【課題】色画素が牛の角状に隆起してしまうことなく、カラーフィルタの透明基板上に平坦に施設でき、カラーフィルタ全体の平坦度を向上させる。
【解決手段】このカラーフィルタは透明基板と、ブラックマトリックスと、複数の色画素とを備えている。ブラックマトリックスは本体領域と複数の縁領域を有している。このうち縁領域の厚みは本体領域の厚み未満である。色画素の縁がブラックマトリックスの縁領域に重なっている。また、カラーフィルタを製造するフォトマスク上の遮光層は縁領域に対応する位置上に複数の小さな開口を有することで、縁領域が比較的薄いブラックマトリックスを製造するものである。 （もっと読む）

【課題】 スリット式塗布ノズルへの被塗布物の付着を抑制することのできるスリット式塗布装置を提供する。
【解決手段】 基台１１０と、スリット式塗布ノズル１２０とを備える。基台１１０には、基板１３０が載せられ、スリット式塗布ノズル１２０は、基台１１０の上方に設けられる。スリット式塗布ノズルの少なくとも一部の領域には薄膜１２１が形成され、被塗布物を塗布するときに、被塗布物とスリット式塗布ノズル１２０とが、薄膜１２１により隔離され、被塗布物が容易に付着しないようにして、清潔に保つ。 （もっと読む）

【課題】 塗布する膜厚をリアルタイムで制御する、スリット式塗布工程の膜厚監視方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布前における光学センサおよび基材間の距離を測定する。また、光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布処理を行う間に光学センサと基材表面の塗膜１０６との距離を連続的に測定する。そして、光信号処理回路１２０により、塗布前および塗布処理中の光学信号１１２ａ、１１２ｂを比較して、塗膜の厚みを算出する。そして、塗膜の厚みに関する情報に基づいて、塗膜の厚みをリアルタイムで制御する。 （もっと読む）