説明

株式会社日立ハイテクサイエンスにより出願された特許

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【課題】 作業効率よく、安全に試料測定を行うことができるX線分析装置及びX線分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される特性X線及び散乱X線を検出し、特性X線及び散乱X線のエネルギー情報を含む信号を出力するX線検出器と、信号を分析する分析器と、試料を載置する試料ステージと、試料ステージ上の試料と放射線源及びX線検出器とを相対的に移動可能な移動機構と、試料における照射ポイントの高さを測定可能な高さ測定機構と、測定した試料における照射ポイントの高さに基づいて移動機構を制御して、試料と放射線源及びX線検出器との距離を調整する制御部とを備えていることを特徴とするX線分析装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】 先端に触針を有するカンチレバーを利用した、簡便・高精度な定量測定ができる摩擦力測定方法および摩擦力測定装置を提供する。
【解決手段】摩擦力顕微鏡の原理を利用した触針6bとサンプル5間の摩擦力の測定方法において、単位長さ当たりの撓み変形に伴う光強度変化信号を取得する工程と、捩れ変形に伴う光強度変化信号を取得する工程と、撓み変形に伴う光強度変化信号の増幅倍率と捩れ変形に伴う光強度変化信号の増幅倍率の比率を取得する工程と、光源10からカンチレバー6に照射される光スポット形状のカンチレバー6の長軸方向と長軸に垂直な方向の長さの比率を取得する工程と、カンチレバーの寸法および物理定数を取得する工程を含み、前記各工程において取得した値から摩擦力を算出する。 (もっと読む)


【課題】 発熱体を有するカンチレバーを用いて試料へ局所加熱をして試料の軟化点や熱伝導を測定する場合に、探針と試料との接触部のみの熱交換とすることで測定ポイントの周辺部に熱影響を与えなくし、接触部のみの軟化点測定および熱伝導測定を可能にした装置を提供する。
【解決手段】 プローブ顕微鏡をベースとした局所の軟化点測定装置および熱伝導測定装置において、探針と試料面の環境を1/100気圧(103Pa)以下とする、あるいは探針側面を断熱材で熱逃げが1/100以下となる厚さにコートすることにより、探針側面からの熱逃げを低減し、略探針と試料面との接触部のみの熱交換となるようにした。 (もっと読む)


【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定試料に含まれる一つの元素のX線吸収端より低く、かつ、検出元素のX線吸収端より高いエネルギーの特性X線を試料に照射するX線管球11と、X線が試料を透過した際の透過X線を検出するX線検出器13と、透過X線の透過像からコントラスト像を得る演算部15と、を備えたX線透過装置及びX線透過方法とする。 (もっと読む)


【課題】複数種類のポリマーを含む複合材料を、原子間力顕微鏡を用いて解析する際、複数種類のポリマーがゴム状態にある場合でも位相遅れの情報を検出する。
【解決手段】複合材料を原子間力顕微鏡を用いて解析するとき、少なくとも2つの設定温度の条件下、原子間力顕微鏡の非接触モードを用いて得られる複合材料の位相遅れのデータを取得する。次に、設定温度のそれぞれにおける位相遅れのデータに基づいて位相画像をつくる。第1の設定温度の条件でつくられる第1の位相画像に基づいて選択された測定位置について、第2の設定温度の条件でつくられる第2の位相画像の位相遅れのデータを取得する。取得した位相遅れのデータを用いて、複合材料の解析を行う。そのとき、第1の設定温度は、複数種類のポリマーが持つ複数のガラス転移温度のうち、いずれか2つのガラス転移温度の間に位置し、第2の設定温度は、前記2つのガラス転移温度より高い。 (もっと読む)


【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐこと。
【解決手段】 測定対象元素のX線吸収端より低いエネルギーの第1の特性X線を試料Sに照射する第1のX線管球11と、元素のX線吸収端より高いエネルギーの第2の特性X線を試料に照射する第2のX線管球12と、第1の特性X線及び第2の特性X線が試料を透過した際の第1の透過X線及び第2の透過X線を検出する第1のX線検出器13及び第2のX線検出器14と、第1の透過X線の第1の透過像と第2の透過X線の第2の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部15と、を備え、試料と第1のX線管球との間に第1の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素の第1のフィルタF1を配すると共に、試料と第2のX線管球との間に第2の特性X線よりも高いエネルギーのX線吸収端を有する元素の第2のフィルタF2を配する。 (もっと読む)


【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐことができるX線透過検査装置及びX線透過検査方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象の元素のX線吸収端より低いエネルギーの第1の特性X線を試料Sに照射する第1のX線管球11と、元素のX線吸収端より高いエネルギーの第2の特性X線を試料Sに照射する第2のX線管球12と、第1の特性X線が試料Sを透過した際の第1の透過X線を受けてその強度を検出する第1のX線検出器13と、第2の特性X線が試料Sを透過した際の第2の透過X線を受けてその強度を検出する第2のX線検出器14と、検出された第1の透過X線の強度の分布を示す第1の透過像と検出された第2の透過X線の強度の分布を示す第2の透過像とを作成し、第1の透過像と第2の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部15と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】 探針とサンプルを破損することなしに確実に近接させることが可能で、近接にかかる時間も短縮することが可能な探針とサンプルの近接方法を提供する。
【解決手段】 変位検出機構5によりカンチレバー2の変位を検出しながら、粗動機構13または/および垂直方向微動機構11により探針1とサンプル8を近接させるときに、加振機構4により第一の加振条件でカンチレバー2を加振し、第一の停止条件で探針1とサンプル8を近接させたあと、第一の加振条件とは異なる第二の加振条件でカンチレバー2を加振し、第二の停止条件を設定し、垂直方向微動機構11または/および前記粗動機構13により探針1とサンプル8を第二の停止条件まで近接させるようにした。 (もっと読む)


【課題】FIM像から、コンタミネーション等の外乱に影響されずにエミッタの結晶構造を正確に把握することができるうえ、原子の再配列を行わせたとしても、エミッタの結晶構造が正確に元の状態に戻ったか否かを判断すること。
【解決手段】エミッタ10と、ガスG2を供給するガス源11と、エミッタを冷却させる冷却部12と、エミッタの先端を加熱する加熱部13と、引出電圧を印加してエミッタの先端でガスをガスイオンにして引き出させる引出電源部15と、ガスイオンを集束イオンビーム(FIB)にした後に試料Sに照射させるビーム光学系16と、エミッタ先端のFIM像を取得する画像取得機構17と、表示部及び記憶部7bを有する制御部7と、を備え、記憶部には、エミッタ先端の理想的な結晶構造を表示するガイドが予め記憶され、制御部が取得したFIM像にガイドを重ねた状態で表示部に表示可能とされている集束イオンビーム装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】 プラズマトーチと高周波誘導コイルとの相対位置を所定位置に固定して、プラズマを安定化して発生すること。
【解決手段】 誘導結合プラズマ分析装置であって、プラズマ用ガスと霧滴化した試料が導入されるプラズマトーチ4と、プラズマトーチ4に高周波電圧を印加する誘導コイル6とを備え、この誘導コイル6は、プラズマトーチ4を通す空洞を備えた誘導コイル押さえ11で固定する。 (もっと読む)


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