【課題】Ｃ６０クラスターを含む重イオンが得られるイオンビーム用質量フィルタを提供し、また重イオンビームのイオンビーム装置を小型で経済的に製作できるようにする。
【解決手段】イオン源側に、光軸に垂直な面内で回転する所定の偏向角の回転電界を作る第一の偏向電極１１を配置すると共に、イオンビームＩＢの放出側には前記第一の偏向電極１１の回転電界と同じ周波数で所定の偏向角の回転電界を作る第二の偏向電極１２を配置している。第一及び第二の偏向電極１１、１２間には、複数の円筒状電極１４から１６よりなるレンズシステム１３を設けて回転電場型の質量フィルタ１０を構成する。第一の偏向電極１１のイオン源側及び第二の偏向電極１２のイオンビーム放出側に、それぞれアパーチャ２０を配置し、また、レンズシステム１３の略軸方向の中間部には、イオンビーム通路の中央部分を遮蔽する遮蔽手段１７を配置する。 （もっと読む）