【課題】半導体ウエハを対向するチャンバ間でスムーズに移動することのできる搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット１００は、２本のリンク１２、１３で構成されているアーム１０を備える。アーム１０の先端にはウエハホルダ６が備えられている。アーム１０の基部に相当する駆動リンク１３は筐体２に回転可能に連結されている。アーム１０は、駆動リンク１３の回転に伴うアーム先端の運動が直線又は曲線の軌道に制限される構造を有しているとともに、その軌道は、始点Ｗｓと終点Ｗｅが駆動リンク１３の回転中心から等距離の位置にあり、始点におけるアーム先端の向きと終点におけるアーム先端の向きが、始点と終点の間の中点と前記回転中心を通る直線に対して鏡像の関係を満たしている。 （もっと読む）

【課題】制御性能の確保と発熱の抑制とを高い次元でバランスよく達成することができる、航空機搭載用モータ駆動制御装置を提供する。
【解決手段】インバータ２３と、指令信号処理部２５及びＰＷＭ周波数制御部２９を有してパルス幅変調制御を行う制御器２４とを備える。指令信号処理部２５は、第１ＰＷＭ周波数指令信号の受信時は、所定の一定周波数のＰＷＭ周波数にて非同期ＰＷＭ制御が行われるよう高ＰＷＭ周波数指令信号を出力する。第２ＰＷＭ周波数指令信号の受信時は、上記よりも低い周波数にて非同期又は同期ＰＷＭ制御が行われるように低ＰＷＭ周波数指令信号を出力する。ＰＷＭ周波数制御部２９は、低ＰＷＭ周波数指令信号の入力時は、モータ１４が所定の回転速度未満のときに非同期ＰＷＭ制御が行われ、モータ１４が所定の回転速度以上のときに同期ＰＷＭ制御が行われるようにＰＷＭ周波数を制御する。 （もっと読む）

【課題】航空機の翼および可動部への油圧アクチュエータによるＦｏｒｃｅ Ｆｉｇｈｔの影響を従来よりも抑えることができる油圧アクチュエータシステムを提供すること。
【解決手段】航空機の翼５に設けられた可動部を動かすための油圧アクチュエータシステム１である。可動部に連結される複数の１系油圧アクチュエータ２および複数の２系油圧アクチュエータ３を備え、１系油圧アクチュエータ２は、翼５に設けられるとともに第１油圧源に接続されており、２系油圧アクチュエータ３は、１系油圧アクチュエータ２と並列に前記翼に設けられるとともに第２油圧源に接続されている。１系油圧アクチュエータ２と２系油圧アクチュエータ３とを、翼５の所定箇所に交互に配置している。 （もっと読む）

【課題】トルクの合成が不要であり、かつ翼部の薄型化に寄与する直流三相モータを提供する。
【解決手段】直流三相モータは、磁極３０ａを有するロータ３０と、ロータ３０の外側に配置され、ロータ３０の外周面に対向する内周面を有する複数の芯部３２ｂを含むステータ２８と、芯部３２ｂに巻き付けられた３つ以上のコイルと、を備える。磁極３０ａの外側面は、Ｎ極の磁極とＳ極の磁極とがロータ３０の周方向に交互に並んでいる。コイル３５ａ，３５ｂ，３５ｃ，３５ｄは、ロータ３０の軸心Ｏを通る仮想第１平面Ｐ１を基準として、この仮想第１平面Ｐ１からロータ回転方向及びその反対方向に所定角度回動した方向の仮想第２平面Ｐ２までの範囲内にのみ配置される。複数の芯部３２ｂのうち互いに隣接する３Ｎ（Ｎ＝１，２，３・・・）個の芯部３２ｂの内周面は、磁極３０ａの外側面の１つの磁極の幅に収まるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄翼化が図られた翼の内部に配置可能なように高出力の航空機用アクチュエータを効率よく小型化し、更に、舵面駆動の安定性及び信頼性も容易に確保する。
【解決手段】２つのピストンが直列に設けられたピストンロッド（２３ａ、２３ｂ）を有するタンデムアクチュエータ（１１、１２）が、複数、平行に並んで配置される。ロッドエンド部１３は、複数のタンデムアクチュエータ（１１、１２）のピストンロッド（２３ａ、２３ｂ）をケース部（２４ａ、２４ｂ）の外側で結合するとともに舵面１００に対して回転自在に連結される。各タンデムアクチュエータ（１１、１２）について、２つのピストン移動領域のそれぞれにてロッドエンド部１３側と反対側の第１油圧室同士が連通し、２つのピストン移動領域のそれぞれにてロッドエンド部１３側の第２油圧室同士が連通する。 （もっと読む）

【課題】 即時の故障の予知を可能にすることができる産業用ロボット用減速機を提供する。
【解決手段】 減速機は、減速機本体と、減速機本体の潤滑油１３１ａの劣化を検出するための潤滑油劣化センサ１３９ａとを備えており、潤滑油劣化センサ１３９ａは、白色の光を発する白色ＬＥＤ５２と、受けた光の色を検出するＲＧＢセンサ５３と、潤滑油１３１ａが侵入するための隙間である油用隙間４０ａが形成された隙間形成部材４０と、白色ＬＥＤ５２、ＲＧＢセンサ５３および隙間形成部材４０を支持する支持部材２０とを備えており、隙間形成部材４０は、白色ＬＥＤ５２によって発せられる光を透過させ、油用隙間４０ａは、白色ＬＥＤ５２からＲＧＢセンサ５３までの光路上に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐食性を有しながらも圧力の検出の性能を従来より向上することができる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 圧力検出装置１０は、気体が接触する接ガス面２０ａが形成されて気体の圧力を検出する静電容量型の圧力センサモジュール２０を備えており、圧力センサモジュール２０は、接ガス面２０ａに施されたアモルファス金属の保護膜２５と、保護膜２５に覆われて気体の圧力に応じて変位するシリコンダイヤフラム２２ａとを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】偏心回転する歯車と偏心体との間に配置する軸受が発熱することを抑制する。
【解決手段】歯車伝動装置１００は、内歯歯車３３と、外歯歯車２０と、クランクシャフト１４を備えている。外歯歯車２０は、内歯歯車３３と噛み合いながら相対的に偏心回転する。クランクシャフト１４は、外歯歯車２０に形成されている貫通孔３５に係合する偏心体１６を有している。クランクシャフト１４は、外歯歯車２０を偏心回転させる。貫通孔３５の内周面と偏心体１６の外周面との間に玉軸受２２が介在している。貫通孔３５の内周面に玉軸受２２のアウターレースに相当する第１溝２０ａが形成されており、偏心体１６の外周面に玉軸受２２のインナーレースに相当する第２溝１６ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】フリー機構付きの遊星歯車減速機を提供するにあたり、製造コストおよび管理コストを従来よりも低減すること。
【解決手段】油圧モータ６の出力軸７に一端部がスプライン結合される入力軸８と、入力軸８の他端部に配置され当該入力軸８と共に回転する第１サンギア９と、第１サンギア９に噛み合う第１遊星歯車１１と、第１遊星歯車１１が噛み合う内歯５ｂが内周に形成されモータケース４に対して回転自在に保持される筒状の回転ケース５と、回転ケース５の開口を覆うカバー１２と、を備える遊星歯車減速機１である。入力軸８と第１サンギア９とが一体的に形成されており、第１サンギア９が通過可能な孔１２ａがカバー１２に穿設されており、孔１２ａを覆うサブカバー１８がカバー１２にボルト１９を介して固定されている。 （もっと読む）

【課題】既存の絞りの径を小さくしたり、シリンダ室の容量を大きくしたりすることなく、ショックレス時間を延ばすことができるショックレスリリーフ弁を提供すること。
【解決手段】本体に形成された第１負荷通路５１と第２負荷通路５２との間を遮断したり連通させたりする第１弁体１０を具備してなる第１連通弁８および第２弁体１９を具備してなる第２連通弁６と、第１連通弁８と第２連通弁６との間に設けられたアキュムレータ７とを備えるショックレスリリーフ弁２である。アキュムレータ７のピストン１６に、第１シリンダ室１７と第２シリンダ室１８とを接続する通路２４（遅延通路）および第２絞り２５を設けている。 （もっと読む）