【課題】 ＳＰＭ装置で観察する試料において、試料凹部にある物質を凹部外へ除去することを課題とする。
【解決手段】 異物2が凹部3にある、試料9を、探針1を用いて形状観察する。この時の3次元形状データを元にして、探針1先端と、試料9間距離を、垂直方向には異物水平直径7以下、水平方向には異物直径8以下となるように制御したまま、探針1が異物2に側面から接触するようにする。このとき、探針1を振動させたまま、異物2と接触させることで異物2が探針1に付着することを防ぐ。そして、探針1先端により異物2を凹部3の外に移動させた後、凹部3外で探針1の振動が停止するほどに試料9に接触させることにより、異物2を接触させた場所へ脱落させる。この作業の繰り返すことにより、凹部3内にあった異物2を除去し、凹部3外へ移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】 原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置の加工品質や加工精度を向上させる。
【解決手段】 集束イオンビーム装置を原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置内に組み込み、集束イオンビーム８のエッチングまたはデポジションの微細加工能力を用いて、加工用の原子間力顕微鏡探針１１の加工や付着物の除去、ドリフト用のマーカの形成、垂直断面加工、加工個所の罫書き線作製、加工始点での応力集中回避のための溝掘りを行って、原子間力顕微鏡を応用した微細加工装置単体で持っていた欠点を補い、加工品質や加工精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の歪みを圧電素子に取り付けた抵抗体により静電容量成分の影響を受けず高精度に測定可能で、さらにショートによる故障が発生せず信頼性の高い変位計付圧電アクチュエータおよび圧電素子とそれを用いた位置決め装置を提供する。
【解決手段】任意の形状に形成され、内部のイオンが任意の方向に分極処理を施され、少なくとも厚み方向の対向する２面にそれぞれ電極２ａ，２ｂ，３ｂ，４ｂ，５ｂが設けられた圧電素子1と、電極間に電圧を印加し圧電素子1に歪みを発生させるための駆動電源９、１０、１１と、電極７上に絶縁体を介して設けられた抵抗体Ｒｚ３、Ｒｘ１、Ｒｘ２、Ｒｙ２と、抵抗体に接続され、抵抗体に任意の電圧を印加し、抵抗値変化を検出することで圧電素子１の歪み量を検出する変位検出装置１２、１３、１４からなり、抵抗体が設けられる圧電素子１上の電極７をグランド電位に接続した。 （もっと読む）

【課題】試料加工方法および装置において、集束イオンビームを用いて試料の加工を行う場合に、試料の加工精度を向上することができるようにする。
【解決手段】試料１に位置参照マークを形成し、集束イオンビームによって位置参照マークを走査して、試料１における位置参照マークの位置情報を取得し、この位置情報に基づいて集束イオンビームの試料１に対する照射位置を補正して、試料１の加工を行う試料加工方法であって、試料１上に、マーク部３、４を形成し、集束イオンビームによって、マーク部３、４のいずれかを走査して、マーク部３、４のいずれかの位置情報を取得し、マーク部３、４のいずれかの位置情報に基づいて、集束イオンビームの試料１に対する照射位置を補正して、試料１の加工を行う。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡用試料作製方法の生産性を向上させる。
【解決手段】透過電子顕微鏡で観察可能な略平面状の仕上げ面Ｗｂ１と、微小ピンセット５０によって仕上げ面に触れることなく把持可能な把持部Ｗｂ２とを有する透過電子顕微鏡用試料片Ｗｂを作製する方法であって、試料本体Ｗａから、試料本体と連結部で連結された該試料片を、荷電粒子ビームで切り出す第１の工程と、第１の工程で切り出した該試料片の仕上げ面を微小ピンセットで覆い隠しながら、該試料片の把持部を微小ピンセットで把持する第２の工程と、第２の工程において微小ピンセットで把持した該試料片を、該試料片の把持状態を維持しながら荷電粒子ビームで連結部を切断することによって試料本体から切り離す第３の工程と、第３の工程で切り離した該試料片を、微小ピンセットで試料ホルダに搬送して固定する第４の工程とを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法を提供すること。 （もっと読む）

【課題】事前の分離操作を行うことなく、微量の貴金属を高周波プラズマ質量分析装置で高精度に分析するための方法を提供する。
【解決手段】（１）固体試料又はＮａを５００〜５０００質量ｐｐｍ含有する液体試料を準備する工程と、（２）固体試料の場合はナトリウム化合物を用いたアルカリ融解法によって試料を前処理し、Ｎａを５００〜５０００質量ｐｐｍ含有する試料溶液を調製する工程と、（３）液体試料又は試料溶液を、スキマーコーンを有するインターフェース部及び三段のイオンレンズを有するイオンレンズ部を備えた高周波プラズマ質量分析装置にて分析する工程とを含み、工程（３）において、インターフェース部に最も近い一段目のイオンレンズへの印加電圧を０Ｖとすること及び二段目並びに三段目の印加電圧をかけることにより感度を調整することを特徴とする試料中に含まれる貴金属の分析方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、しかもウエハに特別な電流を流すことなく表面酸化膜を確実に突き破ることができ、アースを確保しながら該ウエハを静電チャックによって吸着保持すること。
【解決手段】ウエハＷを上面に載置するウエハホルダ１０と、ウエハホルダ及びウエハを、それぞれ別々に吸着保持する静電チャック２０を上面に有する試料台２１と、ウエハが吸着保持される際に該ウエハのアースを確保するアース端子２２とを備え、アース端子が、静電チャックよりも低い高さで試料台の上面に載置された筒体２２と、先端が突起状に形成され、筒体に対して移動自在に配置された導電性のアースピン２６と、アースピンをＺ軸方向に付勢して先端を静電チャックよりも上方に突出させる付勢部材と、アースピンがＺ軸方向に沿って移動する際に、該アースピンをＺ軸回りに回転させる回転機構２４と、を備えているウエハアース機構３を提供する。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡用試料の作製において、荷電粒子ビームによって加工して作製した薄片試料を試料ホルダに固定する際に、デポジションを用いないようにすることにより生産性を向上させる。
【解決手段】荷電粒子ビームによって加工して作製した薄片試料Ｗ１を、保持部材５０により保持して凹状の嵌合部Ｈ１ａを有する試料ホルダＨ１に固定する方法であって、試料ホルダの嵌合部と嵌合可能な被嵌合部Ｗ１ａを有する薄片試料を荷電粒子ビームによって加工して作製する薄片試料作製工程と、該薄片試料作製工程で作製した薄片試料を保持部材によって保持する薄片試料保持工程と、該薄片試料保持工程で保持した薄片試料を試料ホルダに対して位置決めし、薄片試料の被嵌合部を試料ホルダの嵌合部に嵌合する薄片試料嵌合工程とを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料作製方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 簡便に試料小片の姿勢を９０度、１８０度、あるいは任意の角度だけ回転させて試料台に固定可能な装置を提供すること。
【解決手段】 試料７の表面とマニピュレータ回転軸２の交点を一端とする試料表面に垂直な線分をマニピュレータ回転軸２の周りに回転して得られる円錐側面と、試料表面の２つの面によってつくられる交線１１に、試料小片の特定の方向を一致させた後、試料小片をマニピュレータで支持し、マニピュレータ回転軸２を動作させることを特徴とする試料作成装置。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームを照射して加工する時に針状試料の先端の頂点周辺の汚染を抑えるとともに、針状試料の機械的な強度の低下を抑えたアトムプローブ用針状試料の加工方法及び集束イオンビーム装置を提供する。
【解決手段】針状試料１０を、その先端１１側が集束イオンビームＢの進行方向Ｄ先方を向きかつ基端１２側が集束イオンビームの進行方向後方を向くように、集束イオンビームの進行方向に対して針状試料の軸線Ｃ１が鋭角をなすように傾斜させて配置する。そして、針状試料をその軸線を中心に回転させながら、針状試料の先端に集束イオンビームを照射して加工する。 （もっと読む）