説明

株式会社日立ハイテクサイエンスにより出願された特許

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【課題】ガス電界電離イオン源を用いて試料へのダメージが小さく、かつ、効率よく微細加工を行うこと。
【解決手段】イオンビーム1を放出するエミッタ41と、エミッタ41を収容するイオン源室40と、イオン源室40に窒素を供給するガス供給部46と、窒素をイオン化し、窒素イオンを引き出す電圧を印加するための引出電極49と、エミッタ41を冷却する温度制御部34と、を有するガス電界電離イオン源を備えている集束イオンビーム装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】直交に配置された2つの荷電粒子ビーム鏡筒を有する装置において、試料ステージ移動の操作性向上を図る。
【解決手段】集束イオンビーム鏡筒4と、それと直交する電子ビーム鏡筒5と、試料11を移動させる試料ステージ2と、試料11を観察する光学顕微鏡14と、集束イオンビーム像及び電子ビーム像並びに光学顕微鏡像を表示可能な表示部9,10と、各像の座標系に合わせて試料ステージ2を移動させるステージ制御部3と、を有する複合荷電粒子ビーム装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】FIB鏡筒とSEM鏡筒を直角に構成した装置において、観察している試料の位置関係を作業者が把握しやすいFIB像とSEM像を表示すること。
【解決手段】FIB鏡筒1と、FIB鏡筒1と略直角に配置されたSEM鏡筒2と、試料4を載置する試料ステージ3と、試料4から発生する二次粒子を検出する二次電子検出器5と、検出信号からFIB像とSEM像を形成する観察像形成部15と、FIB像内の試料の左右の向きとSEM像内の試料の左右の向きが同じであるFIB像とSEM像を表示する表示部9と、を有する複合荷電粒子ビーム装置を用いる。 (もっと読む)


【課題】走査型プローブ顕微鏡などに用いられるシリコンプロセスにおける異方性エッチングにより断面形状が台形形状をしたカンチレバーにおいて、厚さを直接測定することなくカンチレバーのバネ定数を特定する。
【解決手段】断面の台形の上底と下底の長さa、bおよび異方性エッチングにより現れる面の幾何学的規則性とからカンチレバー2の厚さtを特定して、それらとカンチレバー2の長さLおよびヤング率からカンチレバー2のバネ定数を特定する。 (もっと読む)


【課題】試料の透過X線像をTDIセンサで検出する際に、TDIセンサの積算段数を容易かつ広い範囲で調整することができる透過X線分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】所定の走査方向Lに相対移動する試料100の透過X線像を検出する透過X線分析装置であって、透過X線像に由来する画像を光電変換して生じる電荷を読み出す撮像素子を2次元状に複数個備えた時間遅延積分方式のTDIセンサ14であって、走査方向に垂直な方向に撮像素子が並ぶラインセンサ14a〜14hを走査方向に複数段並べ、1つのラインセンサに蓄積された電荷を隣接する次のラインセンサへ転送するTDIセンサと、TDIセンサと試料との間に配置され、走査方向に進退してTDIセンサに入射される画像の一部を遮蔽する遮蔽手段21と、所定の段数のラインセンサを遮蔽するように遮蔽手段の位置を制御する遮蔽手段位置制御手段と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】透過X線装置で検出した異物の位置の元素分析を蛍光X線で正確かつ迅速に行えるX線分析装置を提供する。
【解決手段】第1のX線源12と、第1のX線源から試料100を透過した透過X線12xを検出する透過X線検出器14とを有する透過X線検査部10と、第2のX線源22と、第2のX線源からのX線を試料に照射したときに該試料から放出されるX線22yを検出する蛍光X線検出器24とを有する蛍光X線検査部20と、試料を保持する試料ステージ50と、試料ステージを、第1のX線源の照射位置と第2のX線源の照射位置との間で相対的に移動させる移動機構30と、透過X線検出器にて試料中に検出された異物101の位置を演算する異物位置演算手段60と、異物位置演算手段によって演算された異物の位置が第2のX線源の光軸22cに一致するように移動機構を制御する移動機構制御手段61と、を備えたX線分析装置1である。 (もっと読む)


【課題】小さい分析領域への高い強度のX線の照射を図ること。
【解決手段】電子ビーム2の衝突によりX線5を放出するアノードターゲット4と、アノードターゲット4に対向する位置に配置され、電子ビーム2を放出する複数のカソード電極1と、電子ビーム2の照射方向を制御する電子光学系と、アノードターゲット4とカソード電極1と電子光学系とを収容する外囲器と、を有するX線管を提供する。 (もっと読む)


【課題】 カンチレバーの周波数・振動特性検出は、長時間を要することにより、測定条件設定時の誤差を生じさせる問題があった。また、1次共振周波数の検出の誤りが発生する可能性があった。
【解決手段】 カンチレバーの共振周波数を含む範囲の周波数帯域で、加振信号発生器より、往復の高速周波数スイープ信号を発生させ、カンチレバーを振動させ、往路と復路それぞれの振幅の最大値の周波数を計測し、その中間値をカンチレバーの共振周波数として、検出することを特徴とする。さらに、1次共振周波数を検出時に6.3倍の2次共振周波数が存在するかを確認することにより、共振周波数検出の誤りを未然に防ぐ。 (もっと読む)


【課題】特に、熱分析装置において、載置する試料について、簡便に精度よく位置決めを行うこと。
【解決手段】試料に非接触に位置決めを判定すべく、載置した試料とその周辺の装置の一部について広域の画像を取得し、それを処理して画像上にて幾何学的な解析により相対位置を比較することで、試料位置の合否を判断する。不合格の場合は、試料位置を変更した後に再度同様の合否判定を行なう。 (もっと読む)


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