説明

株式会社日立ハイテクサイエンスにより出願された特許

1 - 10 / 330



Notice: Undefined index: from_cache in /mnt/www/gzt_applicant_list.php on line 189




【課題】走査型プローブ顕微鏡などに用いられるシリコンプロセスにおける異方性エッチングにより断面形状が台形形状をしたカンチレバーにおいて、厚さを直接測定することなくカンチレバーのバネ定数を特定する。
【解決手段】断面の台形の上底と下底の長さa、bおよび異方性エッチングにより現れる面の幾何学的規則性とからカンチレバー2の厚さtを特定して、それらとカンチレバー2の長さLおよびヤング率からカンチレバー2のバネ定数を特定する。 (もっと読む)





【課題】 カンチレバーの周波数・振動特性検出は、長時間を要することにより、測定条件設定時の誤差を生じさせる問題があった。また、1次共振周波数の検出の誤りが発生する可能性があった。
【解決手段】 カンチレバーの共振周波数を含む範囲の周波数帯域で、加振信号発生器より、往復の高速周波数スイープ信号を発生させ、カンチレバーを振動させ、往路と復路それぞれの振幅の最大値の周波数を計測し、その中間値をカンチレバーの共振周波数として、検出することを特徴とする。さらに、1次共振周波数を検出時に6.3倍の2次共振周波数が存在するかを確認することにより、共振周波数検出の誤りを未然に防ぐ。 (もっと読む)



1 - 10 / 330