【課題】従来技術において使用された電磁分離法やシランガスを原料として用いることなく、原料と同等の同位体組成を持つ平滑なシリコンおよび同位体濃縮シリコン薄膜を製造する方法を提供する。
【解決手段】ハロゲン化シリコンあるいはシリコンの同位体を濃縮したハロゲン化シリコンを原料として用い、水素と反応させることにより、基板上に、シリコン薄膜または同位体濃縮シリコン薄膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】波長帯の異なる複数種類の赤外線が検出されることで行われる対象物の表面温度の測定に際し、表面状態の変化に起因して生じる測定誤差を低減することができ、測定精度の向上を図ることができる表面温度測定方法を提供すること。
【解決手段】表面温度測定方法であって、金型キャビティ面２ａから放射される赤外線のうち、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布を検出する赤外線分布検出工程と、前記分布の各要素について、計測温度（見かけ温度）を測定温度（黒体温度）に変換する温度変換工程と、放射率一定の仮定下、前記測定温度に基づいて金型キャビティ面２ａの温度（表面温度）を算出する表面温度算出工程と、前記測定温度および前記表面温度に基づき、放射率および放射率比を算出する放射率比算出工程と、前記放射率比算出工程により算出された放射率比を用い、前記測定温度に基づいて前記表面温度を再算出する表面温度再算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】配線を形成するトレンチ幅が７０ｎｍ以下になっても配線の抵抗率が大幅に増加せず、国際半導体技術ロードマップに開示されている値を満たす銅配線を実現する。
【解決手段】銅配線の配線幅が７０ｎｍ以下で、トレンチの側面と平行な面における平均結晶粒径Ｄと配線幅Ｗの比Ｄ／Ｗを１．３以上にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、媒体中に含まれる原子価が３以上の高原子価金属イオンを酸性下で効率良く選択的に捕集することができる捕集剤（キレート樹脂）を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明者らは、ヒドロキサム酸基を有する化合物を導入した担体を捕集剤として用いることで、媒体中に含まれる高原子価金属イオンを酸性下で容易に捕集できることを見出した。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、剥離層をスタンパ表面に簡便に形成することが可能であり、かつ多数回に渡って連続して転写が行われても剥離性の劣化が少ない耐久性に優れたナノインプリント用スタンパを提供することにある。
【解決手段】被転写体に転写する微細パターンが表面に形成されているスタンパ２において、前記表面に含フッ素ポリエーテル１０２が付与されており、前記含フッ素ポリエーテル１０２の両末端のうち少なくとも片末端は前記表面と化学的に結合しているとともに、前記含フッ素ポリエーテル１０２を構成するフルオロポリエーテル鎖は、パーフルオロポリエーテル鎖の主鎖のフッ素原子の一部が水素原子に置換されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＣ、キトサンに対して強い分解作用があるセルラーゼ、及びそのセルラーゼをコードするセルラーゼ遺伝子のクローニングを行い、当該酵素のアミノ酸配列、当該酵素をコードする塩基配列を決定し、それらを提供することを目的とする。
【解決手段】特定な配列で表せるアミノ酸からなるタンパク質とし、そのアミノ酸をコードするセルラーゼ遺伝子及びその遺伝子を含む組み換え体ＤＮＡ、それらを含む組み換え体の構成とした。 （もっと読む）

【課題】管路内に装填した切削工具を圧縮気体により加速させて，管路に接続した切削雰囲気を制御できる加工チャンバ内に設置した被削材の一部を高速で削り，切削終了後も高速で飛翔し続ける工具と切りくずを，切削過程以外の変形や損傷を受けること無しに停止させる機能を有する高速切削試験装置を提供する。
【解決手段】小型の切削工具の切れ刃を内蔵した飛翔容器を，管路内で圧縮気体により加速させ，加工チャンバ内で切削過程を実現させる。切削過程で生成した切りくずは切削工具を内蔵した飛翔容器の中に格納する。切削終了後も管路内を飛翔しつづける切削工具と切りくずを内蔵した飛翔容器に対し飛翔方向から圧縮気体により減速力を負荷させて，衝撃吸収材などに衝突すること無しに飛翔容器を所定の個所で停止させる。 （もっと読む）

【課題】転写印刷において、版の表面を常に清浄な状態に保持し、版の再生作業頻度を少なくし、被印刷部材の急速昇温冷却が可能で表面温度を精密制御できる安価なインプリント装置を提供する。
【解決手段】
転写印刷版２の表面に凹凸のパターンを形成し、被印刷部材上に直接に、または被印刷部材上に形成された樹脂膜上に、転写印刷版の凹凸のパターンを形成する転写印刷において、転写印刷版１に赤外線ランプ１６を用いて赤外線１５を照射し、転写印刷版上に付着した樹脂付着物質を分解洗浄するとともに、被印刷部材を赤外線で加熱する方式の転写印刷装置である。 （もっと読む）

【課題】新規な含フッ素重合体、その重合体の製造法およびその中間体である１，６−ジエン型エーテルの製造法を提供する。
【解決手段】式（１）で表される構造を含有する含フッ素重合体は高ガラス転移点、透明性、溶剤可溶性を示す高機能ポリマーである。


（ここでｎは、１００以下の整数である） （もっと読む）

【課題】亜鉛蛍光プローブとして有用な化合物を提供する。
【解決手段】下記の一般式（I）：


（式中、Ｒ¹、及びＲ²は、それぞれ独立に水素原子、又は炭素数１〜６のアルキル基を示し、Ｒ³は炭素数１〜６のヒドロキシアルキル基を示す）で表される化合物又はその塩。 （もっと読む）