【課題】光源としてのランプとマイクロミラーデバイスを用いたパターン描画装置で、マイクロミラーデバイスに対して紫外光を斜めから入射させる必要がなくかつ反射した紫外光の光路を邪魔しない装置を提供する。
【解決手段】パターン描画装置１００では、水銀ランプ１０１からの紫外光を偏光変換光学系１０３に入射させ、無偏光の光を直線偏光のＳ波に変換する。紫外光は、偏光ビームスプリッタ１０５に入射し１００％近く反射して上方に進み、１／４波長板１０６を通過し円偏光となってマイクロミラーデバイス１０７に入射する。 マイクロミラーデバイスで反射する紫外光の内、パターン露光に寄与する紫外光は真っ直ぐに下方に進み、再度、１／４波長板を通過することでＰ波となり、偏光ビームスプリッタを１００％近く透過し下方に進む。下方に進む紫外光の内、パターン露光に寄与するものは、ピンホール板１１０を通過して基板１１４に到達する。 （もっと読む）

【課題】 応答速度を可変にできる光スイッチング素子を提供する。
【解決手段】 第１の光源７３から光媒体（試料）７１に対してフェムト秒パルス光Ｐ_１（ω、ｋ_１）（ωは周波数、ｋ_１は波数）が定常的に透過しており、光媒体（試料）７１に回折格子７１ａが形成されている。スイッチをオンしたいタイミングにおいて、第２の光源７５より別のフェムト秒パルスＰ_２（ω、ｋ_２）を、光媒体（試料）７１上に時間的、空間的に重ねるように出射する。２つの光パルスＰ_１、Ｐ_２に基づくＤＦＷＭの信号が、回折格子７１ａにより２ｋ_２−ｋ_１の方向に第２パルスＰ_２が入射された直後に放射され、光パルスＰ２によるＤＦＷＭ信号に関するスイッチングが行われる。又、第２の光源７５から出射される光パルスＰ_２の強度により、擬似的な回折格子７１ｂにより回折されたＤＦＷＭ光の減衰に関する時定数τを調整することができる。 （もっと読む）

【課題】死腔負荷装置の技術においては、定量的な死腔量の設定が難しく、しかもデジタル的な容量設定が難しいために、負荷試験装置として使用しにくいという問題がある。
【解決手段】装置本体内を死腔形成室と吸気取り入れ室とに隔離壁によって分離し、前記死腔形成室の一方には呼吸口を設け、他方には呼気弁を設け、前記吸気取り入れ室の任意個所に吸気弁を設け、前記隔離壁には所定間隔に弁を配置して死腔形成室と吸気取り入れ室とを連通できるようにし、その弁の位置を死腔量が定量的に変わるように配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の導波管スロットアンテナからなるアンテナアレーの開口面積を大きくするときの装置構成の複雑化および大型化を抑制する。
【解決手段】分配器３０は、導波管スロットアンテナ１０Ａ〜１０Ｈの幅方向に延びる給電用導波管と、導波管スロットアンテナ１０Ａ〜１０Ｈの放射用導波管と給電用導波管とを連通する給電用導波管の壁面に形成された開口１２とを有する。この分配器３０では、導波管スロットアンテナ１０Ａ〜１０Ｈの放射用導波管の幅の総和と同じ長さの給電用導波管を用いればよいので、アンテナアレーを構成する導波管スロットアンテナの数を増やして開口面積を大きくしても、装置構成が複雑化かつ大型化することはない。 （もっと読む）

【課題】 極厚でもσ脆化や475℃脆化を示すことのない、靭性に優れる高純度の高Crフェライト系鉄合金を提供すると共に、その高Crフェライト系鉄合金を工業的規模で提供を可能とする製造方法を提案する。
【解決手段】 超高純度Cr、超高純度Fe、さらに必要に応じて金属Moおよび金属Ｗの１種以上を原材料とし、真空誘導溶解炉で耐火性るつぼを用いて高Crフェライト系鉄合金を溶解するに当たり、上記耐火性るつぼへの原材料の装入を、るつぼ下部に高融点の原材料を、るつぼ上部に低融点の原材料を装入し、その後、まず上部の低融点金属を溶解し、次いで下部の高融点金属を溶解することにより、るつぼからの不純物のピックアップを防止して、Crを13〜30mass％かつＣ＋Ｎ＋Ｏが0.005mass％以下の超高純度高Crフェライト系鉄合金を得る。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置変化ではなく、対象物の局所ひずみを発生させること
【解決手段】 超音波により発生する音響放射圧を用いた対象物変位の発生において、異なる方向もしくは焦点位置を持った連続波超音波ビームを同時に複数用意し、それら各々によって各々の超音波ビームに沿った方向に生じる音響放射圧の間に適当な位相差を与えることによって、周囲組織の弾性率が対象物の弾性率に比べ非常に小さい(軟らかい)場合においても、対象物の位置変化ではなく、対象物内部に局所的な変形(ひずみ)を発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】 複数枚のウエハ等の平板状部材を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができ、よって当該平板状部材の搬入出も容易となる枚葉式ストッカーを提供する。
【解決手段】 平板状部材３の搬入口１１と搬出口１２とが設けられたケーシング１０内に、平板状部材３の移送方向の両側の上下部にそれぞれ配設された回転部材１５ａ、１５ｂと、これら回転部材間に架け渡された無端部材１７ａ、１７ｂと、両側の無端部材間の複数箇所において、移送方向を横切るように水平に架設された複数の支持部材１８ａ、１８ｂとからなる少なくとも２組の支持装置１３ａ、１３ｂを、互いの移送方向に隣接する支持部材１８ａ、１８ｂによって平板状部材３の移送方向両端部を支持するように間隔をおいて設置し、これら支持装置の回転部材１５ａ、１５ｂを逆方向に同期回転させる駆動手段を設けることにより、支持部材１８ａ、１８ｂによって支持した平板状部材３を昇降させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 導電性及び紫外線吸収能を有する新規なシリコンオリゴマーの提供。
【解決手段】 ＳＰ２混成軌道からなるＳｉを構成単位として含み、そして式（Ｉ）：
−（Ｓｉ）_n−Ｎ＜ （Ｉ）
（式中、ｎは２以上の整数を示す）
で表される構造を分子中に含むシリコンオリゴマー並びにそれを含む導電性ポリマー及び紫外線吸収剤。 （もっと読む）

【課題】 高飽和磁束密度であって、且つ比抵抗の高い軟磁性材料による安価な高周波用磁心及びそれを用いたインダクタンス部品を提供すること。
【解決手段】 高周波用磁心１は、合金組成式が（Ｆｅ_１−ａＣｏ_ａ）_{１００−ｘ−ｙ−ｚ−ｑ−ｒ}（Ｍ_１−ｐＭ’_ｐ）_ｘＴ_ｙＢ_ｚＣ_ｑＡｌ_ｒ（但し、０≦ａ≦０．５０、０≦ｐ≦０．５、２原子％≦ｘ≦５原子％、８原子％≦ｙ≦１２原子％、１２原子％≦ｚ≦１７原子％、０．１原子％≦ｑ≦１．０原子％、０．２原子％≦ｒ≦２．０原子％とし、且つ２５≦（ｘ＋ｙ＋ｚ＋ｑ＋ｒ）≦３０、ＭをＺｒ，Ｎｂ，Ｔａ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｗから選ばれた１種以上とし、Ｍ’をＺｎ，Ｓｎ，Ｒ（ＲはＹを含む希土類金属）から選ばれた１種以上とし、ＴをＳｉ，Ｐから選ばれた１種以上とする）で表わされる軟磁性金属ガラス粉末に対し、質量比で１０％以下のバインダを混合した混合物を成形することで得られる成形体からなる。インダクタンス部品１０１，１０２は、この高周波用磁心１に巻線３を施してなる。 （もっと読む）

【課題】回路面積の小さく、配線長の短い、高性能な半導体集積回路を提供する。
【解決手段】多層構造で構成される半導体集積回路であって、複数の半導体層にそれぞれ形成された複数のトランジスタによって、複数の信号線の間をそれぞれスイッチングするスイッチブロックと、複数の半導体層のそれぞれに形成され、複数の信号線のそれぞれに接続された複数の論理ブロックとを備える。第１スイッチブロックは、複数の信号線の間の接続形態を変更することができるプログラマブルスイッチブロックである。 （もっと読む）