【課題】 凹凸のある試料でも装置と試料との衝突を回避することが可能なＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、試料Ｓを載置する試料ステージ１と、該試料ステージ１上の試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３とを相対的に移動可能な移動機構６と、試料Ｓの最大高さを測定可能な高さ測定機構７と、測定した試料Ｓの最大高さに基づいて移動機構６を制御して試料ＳとＸ線管球２及びＸ線検出器３との距離を調整する制御部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、プローブのランダムアクセス操作のような厄介な作業をすることなく、電子顕微鏡等の走査型荷電粒子顕微鏡の観察から半導体デバイスにおける回路要素の導通等の検査を可能とする検査手法を提示し、それを実現するシステムを提供することにある。
【解決手段】本発明の検査手法は電子鏡筒２とイオンビーム鏡筒１と二次荷電粒子検出器４とをそなえた複合装置を用い、電子ビーム又は正電荷のイオンビームを半導体デバイス試料面に照射して高い帯電をさせた場合と、該高い帯電状態を示した領域の所望のパターンに逆電荷の正電荷のイオンビーム又は電子ビームを照射した場合との試料面のコントラスト変化を顕微鏡観察して電子回路検査するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、構造的に耐磨耗性が高いと共に必要な剛性を持ち、試料面に対してチップが垂直になるようにカンチレバー先端に取り付け形成され、また素材が導電性を有し、分解能が安定で測定再現性がよいプローブ顕微鏡の探針を提供すること、また、溝部側壁位置を測定できるプローブを提供することにある。
【解決手段】本発明のプローブ顕微鏡用の探針作成方法は、カンチレバー先端部に集束イオンビームを用いた化学蒸着法により、タングステンあるいはダイヤモンドライクカーボンといった導電性素材の堅固な円筒柱状のチップを形成させたものであって、プローブ走査時に探針が試料面に垂直となる方向に成長形成させ、また、該探針先端部の形状が略球形形状となるように形成させたものである。 （もっと読む）

【課題】 高感度、高分解能で小型化も可能な自己変位検出型のカンチレバー、カンチレバーシステム及びプローブ顕微鏡並びに吸着質量センサを提供すること。
【解決手段】 板バネ特性を備えたレバー部２と、該レバー部２をその基端側で支持する本体部３と、レバー部２又はレバー部２と本体部３との間に設けられ絶縁部５ａを挟んで電圧が印加されると共にトンネル電流の変化又はこれに伴う電気的変化を測定可能な間隔で離間した少なくとも一対の導体電極部５ｂを有する変位検出部５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料の微小な領域にＸ線を照射することができ、Ｘ線の強度は減少しないＸ線管を提供する。
【解決手段】Ｘ線管１は、筐体２内で凹部６を有する有しフィラメント１を内部に配置する集束電極(陰極)５と、熱電子を発生し集束電極（陰極）５の凹部の溝の内部に配置されるように固定されているフィラメント３と、熱電子からなる電子線が衝突するターゲット４を先端に設けた陽極電極１１と、筐体２に設けられ穴を覆うように設けられ、ターゲット４で発生した一次Ｘ線を射出するたように、Ｘ線を透過するＸ線放射窓８と、から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 測定位置特定の操作性に優れていると共に、高精度で距離測定を行うことができるＸ線分析装置及びＸ線分析方法を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上の照射ポイントに１次Ｘ線Ｘ１を照射するＸ線管球２と、試料Ｓから放出される特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し該特性Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器４と、照射ポイントＰ１を決定するために試料Ｓ上を光学的に観察可能な第１観察系５と、該第１観察系５よりも被写界深度が小さくかつ狭域を光学的に観察可能であると共に決定した照射ポイントＰ１との距離を焦点調整によって測定可能な第２観察系６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 元素マッピング像などの分布画面の数の制限やサイズが小さくなることなく、元素マッピング像の元素分布状態の差異の見栄えが大いに向上させ、元素の分布状態を正しく把握できるようにする。
【解決手段】 ディスプレイ部７の親ウインドウ１１内に表示されている元素マッピング像である分布画面１２を、表示元素画面１３や画面切替ボタン１４を表示したい特定の元素や分析線をキーボードまたはマウスなどの選択するなどにより切り替えるようにして、複数の分布画面１２を大きな同一サイズで上書きするように重ねて表示するようにする。 （もっと読む）

【課題】超伝導Ｘ線検出器と、低温初段増幅器と、コリメータとからなる超伝導Ｘ線検出装置の先端部分において、該検出器と該コリメータとの位置の粗調整が容易な構造とし、かつ、ボンディング配線を保護できる超伝導Ｘ線検出装置およびそれを用いた超伝導Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】超伝導Ｘ線検出器の検出部とコリメータの貫通穴との位置を、該検出器と該コリメータの少なくとも外周の一部を位置の基準として製作し、基準とした外周の一部が一致するように該検出器と該コリメータを装着固定する、あるいはセンサーホルダに設けた溝の壁に基準とした外周の一部が接するように装着固定する構造としたものである。 （もっと読む）

【課題】S/Nを高くして測定精度を向上させると共に、広いマイクロ波帯域にわたり測定が可能なマイクロ波共振器及びマイクロ波顕微鏡を提供する。
【解決手段】導体線路１０１とグランド導体１０２とを有する両端開放型のマイクロ波共振器１００であって、マイクロ波共振器の両端１０４、１０５を結ぶ中央部における導体線路に接続され、かつグランド導体に接触せずにマイクロ波共振器の外側に突出し、試料３００に近接して該試料の複素誘電率に関する量を測定する測定手段１２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡等の試料観察手段に対して、プローブ顕微鏡観察位置を精度よく設定できる位置合せ方法およびプローブ顕微鏡の提供すること。
【解決手段】 試料表面およびカンチレバー形状を光学顕微鏡等の観察可能な手段にて、事前に既知の構造からなる試料を用いて、試料観察用手段より求めた試料観察位置とカンチレバーに構成された探針位置を確認し、その相対位置関係を記録した後、カンチレバー位置を指定する第一のマーキングと第一のマーキングに連動して表示される前記相対位置関係にある第二のマーキングを製作し、第二のマーキングを基に試料位置合せをするようにした。 （もっと読む）