【課題】 定常状態であることを前提とせずに、散逸に関する値、あるいは散逸エネルギーに比例する値を計測できる。
【解決手段】 カンチレバー２の共振周波数に追随して励振を行う励振手段１２と、カンチレバー２の先端の探針の変位を検出する変位検出器１０と、変位検出器１０からの信号から振幅を逐次得る振幅検出器２０と、振幅の時間差分値を得る差分値検出器２１と、時間差分値間の商の値を得る割り算器２２と、商の値の対数値を得る対数変換器２３と、対数値を差分時間で割った値を求めて散逸に関する値を得る第二の割り算器２４と備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ観察機能を備えないＦＩＢ装置でも、欠陥部分やコンタクトホールの中心位置を検出することが効率よく、実行できる試料断面作製方法を提供するものである。
【解決手段】 試料断面領域近傍に集束イオンビーム１を走査照射してエッチング加工しながら、集束イオンビーム１を照射することにより発生する二次電子２を検出する。検出した二次電子信号から加工終点検出機構１６で加工終点を検出して、エッチング加工を終了する。 （もっと読む）

【課題】 放射線検出器に到達する検出用放射線の量を従来の構成のものよりも増やすことができうる放射線検出装置及びそれを用いた放射線分析装置を提供する
【解決手段】 放射線を検出する放射線検出器１と、検出する放射線が入射する放射線導波系に放射線を透過させる透過機能を有する光学部材１１、１２と、放射線が入射してくる側に放射線導波系上最も近接した部位に、放射線が入射してくる側から入射される放射線を集光する集光機能を備えているキャピラリ７を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】冷却装置の接続状態によって乾燥条件を適切に選択して乾燥動作の制御を行なうことで、手動による作業手間を少なくすることができ、しかも確実に水分等を取り除くことができる。
【解決手段】熱分析装置１０は、ヒーター及び冷却装置３０を使用してパージボックス１１内の温度を上昇又は下降させるものである。熱分析装置１０の乾燥方法は、予め、冷却装置３０の接続状態に応じた乾燥条件を設定しておき、熱分析装置１０を起動させると共に始業時乾燥の制御が開始され、選択された冷却装置３０の接続状態に対応した乾燥条件にしたがって、冷却装置３０が停止された状態で所定量の乾燥ガスＰをパージボックス１１内に供給し、その乾燥ガスＰの温度を温度制御部２１で制御することで乾燥動作を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータにおいて、圧電素子の変位方向以外の低次のモードの共振周波数によって利用可能な周波数帯域が狭められることを防止し、高い周波数領域での駆動が可能な圧電アクチュエータを提供するものである。
【解決手段】電圧を印加することで伸縮変位する圧電素子１の一端を土台５に固定し、圧電素子１の変位方向に対して略平行に設けられたケース３を備える。さらに、面方向が圧電素子１の変位方向に対して交差する少なくとも１つの板バネ２を、一端をケース３に、もう一端を圧電素子１の側面に固定する。 （もっと読む）

【課題】 離散化した検出信号を効率よくディジタル信号に変換し、像質の良い走査像を得ることができる走査荷電粒子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 検出信号をアナログ積分器7でアナログ積分し、アナログ積分器7の出力が指定した値を越えたらA/D変換器8でディジタル値に変換し、そのディジタル値をディジタル積分器9でディジタル積分する。 （もっと読む）

【課題】外部からの輻射熱や磁場による出力信号波高値の変動を、サンプル測定しながら補正できる超伝導放射線分析装置を提供する。
【解決手段】放射線のエネルギーを温度変化として検出するマイクロカロリーメータ１と、マイクロカロリーメータより抵抗値が小さいシャント抵抗２と、マイクロカロリーメータに定電圧を印加するバイアス電源５と、マイクロカロリーメータに一定の熱量を付加させるための熱付加装置８と、マイクロカロリーメータに流れる電流を検出する信号検出機構１１と、熱付加装置からの熱量付加に同期して、信号検出機構からの出力信号のうち付加した熱量に対応する波高値を測定する波高値モニター９と、波高値モニターからの出力に基づいて熱付加装置からの熱量に対応するように波高値を補正するエネルギー補正装置１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】被加工物の加工中に生じる微細加工粉を、スループットの低下を招くことなく探針や加工痕から確実且つ効率良く除去すること。
【解決手段】探針３ａを利用して被加工物Ｍを液体Ｗ内で加工しながら、加工時に生じる微細加工粉を除去する装置であって、被加工物が載置されるステージ６と、探針を有するプローブ３と、ステージとプローブとを相対的に移動させて、探針により被加工物を加工させる移動手段７とを有する加工装置４と、探針を間に挟むように液体内に配置された第１の電極１１及び第２の電極１２と、両電極の間に電圧を印加させて微細加工粉を液体内で移動させる電圧印加手段９とを有する微細加工粉除去装置５とを備えている微細加工装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】パイルアップの影響を抑えて最適な検出下限となるように、入射線の強度を決定して測定を行うことが可能なエネルギー分散型放射線検出システム及び対象元素の含有量測定方法を提供する。
【解決手段】エネルギー分散型放射線検出システム１は、試料Ｍに所定の強度で入射線Ｐを照射する入射系２と、入射線Ｐが照射されることで試料Ｍから放出される放射線Ｑを検出する検出系３とを備え、検出された放射線Ｑのスペクトルに基づいて試料Ｍの対象元素の含有量を特定するもので、検出された放射線Ｑのスペクトルに基づいて、対象元素の検出下限が最小となる入射線Ｐの最適強度を決定して、入射線Ｐを最適強度で照射させることが可能な制御部１０を備える。 （もっと読む）

【課題】共振周波数をより高周波化した微動素子、並びに、該微動素子を備えて高周波領域での走査を可能とし、スループットを向上させた走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】微動素子１は、電圧を印加することで、所定の固定位置に固定される固定端１ａから自由端１ｂへ延びるＺ軸と、Ｚ軸と略直交する平面を構成する二軸であるＸ軸及びＹ軸との三軸の各方向に、固定端１ａに対して自由端１ｂを変位可能なものであり、Ｘ軸方向に変形可能なＸ圧電素子２と、Ｘ圧電素子に対してＺ軸方向に配列され、Ｙ軸方向に変形可能なＹ圧電素子３と、Ｘ圧電素子及びＹ圧電素子に対して自由端側でＺ軸方向に配列するとともに、Ｚ軸方向に変形可能なＺ圧電素子４とが一体となって構成され、Ｚ軸に略直交する断面積が固定端１ａに対して自由端１ｂが小さくなるように、Ｘ圧電素子、Ｙ圧電素子、及びＺ圧電素子によって形成されている。 （もっと読む）