【課題】従来の露光装置をマスク描画装置におけるマスクリピータとして使用する場合、マスクが載せられるステージ台の位置を計測する構成になっており、その結果、位置精度が１０ｎｍ以上あり、位置精度が問題であった。
【解決手段】本発明では、マザーマスクやマスクの側面を直接レーザ干渉計によって直接計測する構成とする。マスク位置を直接計測することで、ステージ台からの露光中の位置ずれや、ステージ台の熱膨張に起因する位置検出誤差が生じないことで精度よく位置制御が行える。 （もっと読む）

【課題】 送受信アンテナを複数並べたアレイアンテナとし、更にCMP(Common Mid Point)などの信号処理手法で強いクラッタを避けるためのアレイアンテナ設計に関する。
【解決手段】 送受信アンテナを複数並べたアレイアンテナとし、更にCMP(Common Mid Point)などの信号処理手法で強いクラッタを避けるためのアレイアンテナ設計手法による。 （もっと読む）

プリオン蛋白が蓄積する疾患の診断、予防および／または治療に、あるいは試料中のプリオン蛋白の特異的染色に使用される、式（Ｉ）または（ＩＩ）：


で示される化合物またはその塩もしくは溶媒和物。
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【課題】 外部から電気エネルギー、炭化水素ガスや化石燃料を供給せずに、簡便に水素ガスを発生させることができる水素発生方法、および水素ガス製造装置を提供する。
【解決手段】 電解質水溶液と酸素を含む気体を入れた容器の中において、金属鉄を電解質水溶液に浸漬し、金属鉄から鉄イオンを溶解させ腐食生成物として沈殿させることにより水素ガスを発生させ、ガス分離器と接続したガス回収口から水素ガスを取り出すことを特徴とする水素ガス製造方法、及び水素ガス製造装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】
地球環境保全およびプラズマプロセスの高性能化を実現するため、非温室効果ガスを用いたプラズマ処理方法を開発し、デバイスへの損傷を抑制することができる高精度のプラズマエッチング方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係るプラズマ処理方法は、プラズマ生成室にフッ素ガス（Ｆ₂）を含む処理ガ
スを供給し、高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、該プラズマを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とする。また、前記プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にまたは交互に、あるいは、負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】優れた耐食性と導電性を有する、アルミニウムを基材とした固体高分子型燃料電池用セパレータを提供すること。
【解決手段】表面に陽極酸化被膜１４が形成されたアルミニウム基材１３に、カーボンと樹脂からなる導電性被膜１５を形成し、圧着させる。陽極酸化被膜１４は、硫酸塩中にＭｎ、Ｓｎ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｐｂ、Ａｇのうちいずれかの金属イオンを含む電解液中でアルミニウム基材１３を陽極酸化処理することにより形成される。導電性被膜１５は、カーボンと樹脂の懸濁液を陽極酸化被膜上に塗布することにより形成される。 （もっと読む）

【課題】超音波材料特性解析装置により超低膨張ガラスの線膨張係数の解析・評価を可能にする。
【解決手段】超低膨張ガラス材料に対して、バルク波(縦波と横波)の音速、減衰係数の周波数依存性と密度を計測することにより、その基本音響特性を明らかにし、装置校正用の標準試料を作成する。標準試料を用いた絶対校正法により、LSAWとLSSCWの両方の速度の絶対値を求める。これらの値から、バルク波音速、弾性定数、ヤング率、ポアソン比を求めることができる。さらに、音響特性と線膨張係数の関係を求め、音響特性から線膨張係数を評価する。また、化学組成比、屈折率、密度などとの関係を求めることにより、それらの変化を音速の変化として捉える。周期的な脈理による特性分布が存在する場合は、脈理面に対する基板の切り出し角度を選択することにより、基板内の正確な音響特性分布を把握して評価を行う。 （もっと読む）

【課題】磁性をもつので用途の制限を受けているＮｉ粉を、磁性をもたないＮｉ粉に改変
して用途の拡大を図る。
【解決手段】ｈｃｐ構造とｆｃｃ構造をもつＮｉの微粒子からなるニッケル粉、もしくはｈｃｐ構造だけをもつＮｉの微粒子からなるニッケル粉である。このようなニッケル粉は
、ポリオール中に溶存するＮｉイオンをポリオールで還元して液中に金属Ｎｉの微粒子を
析出させることによって得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 パーキンソン病の病発病可能性の評価方法、パーキンソン病の遺伝子診断方法並びに治療方法を提供すること。
【解決手段】 アルファー−シヌクレイン遺伝子の１１カ所の一塩基多型部位と１カ所の多塩基多型部位における型式による遺伝子多型、或いは該遺伝子多型により構成されるハプロタイプに基づいて、パーキンソン病発病可能性を評価することができる。 （もっと読む）

【課題】ワイドギャップ導電性酸化物混晶と、それを透明電極として用いた構造を有する酸化物光デバイスを提供する。
【解決手段】酸化物光デバイスは、上記ワイドギャップ導電性酸化物混晶からなるｎ型透明電極層１、発光層２、ｐ型電極層３が基板４の上に積層した構造を有している。ｎ型透明電極層１から注入された電子とｐ型電極層３から注入された正孔が発光層２で再結合して生成された紫外光５がｎ型透明電極層１で吸収されることなく、光デバイスの外部に取り出すことができる。 （もっと読む）