説明

国立大学法人 岡山大学により出願された特許

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【課題】大面積の誘電体化合物薄膜を低コストで作製できる製造方法および誘電体化合物薄膜を提供する。
【解決手段】誘電体化合物(RMbO3-δ)n(MaO)mの原料となるRを含む化合物と、Maを含む化合物と、及びMbを含む化合物を溶媒に溶解させることにより、RとMaとMbの有機金属錯体を含有する原料溶液を準備する準備工程と、原料溶液をゾル化してゾル状溶液を作製するゾル化工程と、ゾル状溶液を基板に塗布する塗布工程と、基板に塗布されたゾル状溶液に重合を生じさせてゲル状膜を形成する乾燥重合工程と、ゲル状膜を焼結させる焼成工程とにより誘電体化合物薄膜を形成する。 (もっと読む)




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