【課題】それぞれ直交に配置された集束イオンビーム鏡筒と電子ビーム鏡筒を有する複合荷電粒子加工観察装置において、試料ステージを、誤操作なく操作性の良い動作をさせる。
【解決手段】観察像を見て観察位置を動かす際、集束イオンビームと電子ビームの像表示部のそれぞれの座標系で指定した試料ステージ２の移動方向に対して、一つの試料ステージ２をそれぞれの座標系に対応した方向に移動する。 （もっと読む）

【課題】 膜厚の厚みレベルに応じて効率よく、膜厚測定を行うことができる蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、検出器に視野制限窓およびその位置調節機構と有し、測定する表面層の厚みレベルに応じてＸ線検出器の検出領域を視野制限窓により調整することを特徴とする蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法。 （もっと読む）

【課題】 試料とＸ線検出器の距離の変化による異物検出についての誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 検査対象試料元素にＸ線を試料に照射するＸ線管球１１と、Ｘ線が試料を透過した際の透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、透過Ｘ線の透過像からコントラスト像を得る演算部１７と、試料と検出器間の距離を算出するセンサーと、Ｘ線検出器の位置を調整する機構を備え、試料とＸ線検出器間の距離を一定に保ちながらＸ線透過像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】レイアウト上での素子配置の規則性情報と組み合わせて、差動対回路やカレントミラー回路のようなマスク検査品質を優先する部分回路の抽出を図ること。
【解決手段】品質優先回路ネットリスト抽出装置３で抽出した品質優先回路のネットリスト情報（差動対回路、カレントミラー回路）と品質優先回路レイアウト抽出装置５で抽出した品質優先回路のレイアウト情報（行／列／アレイ構造）から、レイアウトデータに含まれる素子図形に対してマスク検査精度の優先順位を決定する。 （もっと読む）

【課題】周期構造を有する試料でも観察対象の構造の断面を観察可能な断面加工観察を図ること。
【解決手段】試料５に集束イオンビーム３を照射する集束イオンビーム照射系１と、試料５上の集束イオンビーム照射領域に荷電粒子ビーム４を照射する荷電粒子ビーム照射系２と、試料５から発生する二次荷電粒子を検出する二次荷電粒子検出器７ａと、異なる断面間隔の断面を作成する集束イオンビーム３の照射信号を集束イオンビーム照射系１に送信する処理を行う処理機構１１と、を有する集束イオンビーム装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】効率の良い断面加工観察プロセスの実現を図ること。
【解決手段】試料５に集束イオンビーム３を照射する集束イオンビーム照射系１と、試料上の集束イオンビーム照射領域に荷電粒子ビーム４を照射する荷電粒子ビーム照射系２と、試料５から発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、検出器で検出した検出信号の変化を検出し、荷電粒子ビーム４の照射を開始する信号を荷電粒子ビーム照射系２に送信する処理を行う処理機構１１と、を備えている集束イオンビーム装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 溶液やガスの種類を問わず、様々な環境下で使用可能で、カンチレバーを効率的に加振可能にしたカンチレバーホルダ及びそれを備えて測定精度を向上させた走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 カンチレバー５を先端部に保持可能なカンチレバー保持部１３と、カンチレバー保持部１３の末端部１３ｄが固定される第一のベース部１４と、第一のベース部１４が保持される第二のベース部１５と、第一のベース部１４においてカンチレバー保持部１３が固定される面に対して裏側の面に先端を接触させて固定される圧電素子１６により走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダ７を構成し、圧電素子１６が第一のベース部１４に予圧を掛けて固定されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶマスクの反射層の反射率を大幅に低下させることなく欠陥修正を行うこと。
【解決手段】水素イオンビームを発生する電界電離型イオン源と、水素イオンビームをＥＵＶマスク上に集束させ、走査照射するイオン光学系と、ＥＵＶマスクを載置する試料台と、ＥＵＶマスクから発生する二次荷電粒子を検出する検出器と、検出器の出力信号に基づいてＥＵＶマスクの観察像を形成する像形成部と、を有する装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】熱流束型の示差走査熱量計において、検出感度と分解能をともに向上させた示差走査熱量計を提供する。
【解決手段】測定試料を収納する試料容器２と、基準物質を収納する基準物質容器３と、ヒートシンク１０と、試料容器及び基準物質容器とヒートシンクとの間に接続されてこれらの間に熱流路を形成する熱抵抗体５と、自身の熱接点７ｃが絶縁されつつ熱抵抗体の試料容器近傍に熱的に接続される試料側熱電対７と、自身の熱接点８ｃが絶縁されつつ熱抵抗体の基準物質容器近傍に熱的に接続される基準物質側熱電対８と、を備え、試料側熱電対及び基準物質側熱電対は、測定試料と基準物質との温度差を熱流差信号として出力する示差走査熱量計１である。 （もっと読む）

【課題】複雑な調整機構を用いることなく安定したビームの照射を図ること。
【解決手段】針状のチップ１と、チップ１にガスを供給するイオン源用ガスノズル２とイオン源用ガス供給源３からなるガス供給部と、チップ１との間で電圧を印加し、チップ１の表面に吸着したガスをイオン化してイオンを引き出す引出電極４と、イオンを試料１３に向けて加速させるカソード電極５からなるイオン銃部１９を備え、イオン銃部１９とレンズ系の間に配置された第二のアパーチャ１０と、試料１３にイオンビーム１１を集束させる集束レンズ電極６と対物レンズ電極８からなるレンズ系を備えている集束イオンビーム装置を提供する。 （もっと読む）