説明

株式会社日立ハイテクサイエンスにより出願された特許

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【課題】 溶液やガスの種類を問わず、様々な環境下で使用可能で、カンチレバーを効率的に加振可能にしたカンチレバーホルダ及びそれを備えて測定精度を向上させた走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー5を先端部に保持可能なカンチレバー保持部13と、カンチレバー保持部13の末端部13dが固定される第一のベース部14と、第一のベース部14が保持される第二のベース部15と、第一のベース部14においてカンチレバー保持部13が固定される面に対して裏側の面に先端を接触させて固定される圧電素子16により走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ7を構成し、圧電素子16が第一のベース部14に予圧を掛けて固定されるようにした。 (もっと読む)



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