【課題】回路面積の小さく、配線長の短い、小型の半導体集積回路を提供する。
【解決手段】多層構造で構成される半導体集積回路であって、第１半導体層と、第１半導体層に形成された第１半導体層トランジスタと、第１半導体層上に堆積され、金属配線が形成された配線層と、配線層上に堆積された第２半導体層と、第２半導体層に形成された第２半導体層トランジスタとを備える。なお、第１半導体層トランジスタのゲート絶縁膜の絶縁性と、第２半導体層トランジスタのゲート絶縁膜の絶縁性とは概ね同等であり、第２半導体層トランジスタのゲート絶縁膜は、ラジカル酸化又はラジカル窒化により形成される。 （もっと読む）

【課題】 複数枚のウエハ等の平板状部材を、一枚毎に最小限のスペースで保管することができ、よって当該平板状部材の搬入出も容易となる枚葉式ストッカーを提供する。
【解決手段】 平板状部材３の搬入口１１と搬出口１２とが設けられたケーシング１０内に、平板状部材３の移送方向の両側の上下部にそれぞれ配設された回転部材１５ａ、１５ｂと、これら回転部材間に架け渡された無端部材１７ａ、１７ｂと、両側の無端部材間の複数箇所において、移送方向を横切るように水平に架設された複数の支持部材１８ａ、１８ｂとからなる少なくとも２組の支持装置１３ａ、１３ｂを、互いの移送方向に隣接する支持部材１８ａ、１８ｂによって平板状部材３の移送方向両端部を支持するように間隔をおいて設置し、これら支持装置の回転部材１５ａ、１５ｂを逆方向に同期回転させる駆動手段を設けることにより、支持部材１８ａ、１８ｂによって支持した平板状部材３を昇降させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池パネルは、一般に黒色であり、デザイン的に劣っている。そこで、従来、太陽電池パネルを発色させる手段として、太陽光の可視光を反射・散乱させる場合もあったが、その結果、発電効率が低下することがあった。本発明の目的は、発電効率を低下させずに発色する太陽電池パネルを提供することである。
【解決手段】 赤外光を吸収し、可視光を放出することを特徴とする透明板で太陽電池を覆うものであり、これによって、発電に寄与しないエネルギー成分を用いて発色させるため、発電効率が低下することはない。 （もっと読む）

【課題】 保管時におけるウエハ等の保管物への水分等の有害物質の付着を防止することができ、さらには帯電に起因するデバイス破壊を確実に防止することができ、よって当該保管物の製造歩留まりや品質の向上を図ることができるクリーンストッカーを提供する。
【解決手段】 搬入口１１および搬出口１２が設けられた建屋１０の内部に、保管物３、５を収納する複数段の棚１３と、搬入出口との間に走行自在に設けられ、棚に対する保管物の出し入れを行うストッカークレーン１４とが設けられるとともに、清浄化した空気を建屋１０内に流動させる清浄空気循環手段１５が設けられたクリーンストッカーであって、建屋１０に、内部を分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエアによって充満させるクリーンドライエアの供給管１６を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 搬送時における水分等の有害物質の付着を防止することができ、よって当該平板状部材の製造歩留まりや品質の向上を図ることができる平板状部材の搬送装置を提供する。
【解決手段】 平板状部材１の導入口５と送出口６とを有する筐体２と、この筐体２内に配設され、送出口６に向けて平板状部材１の両側部を支承しつつ搬送する搬送手段８と、平板状部材１の裏面側に配設され、噴出する気体によって平板状部材１を浮上させる浮上ユニット９とを備えた平板状部材の搬送装置において、筐体１に、その内部を分子状汚染物質が１０ｐｐｂ以下に除去された大気圧露点−１００℃以下のクリーンドライエアによって充満させる第１のクリーンドライエアの供給管１９を設けるとともに、浮上ユニット９に、平板状部材１の浮上用気体として上記クリーンドライエアを供給する第２のクリーンドライエアの供給管１２を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＯＣＢセル内のカイラル剤無添加の液晶を通常の駆動電圧で高速にスプレイ‐ベンド転移させることができ、かつ、通常のプロセスでの製造が容易である液晶配向用基板を提供する。
【解決手段】 透明基板６上に、電気的駆動手段の層７を介して、配向膜８を有する液晶配向用基板において、前記配向膜の表面を、相異なる直線的な面内配向方向をもつ複数の配向領域９、１０に分かち、これら配向領域の境界の少なくとも一部を傾斜境界１１、すなわちこれを挟む二配向領域のいずれの面内配向方向とも非平行でかついずれか一方の面内配向方向と非直交である境界とした。 （もっと読む）

【課題】
近年，情報通信の高速化，大容量化に伴い，電子機器の動作周波数が高くなっているため，不要電磁波の発生の問題が深刻化になっている。これらの電子機器から放射される不要電磁波の位置と原因を特定するために，近傍電磁界を高精度で測定する必要がある。しかし，近傍電磁界の測定では，プローブとそれにつなぐケーブルが近傍電磁界に影響を及ぼすために，高精度な近傍電磁界の測定が困難であるという課題があった。
【解決手段】
本発明では，電磁界プローブとして無線でかつ小形の変調散乱素子を用いた近傍電磁界の測定法を考案し、ローカル信号発生器、変調散乱素子、分析器とで近傍電磁界測定装置を構成することで高精度な近傍電磁界の測定を可能にした。
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【課題】 多量の水素を貯蔵し、かつ貯蔵された水素を容易に取り出すことのできる水素貯蔵方法、および水素貯蔵物質を提供する。
【解決手段】 第一の水素貯蔵方法を、窒化物および錯体水素化物から選ばれる二種以上の化合物を混合して原料混合物を調製する原料混合物調製工程と、該原料混合物に水素を反応させ、該化合物の構成元素の一種以上と水素とからなる水素化物を生成させて水素を貯蔵する水素貯蔵工程と、を含よう構成する。また、第二の水素貯蔵方法を、アルカリ金属元素およびアルカリ土類金属元素から選ばれる元素と、アルミニウムまたはホウ素と、を含む原料化合物に水素を反応させ、該原料化合物の構成元素の一種以上と水素とからなる二種以上の水素化物を生成させて水素を貯蔵するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は高精度に可動されるステージの位置及び傾きを正確に検出することを課題とする。
【解決手段】 透過型検出装置２２は、第１ステージ１４の移動方向に延在形成された透明体角度格子３０と、透明体角度格子３０を垂直状態に保持する透明基板３２と、透明体角度格子３０に向けて複数の平行光を発光する発光部３４と、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光を受光する受光部３６とを有する。受光部３６には９個のフォトダイオードが配置され、透明体角度格子３０を透過した複数の平行光の受光強度分布を検出する。そして、受光部３６で検出された強度分布の変化から固定側の透明体角度格子３０に対する発光部３４の位置及び傾き角度を検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 照射線量をリアルタイムに計測できる体内埋め込み型のマイクロ線量計装置およびその測定方法を提供する。
【解決手段】 ショットキ型CdTe検出器８に放射線が入射することにより発生する電流を電流電圧変換器９を介し電圧制御型増幅器１０に制御信号として入力し、発信回路１１からの基本信号に対して振幅変調を行う。変調信号を元にコイル１２から一定周波数の交流磁場を発生させる。ショットキ型CdTe検出器８、電圧制御型増幅器１０、発信回路１１、コイル１２は一体型の筐体に収めて生体内に埋め込む。コイル１２より発生した信号磁場を体外のフラックスゲート磁束計１４でリアルタイムで測定する。測定データをコンピュータ１５により周波数解析することで信号磁場の変動に対応した放射線線量を知る事ができる。以上の構成から成る体内埋め込み型のマイクロ線量計装置により生体内の局所に照射される放射線線量をリアルタイムに計測する事が可能となる。
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