【課題】試料と電極との相互の位置調整を容易に行う。
【解決手段】保持した試料に電極を介して電界をかけて加工または分析する装置に用いられ、かつ、装置本体から取り外し可能とされた試料ホルダ電極ホルダ一体化ユニットを用いる。この試料ホルダ電極ホルダ一体化ユニットは、試料を固定する試料ホルダ２１と、電極５を固定する電極ホルダ２２と、試料ホルダにより固定される試料と電極ホルダにより固定される電極との間の相対的な位置決めを行う位置決め機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡便に試料小片の姿勢を９０度、１８０度、あるいは任意の角度だけ回転させて試料台に固定可能な装置を提供すること。
【解決手段】 試料７の表面とマニピュレータ回転軸２の交点を一端とする試料表面に垂直な線分をマニピュレータ回転軸２の周りに回転して得られる円錐側面と、試料表面の２つの面によってつくられる交線１１に、試料小片の特定の方向を一致させた後、試料小片をマニピュレータで支持し、マニピュレータ回転軸２を動作させることを特徴とする試料作成装置。 （もっと読む）

【課題】 従来の元素分析方法では困難だったフォトマスク上の微細な異物の元素分析方法を提供する。
【解決手段】 導電性AFMのAFM機能で異物1の位置出しを行い、導電性探針2を異物1直上に配置して異物1を含む領域に放射光3を照射し特定元素の内殻電子を励起しフェルミ準位近傍に現れる電子状態変化を導電性AFMのSTM機能でトンネルしてくる電子6をトンネル電流検出系13で検出し異物1の元素分析を行う。もしくは導電性AFMのAFM機能で異物の位置出しを行い、導電性探針を異物直上に配置して導電性AFMのSTM機能で異物に導電性探針から電子を注入し出てきた光を電子対解離型超伝導センサーでエネルギーを測定し異物の元素分析を行う。あるいは導電性AFMのAFM機能で異物の位置出しを行い、導電性探針を異物直上に配置して導電性AFMのSTS機能で電流-電圧特性を測定しその形状から異物材料の推定を行う。 （もっと読む）

【課題】元素の分布が均一な鉛フリーはんだ標準物質及びその製造方法を提供する。
【解決手段】錫を母材とする鉛フリーはんだ材料粉末と被測定材料を含む化合物をそれぞれ秤量し（Ｓ１０）、混合して二種類の材料が均一に分散するまで攪拌して混合物を作製する工程（Ｓ２０）と、混合物を加圧して成形する工程（Ｓ３０）を有する。鉛フリーはんだ材料粉末に銀、インジウム、銅、亜鉛、ビスマス、アンチモン、ゲルマニウムからなる群より選ばれた少なくとも一種類の元素である含有物質が含有される。また化合物は、鉛、カドミウム、クロム、水銀、ヒ素、セレン、亜鉛からなる群より選ばれた少なくとも一種類の元素を含み、含有物質に含まれる元素を含まない化合物であるとともに、無機金属、有機金属、有機金属錯体の少なくとも一つからなる。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子ビームを用いたフォトマスク欠陥修正において、孤立パターンのチャージアップを、パターンを傷つけることなく、効率よく抑止する。
【解決手段】 導電性プローブ1の先端に集束イオンビーム誘起化学気相成長金属膜で導電性のコイルバネ3を形成し、コイルバネ3によりマスクパターンとの接触圧を緩和して孤立したパターン4との導通を取り、チャージアップが起こらないようにしてから集束イオンビーム7で欠陥修正を行う。適切なバネ定数になるように、供給する原料ガス圧やビーム電流や走査方向・速度を制御して集束イオンビーム誘起化学気相成長で作製するコイルバネ3の太さ及び半径を制御する。 （もっと読む）

【課題】大きな収差係数を有する軸対称レンズの球面収差を打ち消す球面収差補正レンズ系および球面収差ゼロの軸対称プローブ形成レンズを提供する。
【解決手段】荷電粒子光学レンズ系は、４段の四極子レンズと、３つの開口電極から構成される。八極子レンズ作用を誘起する開口電極は、1段目と2段の間、２段目と３段目の間および３段目と４段目の間に配置する。四極子レンズの励起制御は、XZ面で凹凸凹凸レンズ作用、YZ面で凸凹凸凹レンズ作用を発現するように作動させ、YZ面の荷電粒子軌道が２段目と３段目の四極子レンズの間で一度光軸に交差し、かつ、荷電粒子レンズ系が軸対称レンズ条件を満たすように最終段の四極子レンズの後方でXZ面とYZ面の荷電粒子軌道が軸と交差するように個々の四極子レンズレンズの励起強度を調整する。 （もっと読む）

【課題】探針にかかるストレスを低減した状態で試料表面の形状情報や物性情報を測定することができ、プローブのダメージを軽減すること。
【解決手段】先端に探針を有するプローブにより試料表面上の隣接する複数のラインを１ライン毎順々に往復走査して、試料の表面情報を測定する方法であって、往路走査又は復路走査のうち一方の走査時に、探針を試料表面に近接或いは接触させた状態でプローブの変位が一定となるように探針と試料表面との距離を制御しながら走査させて、試料表面の測定データを取得する取得工程と、他方の走査時に、探針を所定量引き上げた後、一方の走査時の移動軌跡Ｌ１よりも試料表面から離間した移動軌跡Ｌ２で走査させる走査工程と、備えている表面情報測定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】試料を汚染することなく加工しつつ観察することができる複合荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】本発明の複合荷電粒子ビーム装置は、ガスフィールドイオン源を備えたイオンビーム照射系２０と、その照射軸がイオンビーム照射系２０の照射軸に対し９０度又は９０度よりも狭い角度に配置された電子ビーム照射系５０と、前記イオンビーム照射系２０から射出されるイオンビーム２０Ａと前記電子ビーム照射系５０から射出される電子ビーム５０Ａとの交差位置で試料を支持する試料台１４と、前記試料上のビーム照射位置にデポジション用又はエッチング用の機能ガスを供給するガス銃１１と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管及びＸ線分析装置において、さらなる小型化及び軽量化を図ることができると共に、より効率的に蛍光Ｘ線等を検出して感度を高めること。
【解決手段】 内部が真空状態とされＸ線が透過可能なＸ線透過膜で形成された窓部１を有した真空筐体２と、真空筐体２内に設置され電子線ｅを出射する電子線源３と、電子線ｅが照射されて一次Ｘ線を発生すると共に該一次Ｘ線を窓部１を介して外部の試料Ｓに出射可能に窓部１の中央部上に設けられ窓部１よりも外径の小さなターゲットＴと、試料Ｓから放出されて窓部１から入射する蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出可能に真空筐体２内に配置され該蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出素子４と、窓部１上の一部に設けられターゲットＴから真空筐体２まで延在する金属製の熱・電気伝導部１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管及びＸ線分析装置において、さらなる小型化及び軽量化を図ることができると共に、より効率的に蛍光Ｘ線等を検出して感度を高めること。
【解決手段】 内部が真空状態とされＸ線が透過可能なＸ線透過膜で形成された窓部１を有した真空筐体２と、真空筐体２内に設置され電子線ｅを出射する電子線源３と、電子線ｅが照射されて一次Ｘ線を発生すると共に該一次Ｘ線を窓部１を介して外部の試料Ｓに出射可能に真空筐体２内に設置されたターゲットＴと、試料Ｓから放出されて窓部１から入射する蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出可能に真空筐体２内に配置され該蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出素子４と、Ｘ線検出素子４とターゲットＴの電子線ｅの照射領域との間に配設された金属ガード部材１０と、を備えている。 （もっと読む）