【課題】薄い半導体ウェハを比較的短時間で容易に製造することができ、かつ製品率を向上させることのできる基板スライス方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に非接触にレーザ集光手段１６を配置する工程と、レーザ集光手段１６により、基板１０表面にレーザ光２２を照射し、基板１０内部にレーザ光２６を集光する工程と、レーザ集光手段１６と基板１０を相対的に移動させて、基板１０内部に改質層１２を形成する工程と、基板１０側壁に改質層１２を露出させる工程と、改質層１２に溝（３２ａ、３２ｂ）を形成する工程と、溝（３２ａ、３２ｂ）を基点に基板１０を剥離する工程とを有する基板スライス方法。 （もっと読む）

【課題】重力を利用せずに質量を計測できる、高精度な質量測定装置を提供する。
【解決手段】調和外力を発生するアクチュエータ５０を有し、被測定物の慣性質量を計測する質量測定装置であって、アクチュエータ５０を取り付けた支持台３０と、支持台３０を基盤２０に支持するばね要素３１と、支持台３０の振動を抑制するために支持台３０に取り付けた減衰形動吸振器４０、４１、４２と、減衰形動吸振器の吸振振動体４０の変位位相に対して調和外力の位相が１８０°の位相差を保つようにアクチュエータ５０から発生する調和外力を制御するＰＬＬ６１、６２、６３とを備える。被測定物は、支持台３０または減衰形動吸振器の吸振振動体４０に取り付ける。動吸振器系の定点を利用して質量測定を行っており、被測定物の慣性質量を高精度に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】給電部５３と受電部４２との位置ずれによる漏れ磁束の影響が抑制できる非接触給電装置を提供する。
【解決手段】地上側が、１次側コイルを含む平板状の給電部５３と、給電部５３の交流電源５０、５１とを備え、車両４０が、２次側コイルを含む平板状の受電部４２と、受電部４２に電気接続された負荷装置４４とを備える非接触給電装置であって、受電部４２が、漏洩磁束を遮蔽する２次側遮蔽板４１を介して車両に固定され、２次側遮蔽板４１が、非磁性の良導電体から成り、その大きさが、地上側からの給電が許容される移動体停止範囲のいずれの位置に車両が停止したときでも、給電部５３の略全域が２次側遮蔽板４２の下方に位置する寸法に設定されている。そのため、給電部４２と受電部５３との位置ずれの許容量が大きくても、漏れ磁束の車体への波及を防止できる。 （もっと読む）

【課題】非接触給電装置の受電部を小型軽量化する。
【解決手段】１次側コイルが巻回された平板状の１次側コアと、２次側コイルが巻回された平板状の２次側コアとを有し、１次側コア及び２次側コアの板面が対向して１次側コイルから２次側コイルへの非接触給電が行われる非接触給電装置であって、Ｈ形コア４０の二つの磁極部４１、４２の間の細幅被コイル部４３にコイル５０を巻回する。１次側コアと２次側コアとの間の空間磁束分布は、磁極部４１、４２の形状で決まり、コイル５０の起磁力は（コイル電流の大きさ）×（巻数）で決まる。そのため、磁極部４１の形状及びコイル５０の巻数を変えなければ、被コイル部４３の幅を細幅にしてもしなくても、コイル５０の起磁力は変わらない。一方、コイル長は、短くなり、コイル５０の抵抗が減少し、コイル５０が軽量化できる。 （もっと読む）

【課題】測定レンジが広く、応用性にも富む面圧力計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の面圧力計測装置は、圧力による面外変位が独立して発生する粘弾性ゲルの領域１２を平面状に多数備えた圧力センサ・マトリックス１０と、前記領域の面外変位を光学的に計測する光計測手段２０とを備えている。圧力センサ・マトリックス１０の各領域１２での面外変位は、その領域の圧力により生じるから、各領域１２の面外変位を計測することで２次元的な圧力分布を求めることができる。この装置では、ｋＰａ以下の低い面圧力を高精度に測定することが可能であり、また、面圧力の時間変化に迅速に応答することができる。 （もっと読む）

【課題】通信装置を使わずに一次電圧を制御して、二次電圧の定電圧化を可能にする非接触給電装置を提供する。
【解決手段】負荷装置４３への給電に先立ち、負荷装置４３を電気的に切り離して、受動素子５１を並列接続し、可変電圧高周波電源１の出力電圧を測定用の低電圧Ｖ_mに設定して、そのときの可変電圧高周波電源１の出力電流値Ｉ_mを測定する。そのＶ_mとＩ_mとを用いて、負荷装置４３が二次側コイル３１に接続されたときの二次側コイル３１または整流器４１の出力電圧を目標値に設定するための可変電圧高周波電源１の電圧Ｖ_INを算出する。一次側と二次側との間で通信装置で情報交換をしなくても、可変電圧高周波電源１の電圧を制御して、二次側コイル３１の電圧や整流器４１の出力電圧を目標値に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】比較的速い成膜速度で、面内均一性の高い薄膜の成膜が可能な、薄膜の製造方法及びこの製造方法に利用できる薄膜の製造装置を提供すること。
【解決手段】固形分を含む塗布液を電圧が印加されたノズルから放出して形成した帯電した塗布液粒子を、前記ノズルと反対の極に帯電した被塗布面に堆積させて、固形分含有層を形成する薄膜の製造方法。前記帯電した塗布液粒子を、少なくとも２つの開口とこれら開口の間に延在する本体とからなり、前記本体が前記塗布液粒子と同一の極に帯電した導管の一方の開口から他方の開口を経由して前記被塗布面に堆積させる。塗布液供給手段、塗布液供給手段から塗布液を放出するための少なくとも１つのノズル、ノズルと被塗布物の間に電圧を印加するための電源、ノズルと被塗布物の間に配置される、少なくとも２つの開口とこれら開口の間に延在する本体とからなる帯電し得る材料からなる導管を有する静電塗布装置。 （もっと読む）

【課題】小型化及び低コスト化が可能な等価容量型アクチュエータの駆動装置を提供する。
【解決手段】複数の電極対８１１−８１２、８１３−８１４、８１５−８１６、８１７−８１８に電圧を供給する高電圧アンプ５１と、高電圧アンプ５１から複数の電極対に供給される電圧を制御する制御回路５２とを備える静電アクチュエータであって、高電圧アンプ５１の台数が、単一または電極対の数より少ない数に設定されている。高電圧アンプ５１の数を減らすことで、小型化及び低コスト化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡易なシステム構成で、処理対象空気中に含まれる水溶性有機化合物を効率良く分解・除去することができる空気浄化システムを提供する。
【解決手段】筒状容器１０内に所定の充填材１１を設置し、この充填材１１の上部から水を滴下するように構成すると共に、前記充填材１１の下部に、上部から滴下された水を貯留する貯留部１３ａを形成し、前記貯留部に微細気泡を発生させる微細気泡発生器３０を設置したスクラバー１と、筒状容器２１内に光触媒２２及び紫外線ランプ２３を設置したリアクターとを備え、スクラバー１に処理対象空気を導入して、スクラバー１内を滴下する水に水溶性有機化合物を溶解させ、前記貯留部１３ａにおいて、微細気泡によって水溶性有機化合物の分解処理を行った後、この水をリアクター２に導入し、このリアクターにおいて、紫外線照射下での光触媒２２による水溶性有機化合物の分解処理を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】簡単且つ安価な構造で、振動振幅の大きな弾性表面波を効率よく励振できる超音波発生装置、及び超音波発生方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１５と、圧電基板１５の表面に設けられたすだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）と、すだれ状電極（１４ａ，１４ｂ）を構成する第１の櫛形電極１４ａと第２の櫛形電極１４ｂとの間にパルス状の駆動電圧を印加するスイッチング素子１３と、スイッチング素子１３の制御電極にパルス電圧を出力するゲート駆動回路１２とを備える。 （もっと読む）