説明

ヘレウス クワルツグラス ゲーエムベーハー ウント コンパニー カーゲーにより出願された特許

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【課題】 熔融成形型の内側に、SiO粒子から成る多孔性のSiO粒化物層が形成され、内部に化学的に結合された窒素を含有する石英ガラスから成る安定化層へとガラス化され、その際SiO粒子は、このガラス化前またはガラス化中に、窒素を含有する反応ガスを使用して窒化される、少なくとも一部が窒素ドープした石英ガラスから成るルツボ内壁を有する石英ガラスルツボの製造方法から出発する。
【解決手段】 このことから出発して、石英ガラスルツボの内壁内に、出来る限り高い割合の化学的に結合された窒素での窒素ドープが達成可能な方法を提供するために、本発明によって、窒素含有反応ガスとして酸化窒素が使用されることが提案される。 (もっと読む)


【課題】
部品の接合面の間に高シリカ結合マスを生成することにより全体的に接合する方法によって高シリカ材料で作られた部品を結合する方法を提供する。
【手段】
本発明による方法は、接合面が固定時に5 N/cm2 を超える接触圧が掛かり、結合接続部からの製品の脱ガスのためのパス長さが150 mmを超える広範囲な結合接合部に対して特に、高シリカ材料で作られた部品の機械的及び熱的に安定性を持つ複合物を安価で製造することを可能とするものである。この目的はSiO2 結合マスが最初から直ちに乾燥状で使用されるか、少なくともSiO2 結合マスが接合プロセスの前に接合面上で乾燥し、結合する面がその後に接触し、結合マスをSiO2 の形成を伴う加熱により堅い複合物を生成する本発明により達成される。 (もっと読む)


【課題】不透明石英ガラスの基体に、注目する不透明材料の著しい変化と変形のない緻密封止層を設けることができる方法を示すこと。
【解決手段】 不透明石英ガラスの基体と緻密封止層から複合体を製造する既知の方法を、基体には注目する不透明材料内に顕著な変化と変形が全くなく緻密封止層が設けられるように最適化するために、発明は以下のステップを含む方法を提案する。すなわち、(a)より大きいアモルファスSiO粒子を含む第1の泥漿を使用して基体を製造するステップと、(b)より小さいアモルファスSiO粒子を含み、少なくとも、0.2重量%ないし15重量%の範囲のSiOナノ粒子を含む点においてその組成が前記第1の泥漿のものと異なり、比較的低いガラス化温度により特徴付けられる第2の泥漿を設けるステップと、(d)前記第2の泥漿から前記基体の表面上に泥漿層を製造し、前記泥漿層を乾燥させるステップと、(e)続いて前記緻密封止層の形成を伴って前記泥漿層をガラス化するステップとである。 (もっと読む)


【課題】再現可能な方法で、石英ガラス構成材の表面の卓越した技術的清浄性を、表面特性を実質的に維持しつつ達成することのできる方法を提供する。
【解決手段】本発明は、酸性溶液における多段洗浄処理を備えた石英ガラス表面の洗浄方法において、前記多段洗浄処理が、過酸化水素の作用の下での塩酸洗浄溶液での前段の処理、および硝酸洗浄溶液での後段の処理を備えていることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】250ナノメートルの波長の紫外線に対して吸収が低く、複屈折が低く、化学的抵抗性が高く、放射線抵抗性が高く、それ故マイクロリソグラフイーの光学素子をつくるに適した材料を提供する。
【解決手段】本発明の材料は、多結晶構造を形成し、そして平均の粒子の大きさが500nmと30μmとの間にある合成石英結晶子から成る。この材料からブランクをつくる本発明の方法は、平均の粒子の大きさが500nmと30μmとの間にある合成石英結晶から成る粒子を調製する工程とその粒子を燒結して多結晶石英のブランクを得る工程とから成る。 (もっと読む)


【課題】液浸リソグラフィーの液浸媒体と接触する対物レンズの材料の製造方法を提供する。
【解決手段】堆積バーナーに反応域を設け、この反応域に被酸化性、合成リン化合物とアルカリ土類化合物とを供給し、酸素含有ガスの存在下で非晶質酸化物粒子を形成し、そしてこの粒子をキャリヤー上に堆積させてアルカリ土類酸化物を含むリン酸塩ガラスを形成させる。このリン酸塩ガラスの屈折率は193nmの波長で少なくとも1.6である。 (もっと読む)


高シリカ材料から成る構成材を接合する方法とその方法を実施する装置。
第1構成材と高シリカ材料から成る少なくとも1つの第2構成材を、これらの構成材の接合面間に一体接合を形成することにより接合する既知の溶着方法は、回転移動手段に構成材をクランプする工程、中心軸の方向において回転移動手段により構成材を移動させ、少なくとも1つの加熱バーナーにより相互の接合面の領域を同時に加熱、軟化し、接合面を互いに押し付けて溶着継ぎ目を含む構成材アッセンブリを形成する工程、そしてその構成材アッセンブリを冷却する工程を含んでいる。この溶着方法から出発して、接合しようとする石英ガラス構成材の間に堅固な溶着継ぎ目を、不純物を大幅に回避して、正確且つ再現できる仕方でつくる方法を提供する。すなわち、本発明に従って、両側で開いている内部を包囲する包囲体内で、相互接合面の領域において構成材は加熱、軟化される。
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外直径がADである石英ガラスの中空シリンダーを延伸することにより石英ガラスのチューブをつくる方法であって、直径比d/ADを1.02から1.7の範囲に設定するという条件の内直径dの加熱チューブを垂直に配向して成る加熱域に石英ガラスの中空シリンダーを連続的に送り込んでいる。加熱域で中空シリンダーを区域状に軟化させ、その軟化域から管状ストランドを延伸、短く切ってチューブとする。この方法から出発して、得られた石英ガラスチューブの寸法の安定性を最適とするため本発明が提案していることは、加熱域の長さLをL/dが0.9よりも小さくなるよう設定したことである。
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【課題】直線偏光のUVレーザー放射での使用に好適であって、異方性密度変化により生じるコンパクションと複屈折とに対して最適化されている光学部材を提供する。この光学部材は作動波長が250nm以下である浸漬型リソグラフィのプロジェクションレンズシステムに使用するに適している。
【解決手段】石英ガラスは以下の特性の組合せを示す。本質的に酸素欠陥のないガラス構造、60wtppm以下のヒドロキシル基の平均含有量、10wtppm以下のフッ素の平均含有量、そして1wtppm以下の塩素の平均含有量。
この光学部材の製造方法は次の工程を備えている。還元条件の下でSiOスート体をつくり、乾燥する工程、そして石英ガラス構造の酸素欠陥と反応する反応物でその乾燥したスート体をガラス化前にもしくはガラス化中に処理する工程。 (もっと読む)


エッチング作用する環境において使用するウエハ保持器のための理想的な石英ガラスは、高い純度および高い乾式エッチング耐性の点で傑出している。この要求をかなりの程度まで満たす石英ガラスを提供するために、本発明によれば次のことが提案される。すなわち石英ガラスが、少なくとも表面に近い範囲において窒素によってドーピングされており、30重量ppm以下の準安定のヒドロキシル基の平均含有量を有し、かつその仮想温度が、1250℃より下であり、かつ1200℃の温度におけるその粘性が、少なくとも1013dPa・sである。このような石英ガラスを製造するための経済的な方法は、次の方法ステップを含んでいる:石英ガラス素材になるようにSiO原料を溶融し、その際、SiO原料または石英ガラス素材が、脱水処理を受け、アンモニアを含む雰囲気において1050℃と1850℃との間の範囲における窒化温度にSiO原料または石英ガラス素材を加熱し、石英ガラス素材の石英ガラスを1250℃またはそれより低い仮想温度に設定する熱処理を行い、かつ石英ガラス保持器を形成しながら石英ガラス素材の表面処理を行う。
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