説明

ボール・セミコンダクター・インコーポレーテッドにより出願された特許

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【課題】広範囲の環境変化分布を精密に検出出来、構成簡易で製造コストが安く、適用される広範囲の表面の形状変化に柔軟に従う弾性表面波素子アレイへの使用に適した圧力センサを提供することである。
【解決手段】圧力センサ12aは、球面の一部の円環状曲面を含む圧電性弾性表面波伝搬面14を備えた基材16と、伝搬面に接して形成され伝搬面に励起させ伝搬させた弾性表面波を受信し電気信号に変換する弾性表面波励起変換手段18aと、を有する。伝搬面は物体接触部位Tを有し、接触部位に対する物体の接触圧力増加に従って前記伝搬面を伝搬する弾性表面波の振幅低下を生じさせ伝搬状態を低下させるに従って弾性表面波の伝搬状態が変化することに基づき前記変換手段が受信した弾性表面波から変換された電気信号から前記接触圧力の大きさを検出する圧力検出手段24を備えている、ことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】構成の簡素化、サイズの小型化、及び測定精度の向上を図った露点計を提供する。
【解決手段】本発明の露点計は、少なくとも球面の一部で形成されており円環状に連続している円環状表面を有した圧電性基材1と、円環状表面を伝搬路2として基材1の周囲を周回する弾性表面波を発生させるとともに、周回する弾性表面波を検出し、検出した弾性表面波の強度に応じた電気信号を出力するすだれ状電極4と、伝搬路2の表面温度を測定する温度計13と、すだれ状電極4からの電気信号に基づいて、ある周回時における弾性表面波の強度が、1周前の周回時に比べて所定割合以上減衰している場合には、伝搬路2の周囲環境に含まれる被測定気体12の分子が伝搬路2に結露したものと判定し、結露と判定した時点に温度計13によって測定された伝搬路2の表面温度を、被測定気体12の露点として出力する制御解析及び表示部11とを備える。 (もっと読む)


【課題】耐久性を有する小型の流速計を提供する。
【解決手段】ヒーター12を備える弾性表面波素子を用いて、配管5内を流れる物質6の流量を求める流速計20は、配管内5の物質6および伝搬面11Sの圧力と参照信号の強度の減衰率とを対応付けて記憶する記憶部21と、基材11を設定した温度にまで加熱するように制御する制御部23と、弾性表面波の検出信号の位相および強度のデータを取得する取得部24と、位相のデータに基づいて伝搬面11Sの温度を算出する温度算出部25と、強度のデータに基づいて伝搬面11Sの圧力を算出する圧力算出部27とを備える。 (もっと読む)


【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材11の表面に弾性表面波を励起し、球状部材11の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】物質分析用微小物体として使用可能な弾性表面波又は弾性波素子を使用し、多種類のこれらの素子の相互の容易な識別を可能にし安価に準備可能なこれらの素子の識別装置を提供することである。
【解決手段】基体12の球形状外表面に設けられ弾性表面波が伝搬可能な伝搬路と、伝搬路に弾性表面波を発生伝搬させ伝搬された弾性表面波を検出する弾性表面波・発生/検出手段14A,14B,14Cと、を備える弾性表面波素子10A,10B,10Cを識別する弾性表面波素子識別装置は:基体の外表面に設けられ伝搬路に沿い伝搬する弾性表面波の伝搬特性を所望の値にする伝搬特性変更手段14A,14B,14Cと、弾性表面波・発生/検出手段から検出された弾性表面波の所望の値の伝搬特性により弾性表面波素子を識別する弾性表面波素子識別手段23,23aと、を含むことを特徴としている。 (もっと読む)


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