは、インプリンティング層と剛性透明基板との間に配置される。実施形態において、テンプレートはウェハ基板に対してコンプライアント性がある。実施形態において、エラストマーとインプリンティング層を基板上に層を重ね、レリーフ像をインプリンティング層にパターニングすることによって、テンプレートが形成される。
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本発明は、関連する粘度を有し、かつ界面活性剤と、重合可能な成分と、応答して粘度を変化させるために刺激に応答する開始剤を含む組成物であって、液体状態で、約100センチポアズ未満の粘度と、約20トール未満の蒸気圧を、かつ固体硬化状態で、約100MPaを超える引っ張り係数と、約3MPaを超える破壊応力と、約2%を超える破断点伸びを有する組成物を特徴とする、インプリントリソグラフィ用の材料を対象とする。 (もっと読む)


本発明は、基板の上に配置された膜の特性を測定する方法およびシステムを提供することを対象とする。該方法は、膜の上において複数の処理領域を識別することと、複数の処理領域のサブセットの特性を測定することと、測定された特性を確定することと、測定された特性の1つの変化を決定することと、測定された特性の1つと、サブセットの残りの処理領域に関連付けられる測定された特性との比較に基づいて、変化の原因を関連付けることとを含む。該システムは、上述された方法を実施する。
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本発明は、分配の幾何学的配置と導電性テンプレートに向けられ、さらにインプリントリソグラフィプロセスの間における高速充填とスループットを実現する導電性テンプレートを形成する方法に向けられる。
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