【課題】ケーラー照明系を用いたより安価な検査用照明装置を提供する。
【解決手段】検査用照明装置１０は、光源部２０と、光源部２０から発せられた光を平行光に変換するコリメータレンズ３０と、コリメータレンズ３０を通過した光を被検物体Ｗに向けて集光するためのフレネルコンデンサレンズ４０と、コリメータレンズ３０とフレネルコンデンサレンズ４０の間に配置されたシグマ絞り５０と、を備える。シグマ絞り５０とフレネルコンデンサレンズ４０の間には、アポダイジングフィルタ７０が設置されている。 （もっと読む）

【課題】偏光方向が一定に揃った偏光を照射できるだけでなく、偏光を取り出すための偏光素子を小型化することのできる偏光照明装置を提供する。
【解決手段】偏光照明装置１００は、発光部１０と発光部１０から発せられた光を反射する反射光学系１２からなる複数の光源部１４と、複数の光源部１４から出射された光から偏光を取り出す偏光素子１６と、偏光素子１６によって取り出された偏光が入射するフライアイレンズ１８と、フライアイレンズ１８から出射された光を平行光に変換する平行光変換手段２０と、を含む。反射光学系１２は、断面略放物線形状をなす反射鏡１３によって構成されている。偏光素子１６は、複数の光源部１４から出射された光が直接的に入射することのできる位置に配置されている。 （もっと読む）