【課題】できる限り正確にバルブ駆動部の少なくとも１つの推進ロッドに取付けることが可能で、自己整合ができ、短時間で手間無く再び取り外すことが可能で、真空バルブの動作中に真空空間内で発生する自由材料粒子の存在を低く抑えることのできる、真空バルブの閉鎖板を提供する。
【解決手段】流路Ｆの気密封止のための真空バルブ１に関し、前記真空バルブ１は、円筒形接続部を有する少なくとも一つの推進ロッド７と、前記推進ロッド７に脱着自在に設けられ、前記接続部に対応した少なくとも一つの第一ロッド凹部を有する閉鎖板１１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】開口上で移動し、その開口に閉鎖ディスクを押し付けることにより気密閉鎖する閉鎖ディスクを備えた真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】閉鎖ディスク4に連結されている連接棒6が、線形ドライブ装置7を用いて直線的に調節可能である。よって、閉鎖ディスクが開口2を覆っていない位置Oと、開口2上に突出している中間位置との間で移動可能である。係合要素10aにより、閉鎖位置で、閉鎖面5を有する閉鎖ディスクをバルブシート3に押し付けることが可能である。また、２つ以上の脚部において、一方の脚部端部が第１結合部14を通って閉鎖ディスクの背面9に、他方の脚部端部が第２結合部16を通って支持材22に、回転可能に設けられている。脚部13と背面と支持材とで、連結式の平行四辺形25を形成する。薄壁の曲げやすい部分で構成されている各第１・第２結合部を有する各脚部13が、一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路（Ｆ）を遮断するシャトルバルブに関する。
【解決手段】シャトルバルブは、流路（Ｆ）となる開口部（３）を取り囲むバルブシート（４）を有するバルブハウジング（１）を備えている。バルブディスク（５）を、回転可能に取り付けたシャフト（６）に設けている。駆動部ユニット（７）で、バルブディスク（５）を、規定した移動曲線（Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３）に沿って、開位置から閉位置に旋回する。バルブディスク（５）を、第１の駆動部（９ａ，９ｂ）で、シャフト（６）のピボット軸（８）中心の回転運動（Ｒ１）で、流路（Ｆ）を遮らない開位置から旋回させ、第２の駆動部（１０ａ，１０ｂ）で、ピボット軸（８）に平行に、バルブシート（４）の方向に直線運動（Ｌ１）させ、バルブディスク（５）とバルブシート（４）間をシール接触で気密にシールし、閉位置にする。 （もっと読む）

【課題】ねじの最初の堅固な締め付け後、変位路の方向における連結棒に対する閉鎖ディスクの自己方位付けを達成し、動作中の弁ディスクと連結棒の間の相対的移動を回避する。
【解決手段】流路の気密閉鎖用の真空弁が、少なくとも一つの棒凹部が形成されている閉鎖ディスクと少なくとも一つの連結棒を含む。連結部の横穴に通され、棒凹部のねじ穴に噛み合うねじによって、棒凹部を連結棒の連結部上に位置決めすることで、閉鎖ディスクが連結棒上に取り外し可能に取り付けられる。突出部と凹部が、棒凹部と連結部の結合領域に設けられている。突出部と凹部は、連結棒の軸を含む平面内で突出部が凹部により把持され、インターロック結合によって変位路の方向に閉鎖ディスクと連結棒が互いに固定されるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】線形動作により開放又は封止される真空バルブ、特に真空トランスファバルブ内で粒子の生成を可能な限り低く抑え、そして流れの方向における外部寸法が特にコンパクトで省スペースに形成されることを特徴とする真空バルブドライブを提供する。
【解決手段】真空バルブドライブ１は、気密状態の作業領域６を含むドライブハウジング５、該作業領域６の内部に存在するピストン７、及び該作業領域６からバルブ封止装置２まで気密性を保ちながら延在する１つ以上の連接棒８，９を備えている。該作業領域６の中心部で該調整軸３と平行に、そして、該ピストン７を介して延在する固定状態の（静的な）ガイド棒１１、及び該ピストン７と該ガイド棒１１との間に設けられた精密線形軸受１２を備えた真空バルブドライブ１が提供される。 （もっと読む）

【課題】半導体処理の真空チャンバシステムに関する。
【解決手段】真空チャンバシステムは、少なくとも２つの排気可能な真空チャンバ１ａ、１ｂと、移送手段４と、を備えている。２つの真空チャンバは、処理する半導体素子を収容し、真空チャンバ開口部２ａ、２ｂおよび真空チャンバシール面３ａ、３ｂを備えている。移送手段は、一方の真空チャンバを、他方の真空チャンバに対して移動させ、そのチャンバに真空気密でドッキングさせる。真空チャンバの少なくとも１つが、支持手段を備え、排気しドッキングした状態で支持する。支持手段は、２つの支持素子７１、７２の形式で、真空チャンバ開口部の側面に配置している。支持素子は、互いに動作接続部を備え、相互に力および変位バランスを備えている。この結果、ドッキング状態で、ミスアライメントによる相対する真空チャンバシール面の平行でない位置付けが、支持の際に補正される。 （もっと読む）

【課題】簡単小型、保守が容易、耐高負荷、両サイドで活動可能な真空技術分野で用いられるスライドゲートバルブ。
【解決手段】第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と第一シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブプレート５と駆動部８とからなる。駆動部によってバルブプレートは本質的に第一バルブシートと平行な開位置から回転又は移動可能で、バルブプレートと第一バルブシート間の垂直距離は減らすことができる。従って、閉位置において第一シーリングリングと第一バルブシートの軸方向のシーリングコンタクトによって流路は気密封止される。バルブプレートは駆動部と接続され第一シーリングリングを垂直方向に第一バルブシートに固定する支持部９と内部周辺領域１１を有し、第一バルブシートと本質的に垂直に支持部に対して可動となるように設けられたシーリング部１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】シンプルでコンパクトなデザインを有し、メンテナンスが容易で、高圧負荷にも耐えることができ、任意で両サイドで活動可能なバルブを提供する。
【解決手段】バルブは、第一開口部３と第一バルブシート４を有する第一壁２とを有するバルブハウジング１と、シーリングリング７を備えたクロージングサイド６を有するバルブディスク５と、少なくとも一つの駆動部８からなる。バルブディスク５は回転可能又は移動可能であり、バルブディスク５と第一バルブシート４間の垂直距離は、減らすことができ、流路は気密封止される。バルブディスク５は、駆動部８と接続され、シーリングリング７を垂直方向に第一バルブシート４に固定する外部ディスクセクション９と、外部周辺領域１１を有し、第一バルブシート４と垂直に外部ディスクセクション９に対して可動となるように設けられた内部ディスクセクション１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】角度を有する２ポート間の流路を基本的に気密封止する、メンテナンス容易で、コンパクトなバルブを提供する。
【解決手段】軸に沿って移動可能で、その閉じた面が流路を閉じる第一ポートのバルブシートと接触可能であって、流路を閉じるために離脱可能である、バルブシートに配されたバルブポートは、閉じた面を形成する端面を有する円柱状ピストンとピストンの外表面とで形成される。バルブハウジングは、軸に沿ってバルブシートと反対方向に延在する円柱状の経路を有し、そこを通ってピストンが通過し、移動可能であり、そこの内側にシーリング又はガイド部材が配される。ピストン外部表面が調整距離に沿って経路のシーリング又はガイド部材によって密に囲まれるような寸法にピストンと経路は形成されている。 （もっと読む）